【NEW】カスタムクランパーAUW08＜M-Tech出展＞

PRエアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ！…

クイッククランパーシリーズ新製品！カスタムクランパー エアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ。 両端に追加されたリニアブッシュにより、スラスト荷重を受けることが出来ます。 カスタムクランパーをならいユニットに使用すれば、素子の配置パターン替えも容易になります。 高さ調整や位置決め、Z軸の落下防止用途、治具、ロボットハンドなど、様々な用途にご利用いただけます。 【使用...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社

重量物の遠隔操作アーム式ロボット※2tまで対応可能で省力化に貢献

PR【省力化】数10キロから2tまで重量物ハンドリングをする遠隔操作アーム…

数10kgから2トンまでの重量物を、アームで離れた距離からつかみ、 回転、反転、旋回をし、別の位置に置いたり、挿入したり作業が行えます。 アーム式の為コンパクトで、省スペース設置を実現。 遠隔操作で、涼しい部屋・安全なエリアでの操作が可能。 耐熱性が求められる作業、タンディッシュ解体やポーラスプラグ挿 入、ノロ掻き作業等の省力化、自動化にもお応えします。 【アタッチメントに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーボアームサービス

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

多孔質製品ラインアップのご紹介　※短納期でのご提供可能！

ガラス・フィルム吸着プレートや精密浮上テーブルをはじめ、精密ポーラスチ…

のご紹介です。 高精度・非接触で、ガラス基板・フィルムを加工搬送できる「精密浮上テーブル」をはじめ、 ワークの切断加工を行っても、ワークがずれること無く吸着固定を持続する 「円形精密ポーラスチャック」などをラインアップしています。 当社では、高品位天然石にて精密さの限界に挑み、1/1000ミリ単位の 要求精度にお応えします。 【ラインアップ】 ■精密浮上テーブル ■精密チャ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・ヂー・ダブリュー株式会社

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いています...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『チャックテーパー研磨加工』

立形研磨加工機によるチャックテーパー研磨加工！内外径同時研磨で高精度を…

中村製作所では、立形研磨加工機による『チャックテーパー研磨加工』を行っています。 内外径端面をすべて同時に研磨することで、高精度な加工が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中村製作所

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫することでかなり改善できます。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準で搭載。 お客様のご要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－ＯＦＦ操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

全自動ウェーハ研削・研磨装置『CMG-802XJ』

1台でチャック面洗浄・粗研削・仕上げ研削・研磨を全自動で行います！

『CMG-802XJ』は、割り出しテーブル上にバキュームチャック4個を配置し、 ロータリートランスファータイプでチャック面洗浄-粗研削-仕上げ研削- ポリッシングの順に移動加工する全自動ウェーハ研削・研磨複合装置です。 多品種にわたるICカードやSi...

メーカー・取り扱い企業： ミクロ技研株式会社 本社

小型塗工機

小型サイズの塗工機です。

小型サイズの塗工機です。 平らな真空チャック内蔵のため、シートを固定し、薄膜の塗工時には非常に便利、一定の膜厚で塗工します。 100ｍｍ幅のマイクロメーター付フィルムアプリケーターが付属します。...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

数：1チャンバー（増設可） ・スクラブ機能：高圧ジェット ・処理液：有機系剥離液・純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過 ・処理能力：60枚/時 ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：メカニカルチャック ・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

１２インチマニュアルプローバー

１２インチマニュアルプローバー

12インチ対応のマニュアルプローバーです。 チャックを変える事により最大320×320の液晶基板対応 可能です。 オプションにてホットチャック搭載可能です。...

メーカー・取り扱い企業： イーエスジェー・プローブテクノロジー・ジャパン株式会社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

シート送り出し・搬送・積層装置

くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する

アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置である フィルム送出部では「空気流による送出機構」（特許）を採用し、フィルムを一枚づつ確...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

チャッククリーニングウェハ(CCW)　技術ハンドブックVol.1

技術ハンドブックプレゼント！種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果な…

当資料は、ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するための お掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。 フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、 種類・他社品比較...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

ハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャック、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

歯車バリ取り機「レベルチャンファ」　※ユーザー仕様での設計も可能

面取り・バリ取りの悩みを一発解決！ワークセット用チャックのセット角を1…

ワークセット用チャックのセット角を120度スライド可能にした事で、ベベル・インターナルギヤの面取りを実現しました。回転スピードコントローラーと作動時間制御タイマー機能により、安定した面取り量と加工時間設定を可能にしまし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MTR

マルチレイアウトラッピングシステム『Trinity-Y』

無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。

【仕様】 [縦型研削装置] ○バキュームチャックサイズ　φ250, SUS ○砥石サイズ　φ200, SUS ○砥石回転数　Max 2,000rpm ○ワーク回転数　Max 400rpm [ラップ機構部] ○研磨定盤外径　φ380mm...

メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。 　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部の太陽電池ウエハとの空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。　浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

フロートチャッくLNAS型

穴あきワーク・不織布・紙を掴み、搬送する

ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持搬送します。 スルーホール基板、セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟物・発泡体・不織布・フィルム・紙等の軟弱、柔軟物をチャックし搬送します。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

スピンドルダイシング装置『7120/7130シリーズ』

ダイシングの問題点を解決！先進的プロセス技術により生産性の向上に貢献

KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・2"～3"ハブ及び円形ブレードと互換 ・12"までの円形製品、フレーム付きの12"×9"角型サブストレート或はフレームなしの12"×12"チャックまでカバー ■7124 ・4"高出力エアベアリングスピンドル、30krpmで2.5KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・4"及び5"の円形ブレードと互換 ・8"×8"製品ま...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

精密研磨用 試料ホルダー

真空チャック式ホルダーや貼付けホルダーなど、豊富なラインアップをご用意…

をいたします。 特殊な形状・より高い精度の要求される試料を取り扱う際には、 特注試料ホルダーの作成依頼も承っております。 【ラインアップ】 ＜研磨量調整機構付きホルダー＞ ■真空チャック式ホルダー ■高精度ホルダー ■TEM ホルダー ■厚さ調整ホルダー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

超音波研磨装置『LAPTRONμ』

放電目の奥隅処理などに適した超音波研磨装置！

『LAPTRONμ』は、シリーズ最小径のΦ20mmの超音波ハンドツールと Φ5mmのチャックを採用した超音波研磨装置です。 セラミックやウッドチップ+ペーストだけでなく、メタルボンドダイヤ チップも使用可能。 ムラが出やすい放電目の奥隅処理や、1mm以下の製品形状部分などに好適...

メーカー・取り扱い企業： 三和商工株式会社

大型サンプル研磨装置『MA-600e RECT』

Φ600mm円形サンプルから大型パネルの研磨まで

ンプルの研磨に最適 Φ600mm のステージにサンプルを固定することで大径サンプルの全面を研磨可能です。 サンプルはΦ600mm のSUS プレートに熱ワックス等でサンプルを接着し、プレートを真空チャックすることで固定します。 ●プログラム設定による複雑な研磨が可能 主軸・加圧軸の回転数や加圧力、揺動幅を設定可能です。 ●安全に配慮した研磨作業の実現 非常停止スイッチおよび漏電ブレーカー、イン...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

マニュアルプローバ

OYM-401は実体顕微鏡に対応したマニュアルプローバです。複数台のポ…

ＩＣのパッドを対象にしたプロービングに適した、実体顕微鏡をセットアップ 　したモデル ◆標準で８インチストロークのＸ−Ｙステージを装備 ◆オプションとしてプローブカードホルダ、ホットチャックといった各装備の 　設置が可能 ※詳細は『資料請求』まで...

メーカー・取り扱い企業： 雄山株式会社 東京支店

イオンビームトリミング装置『scia Trim 200』

メカニカルクランプ又は静電チャック対応！サブナノメーターエッチング機構

ます。 ご用命の際は、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mmウエハ基板対応 ■歩留改善 ■高精度・高スループットによる膜厚エッチング制御 ■メカニカルクランプ又は静電チャック対応 ■サブナノメーターエッチング機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ