エッチング装置の製品一覧 （5ページ目）
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小型超高精度エッチング装置 ＭＰＥ４０
【工程】投入→エッチング→液切→酸洗→液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ 厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】首振揺動【装置サイズ】W1530×L2830…
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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Oリングの桜シールによる白色タイプのパーフロロエラストマー材質
パーフロロエラストマーによる白色タイプの材質で、極めて優秀な耐薬品性を有し、充填剤にカーボンブラックを用いていないことからクリーン性や耐プラズマ性などにも優れています。桜シール株式会社は、JIS規格に…
メーカー・取扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社
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板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能、FPC搬送対応も可能です。
銅表面粗化処理装置 マイクロエッチング装置は、板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能な表面処理装置です。ファイン化仕様ノズルパターンとオシレーション機構により均一な面精度が出せます。上エッチングは個別…
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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Oリングの桜シールは、過酷な温度条件や強力な薬品にも耐えることが出来る特別な材質を取り揃え、様々なサイズに成形いたします。
フッ素ゴムは、数ある材質の中でも桜シール株式会社が最も得意としている材質です。特にパーフロ（FFKM）を頂点として様々な性能を有する高機能フッ素ゴムをシリーズ化したフロロパワー各種は、当社を特徴づける…
メーカー・取扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社
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小型薄板用エッチング装置 ＦＢＥ４０
【工程】投入→エアーナイフ→エッチング→エアーナイフ→循環水洗→直水洗→エアーナイフ→取出し【基板サイズ】Min.W50×L50ｍｍ 厚み0.03〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W14…
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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エッチング量（深さ）とウェーハの材質を指定するだけで何方でも容易に使用可能
『BEM-301』は、オゾンと気化したフッサンを使用してエッチングする装置です。 エッチング量をモニターしながらエッチングを行いますので、 高精度のエッチングが可能。 また、1枚目からで…
メーカー・取扱い企業： 有限会社NAS技研
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物理的・電気的なダメージを与えることなくパッケージの除去が可能！高選択性のエッチング
当社では、先端のIC等デバイスのパッケージに適応した故障解析のための 開封装置を提供しております。 独自の新規プラズマ技術MIP(Microwave Induced Plasmaマイクロ波誘導…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
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![アルマイトエッチング銘板 [レジストエッチング] 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/9d4/2000110179/IPROS6086781329072600496.JPG?w=104&h=104)
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装飾性と耐久性を兼ね備えた銘板！！ シャープな表現が可能！！
アルマイトエッチング銘板とは、ネーミングの通りアルマイトとエッチングの技法を合わせた銘板です。エッチング部分（凹部）や素地部分（凸部）にアルマイト処理を施し、文字や図柄を表現する製品です。 詳しくは…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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現像機等で発生する泡の液化処理に！基板品質の向上を実現する泡処理装置
東京化工機の『泡処理装置』は、槽内に発生した泡をブロワーにより吸引し 独自のセパレートシステムの採用により液化する装置です。 消泡剤の残渣による製造基板への影響懸念の解消及び、基板品質の 向…
メーカー・取扱い企業： 東京化工機株式会社 本社・長野工場
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自動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入！シーケンサ制御方式を採用しています
当製品は、GaAsウェハを専用バスケットで自動搬送及びエッチングする 装置です。 ローダ部よりバスケットに入れたGaAsウェハを投入すると、搬送機により ローダ部からエッチング槽、リンス槽、…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダン科学
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高いエッチング均一性！特許取得の左右交互斜めシャワーで実現しました
東京化工機の『エミネント式現像エッチング剥離ライン』は、 均一性90％以上のエッチング精度を誇る、エッチング剥離ラインです。 標準偏差、上下1.1μmを実現。 銅箔/コア/銅箔：3/40/3…
メーカー・取扱い企業： 東京化工機株式会社 本社・長野工場
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研究開発用エッチング装置 ＳＰＥ４０
【工程】投入→エッチング→液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ 厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1300×L1590×H1215…
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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会社の「顔」にふさわしく、気品のある美しい仕上がりに
徽章の主な材質には、真鍮、丹銅、純銀、純金、18金、プラチナ等が使用され、 ラッカー、樹脂、エナメル等で色付けし、メッキが施されたものが主流となっております。 その他詳細は、カタログをダウンロード…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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間欠供給薬液恒温装置
薬液供給装置とユースポイントの間にセットするだけで希望の温度、 インターバルで薬液を供給可能！ 【特徴】 ○簡単に安定した温度調節が可能 ○小型だから場所をとらない ○装置への組み込みが…
メーカー・取扱い企業： 株式会社セラ
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接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター
接液部は全てＰＦＡのインラインヒーターです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命１０年以上。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社セラ
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シリコン基板の厚みを高感度でリアルタイム測定
Siウェハ厚み測定器は、精密に発振波長を制御された波長可変光源、集光センサー、受光器(PD)から構成されております。 集光センサーからの光を測定サンプルの表面および裏面で反射させ、再び集光センサ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルネアラボラトリ
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低圧動作のECR型アトムソース
ECR励起プラズマ中からアトムフラックスを生成します。低圧動作特性に優れたECR方式のアトムソースです。フィラメントレス構造のこのアトムソースは窒素、水素、酸素などのガス種からのアトムフラックスの生成…
メーカー・取扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社
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フォトリソ用小型現像装置
スイングノズル式 スプレー現像・パドル現像対応装置 【特長】 ・高性能、低価格、コンパクト卓上タイプ ・ワークサイズ Φ1"〜Φ6" ・液晶タッチパネルにてプログラム入…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トービ
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通常加工では難しい、立体感のある形状を実現
大型のプレス機により表、または裏からアルミ剤をプレス加工することにより、 通常の加工では出来ない立ち上がりを実現します。 エッチングでは表現できない凹凸が特徴です。 その他詳細は、カタログをダウ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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耐久性に優れた、重厚感のある銘板
加熱により溶かした真鍮を型に流し込み、冷却し、固まった後に金属を取出し製作する金属製品です。 真鍮鋳物は高い耐久性に優れ、重厚感があり、橋梁や看板などに多く使用されています。 その他詳細は、カタロ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー
マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。
メーカー・取扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です
スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
メーカー・取扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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高精度処理タイプ ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン
抜群の面精度で、小径孔も確実に洗浄
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能
用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。
メーカー・取扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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二宮システム製 エッチダウン装置
理想的なノズル配置で抜群の面精度を実現
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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高精度処理タイプ 高精度エッチングライン
ファイン化仕様、薄板搬送対応
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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薬液ヒーター フランジタイプ
接液部は全てPFA樹脂で出来ている 薬液ヒーター フランジタイプ 【特徴】 取り付ける槽の昇温条件、槽寸法に合わせ設計・製作いたします
メーカー・取扱い企業： 株式会社セラ
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点字エッチングの技術は、トーホーの特許製品です！ 図柄と点字の一体化でデザイン性をＵＰ！！
点字エッチングの技術は、当社の特許製品で、従来の打ち出し式とは異なり、図柄と点字を一体化することによりデザイン性の高い点字プレートの制作が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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【ベストウォッシング】は汚れを選びません。 自然にやさしい強力洗剤、用途を選ばない、まったく新しい高性能 洗剤です。
ベストウォッシングは医療器具の洗浄剤として開発された技術を応用した 洗剤です。除菌・漂白・微生物分解・脱臭・手肌を傷めない無刺激など、家庭用から業務用まで幅広い用途を叶えた夢の洗浄。 強力な除…
メーカー・取扱い企業： 有限会社ク・チャベル 埼玉営業所
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小型超高精度エッチングマシン MPE40
小型機でありながら驚異的な面精度
メーカー・取扱い企業： 株式会社二宮システム
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基板を回転させながらエッチング液をスプレーするスピンエッチャー
プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 用途に応じ他機種のご用意やカスタマイズもご相談の上行なっています。
メーカー・取扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター
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メーカー・取扱い企業： 株式会社セラ
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スリットバルブシール
●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューシ…
メーカー・取扱い企業： 三菱電線工業株式会社
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耐プラズマ性Oリング フロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)
Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材質
優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノ…
メーカー・取扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社
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６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内…
メーカー・取扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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化合物半導体プロセス用 ICPエッチング装置
RIE-330iPCは、放電形式に誘導結合方式（Inductively Coupled Plasma）を 採用した化合物半導体プロセス用多数枚処理エッチング装置 【特徴】 ○Φ330mmの大…
メーカー・取扱い企業： サムコ株式会社
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大量生産のための多数個取り、大型モジュールの生産など幅い広いニーズに応えます！
NISSHAは、量産性にすぐれたロールtoロール方式のエッチング設備を 保有し、長尺フィルム上に成膜されたITOやCuのパターニング加工を 引き受けております。 フィルム両面でのエッチング加…
メーカー・取扱い企業： NISSHA株式会社
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真空装置周辺機器,バルブの修理なら お任せ下さい！ メーカーメンテナンスの『高価格・長納期』の悩みを解消します。
各種メーカー真空バルブ修理 振り子式バルブ修理・ゲートバルブ修理・バタフライバルブ修理・アングルバルブ修理等
メーカー・取扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店
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メタルエッチングの加工形状や断面形状、寸法公差についてご紹介致します
伸光写真サービス株式会社でおこなうメタルエッチングの加工形状や断面形状、寸法公差についてご紹介致します。伸光写真サービス株式会社のメタルエッチングをご検討中の方はぜひご覧ください。0.005t～2.0…
メーカー・取扱い企業： 伸光写真サービス株式会社
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各工程での検査機器、品質管理体制の充実に取り組んでおります
高品質のプリント基板などを製造するため、伸光写真サービス株式会社では各工程での検査機器、品質管理体制の充実に取り組んでおります。精密な検査体制（CADデータ・フィルム検査、穴位置自動チェック検査、エッ…
メーカー・取扱い企業： 伸光写真サービス株式会社
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明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャン…
メーカー・取扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社
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超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201
ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新…
メーカー・取扱い企業： アリオス株式会社
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ＳＤＣクリーンボルトシリーズ【国際プロジェクトKAGRAに採用】
極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットです！
「ＳＤＣクリーンボルト」は、半導体工場や医薬品工場など、潤滑油やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場で使用されている高品質なボルトナットです。 厳しい環境下でも最大限の効果を発…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中
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