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従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…
【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N型、P型両方に対応出来ます。 ■2~6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。 ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供!
O2、ZrO2、メタル 〇バッチ1%未満の1σ不均一性(Al2O3、WIW、WTW、B2B、49 pts、5mm EE) <基板ローディング> 〇真空クラスタツールによる完全自動ロード 〇カセットからバッチへのローディング 〇オプションSMIFステーション <主なソフトウェア機能> 〇レシピエディター:プロセスの実行中にレシピの作成と変更が可能 〇1つの通信プロトコル(Etherc...
メーカー・取り扱い企業: PICOSUN JAPAN株式会社
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