エッチング装置の製品一覧
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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しませんか？生産コストの削減も可能です！
【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】 流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？ 【生産…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！
8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； B…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。
【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントローラPACEを導入しませんか？
【MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】 現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減でき…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応可能！
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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汎用樹脂からポリイミド樹脂まで部品の受託加工は当社にお任せください！ 他材質とのアッセンブリー部品も当社で一貫対応致します。
☆材料物性データは資料ダウンロードもしくはコーポレートサイトにてご確認頂けます。 ナラサキ産業(株)は『樹脂部品の受託加工サービス』を展開しております。 切削加工の試作1個から量産の金型成…
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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MRAM用ドライエッチング装置！
反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見！ 海外生産による高精度、高品質のセラミック部品をご提案します！
当社の海外サプライヤーでの生産により、お客様の部品調達のご不安を解致します！ 高精度/高品質の半導体製造装置用のセラミック部品を材料込みでご提案致します。 ☆8インチ、12インチサイズ対応可能…
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応可能！！
・ドライエッチング機種 Pishowシリーズ： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチング装置をご提案！！
イオンビームミリング装置は、ドライプロセスでの微細加工装置として、研究開発から生産まで幅広い用途で使用されています。化学反応を伴わない物理的なエッチングプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』
教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システム
『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな 卓上タイプエッチング・成膜装置です。 設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の 導入をご検討されている方にお勧め。…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロディスプレイの故障解析
半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以上の納入実績
「プラズマ加工装置」は、光化合物半導体のプラズマ・エッチング・ 成膜装置です。 研究・開発から量産とシーンに適したシステムの提供が可能。 また、光電子デバイス製造に必要な幅広い材料を扱う…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロール
当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』を ご紹介いたします。 大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 高いスループットを実現。 特にMarat…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』
表面の単原子層のエッチング！エッチング対象物へのダメージを抑える事が出来ます！
当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置 『Takachi ALE』をご紹介します。 Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、 ALEプロセスが可能です。 …
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性など優れた皮膜特性が得られるアルミナ溶射材料です。
溶融-粉砕法で作製されたアルミナ溶射材料です。 耐摩耗、絶縁部品に使用されるホワイトアルミナ(AW)と、半導体、FPD製造装置などに使用される高純度アルミナ(AHP)を用意しております。 高純…
メーカー・取扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド
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耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末です。
造粒焼結粉法で作製された純度99.99%以上の高純度イットリア溶射材料です。 イットリア溶射材は主に半導体、FPD製造装置に使用されるため高い純度が要求されます。 これに応えるためフジミでは厳…
メーカー・取扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド
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総保有コストを減少させる事が可能！最高クラスの均一性とスループットを実現
『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 難しいエッチングプロセスや薄膜形成アプリケーションにおいて、 プロセス結果を実現できるエッチング・成膜装置です。 …
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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簡単なハードウエハ交換で、CVD及びRIEとして使用可。ご要望に応じて特殊仕様対応が可能です
『210D』は、エッチング及び成膜を必要とする様々な製品の開発に お使いいただける、誘導結合プラズマによる成膜装置です。 十数分の時間でハードウエアを交換し、誘導結合プラズマエッチング装置 …
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成膜装置
当社の『Corial 200 Series』をご紹介いたします。 共通プラットフォームを用い、用途に応じてRIE,ICP,ICP+RIE, ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレー…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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最短半日見積り／細穴放電加工、ワイヤー放電加工などの精密微細加工はお任せください。
〈材質〉ステンレス／SUS303 〈加工〉細穴放電加工 〈サイズ〉φ５mm こちらの製品は、小径ステンレスに対して細穴放電加工を行ったワークです。 全部で8箇所にφ0.２mm、深さ5mmの穴あけ加工…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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【特殊形状】半導体関連部品／SKD11を使用した特殊形状加工品
最短半日見積り／特殊形状、複雑形状にも対応！半導体、電子機器、工作機械などの精密部品製作はお任せ下さい。
半導体メーカー様よりご依頼頂き、SKD11（工具鋼材）の加工品の製作を承りました。 個数は、1個のみです。 開発・試作部品の単品加工にお応えいたします。 複雑形状 + 超小ロット、特殊形状のご要望…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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最短半日見積り／半導体製造関連／実装機械 等、装置の部分的な製作、装置組立のご依頼もお任せ下さい。
◎お客様 装置メーカー・FA用機器 様 ◎ご依頼内容 自動化装置の安全カバーフレーム部分の製造 半導体製造装置メーカー様用 ◎主な仕様 [数量] 装置カバーA 1台 ／装置カバーB 1台 [寸法…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！
当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン70です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、今回の試作内容が、T角が40(±10)、 CDロスは0.9～1…
メーカー・取扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社
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Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！
当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン69です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、膜構成がCu/Moで、膜厚は560/25、 T角は45(±10…
メーカー・取扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社
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レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品
超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 …
メーカー・取扱い企業： ティックコーポレーション株式会社
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モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介
当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。 光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により 高速な深堀エッチングが可能。 タッチパネル入力でエッチングリンスを…
メーカー・取扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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幅広い金属に対応可能！フォトエッチング技術の利点や拡散接合についてご紹介！
『フォトエッチング』とは写真の原理を応用して、金属などの材質を 化学的に腐食させることで複雑・微細な形状を作り出す精密加工技術です。 極小・極薄・極細部品や特殊な形状の製品の製造に好適。その他…
メーカー・取扱い企業： ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレ…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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