NC旋盤用チャック交換システム『セントロテックス S』

PRチャック交換後の芯出し調整不要！ワークと加工内容に応じた好適なチャック…

『セントロテックスS』は、専用の吊りジグを使用して、重いチャックでも 安全かつ簡単に交換が可能なNC旋盤用チャック交換システムです。 交換時の芯出し調整は不要で、ボルトを締め付けるだけで繰り返し精度0.003mm以下。 チャック交換に伴う機械停止時間の短縮が図れるため、 多品種少量生産に対応する柔軟性の高い製造ライン設計が容易となり、 工作機械を限りなく有効に活用することが可能に...

メーカー・取り扱い企業： ハインブッフ・ジャパン株式会社

【高精度・短納期】セラミックスメーカー受託加工サービス　研磨研削

PRセラミックスメーカーが提供する高精度加工サービス。支給品加工や材料含む…

長年にわたり培ってきた精密ラップ加工技術、各種研削技術で、お客様のご要望にお応えします。5軸加工機による複雑形状加工にも対応します。まずはご相談ください。...1977年創業以来、セラミックスの精密加工に特化し技術力を高めてきた名東技研が、2020年にJFCの加工部門として新たなスタートをきりました。高い技術力と小回りの利く生産体制で、高精度、短納期のご要望にお応えします。材料から加工・検査までの...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

半導体関連装置　製品カタログ

半導体関連装置やパワー半導体関連装置、LED関連装置を掲載！

導体関連（収納／保管庫） 　・簡易型マスクストッカー 　・マスクストッカー　他 ■半導体関連（卓上タイプ） 　・手動移載機 　・一治具移載機　他 ■半導体関連（治具関連） 　・スピンチャック 　・石英フォーク　他 ■パワー半導体関連装置 　・Cies/Rg検査装置 　・絶縁耐圧検査装置　他 ■LED関連装置 　・暗電流測定機 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピクリング

ドリル研磨機『ドリル研研(とぎとぎ)』

簡単操作・コンパクト設計！扱いやすさを追求した鉄工ドリル研磨機

『ドリル研研(とぎとぎ)』は、一般鋼用の鉄工ドリル研磨機です。 設定器が本体と一体型のため、刃先設定とドリル研磨が1台で出来ます。 操作方法はチャックにドリルをセットしてスライドさせるだけ。 速く、簡単にドリルを研磨出来ます。 また、ロングドリルの研磨にも対応。刃先を固定する方式のため ロングドリル研磨時にも通常と同じ使用感で研磨でき...

メーカー・取り扱い企業： ニシガキ工業株式会社

自動ダイシング装置『7900 Duo』

対面する2基のスピンドルで同時ダイシング！生産性を倍増させる高性能な装…

面検査で一定のカット品質を保証 ■タッチスクリーンユーザーインターフェイス ■オプション ・破損ウェーハ認識、テープ表面検知、先進の多倍率映像装置 ・硬質及び厚い用途に強力スピンドル、特殊チャック、ドレスステーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社

高精度の薄板加工（最小幅2ｍｍ）承ります

独自のチャック方法により、高精度の薄板加工品を提供します【サイズや、加…

加工サイズ：最大700×700ｍｍまで　最小幅2ｍｍ 材料実績：アルミ、鉄、ＳＵＳ、インバー材など 精度：実力値で1000分台の平行を出せます まずはお気軽にご相談ください 加工設備 横型MC：a８１ｎｘ【900×900×1020ｍｍ】1台 　　　　 Ａ７７【800×750×770ｍｍ】2台 立形MC：Ｖ77【1200×700×650ｍｍ】1台　 　　　　 Ｖ77Ｌ【150...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

自動研磨装置『FAS-2型』

自動的に研磨が進行！操作が簡単な自動研磨装置！

ます。 さらに、MGシステムの採用により、ダイヤモンド研磨・琢磨が可能に なっています。 標準付属品として、Φ200アルミMG円盤をはじめ、給排水ホース（継手付）、 試料ホルダー（チャック式）等を、お付けしております。 お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■操作が簡単 ■FAS-1型のバージョンアップ機 ■MGシステムの採用 ※詳しくはお問い合わせ、またはカ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウィンゴー

ドリル研磨機『ドリ研』

簡単操作・高精度！幅広いドリルに対応するドリル研磨機のスタンダード

『ドリ研』は、一般鋼用の鉄工ドリル研磨機です。 当製品は、設定から研磨までがスピーディー。 目盛りをドリル径に合わせ、刃先を所定の位置まで回して設定後、 チャックを研磨機本体に差し込むだけで、研磨が完了します。 また、ロングドリルの研磨にも対応。刃先を固定する方式のため ロングドリル研磨時にも通常と同じ使用感で研磨できます。 【特長】 ■ノ...

メーカー・取り扱い企業： ニシガキ工業株式会社

非接触シート・フィルム積層装置

送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する

送られてきた偏向板・シート・フィルム・紙・不織布を非接触にて、精度よく揃えて集積する装置です。 　非接触搬送装置「フロートチャック」にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調して走行する「非接触支持走行装置」を採用しております。薄いワーク、柔軟なワークを汚れの付着・損傷させることなく、高速にて確実に精度よく集積いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

製品カタログ　半導体製造装置用セラミックス製品

ウェハ製造プロセス・デバイス製造プロセスで用いられるセラミックス製品を…

ハポリシングプレート 　・SiC製ウェハポリッシングプレート 　・ドレッシングプレート　他 ■デバイス製造プロセス 　・プラズマプルーフ ドーム 　・プラズマプルーフ リング 　・静電チャック　他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 橋本理研工業株式会社

ドリル研磨機『ドリ研X（エックス）26』

大口径ドリルのXシンニング研磨がカンタンにできる！強力型ドリル研磨機

があき、高精度研磨が可能です。 【特長】 ■Xシンニング形状 ■ドリル径7.0mm～26mm対応 ■大径ドリルのXシンニング研磨に対応 ■調整ダイヤルでシンニング幅が調整できる ■チャック＆設定器が本体に収納できる ■ロングドリル対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ニシガキ工業株式会社

スルーホール基板・ＦＰＣ基板の移載装置

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能…

１．スルーホール穴あき基板、フィルム基板　吸着可能 ２．基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能 ３．段積み基板を１枚ずつ吸引 ４．吸着器の段取り替えが不要 ５．傷、汚れパッド跡を付着しない ...段積みされたプリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣ、フィルム、セラミック基板を穴の位置、基板の大きさに関係なく１枚ずつ非接触にて搬送。基板に向かって気体を噴出することにより、ベルヌーイ効果による...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T

装置寸法：1700W×1300D×1400H

基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。 本体側面にキャニスター缶を収納可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

枚葉スピン剥離装置 WSR-200CBT/WSR-300CBT

装置寸法：1200W×1100D×2000H　(200CBT)/150…

基板をマニュアルでチャックにセットし、剥離処理、リンス、スピン乾燥します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

SSY-10010　EFEM

EFEM

s2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源：単相 AC200V 15A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローから...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

実験用精密スクライバー『SC-100/SC-150』

断面観察用試料が精密かつ容易に作成可能！試料を直接手で触れたり、押さえ…

【構成仕様（一部）】 ■適用試料：半導体ウェハー、サファイア、 SiC、ガラス、セラミックス等 ■試料サイズ：最大φ100mm（SC-150の場合φ150mm） ■試料取付け方法：真空チャック式 ■ステージ移動：X方向＝100mm（MAX）微調整付き（SC-150の場合150mm） ■ステージ回転：θ＝360 °微調整付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： ムサシノ電子株式会社

プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

り負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

研磨機

どんな針でも研げる装置を！誰もが自動機感覚で扱える製品を目指して開発・…

また、サイドホール加工もインラインで行えるように、パンチ加工、EMG加工を 含めた装置構成のラインアップもご用意しております。 【仕様（一部）】 ■全般：研削条件を全自動制御 ■研削チャック：480mm長 ■対応ゲージ：13G（φ2.2）～32G（φ0.23） ■針長：12.5mm～120.0mm（80－120mmはオプション） ■研削角度：9－40度 ※詳しくは関連リン...

メーカー・取り扱い企業： 武蔵野設計工業株式会社

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

Ｒ＆Ｄ用途に最適な コンパクトなスピン洗浄装置です。 チャックテーブルの交換により 多種多様な基板を洗浄できます。 ＜主な仕様＞ 対応ワークサイズ ウエハ　φ8インチ（MAX） マスク　6025（MAX） 純水リンス、ブラシ洗浄、 メガ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。...「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能で...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec カセット保持 エア駆動によるエッジグリップ式チャックによる保持 繰り返し精度 ±0.2mm 質量 システム本体 約160kg（設置フレームを除く） ユーティリティ エア：カセットグリップ駆動用 0.25±0.05MPa 各ワークサイズ、カセ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...TAIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『高精度研磨加工品』

恒温室で外内径端面を同時研磨！寸法誤差を限りなく低減した研磨加工品

『高精度研磨加工品』は、恒温室内の立形研磨機で外内径端面を同時研磨加工により製造されます。 三次元測定機並みの精度の比較測定装置を使用し、測定方法による寸法誤差を抑制。 マグネットチャック又は面板冶具を用いるため、クランプ圧による加工後の変形もありません。 【特長】 ■同軸度・同芯度が0.003以下 ■外内径端面を同時研磨 ■寸法誤差を抑制 ■加工後のクランプ圧による...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中村製作所

ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

【製品の特長】 ○ゴムやプラスチック成型金型、繊維機械の各種ロールやシリンダー、化学工業の薬品貯蔵タンクや配管 ○半導体関連では、各種チャンバー、ウエハーチャック、バキュームプレートなどの製品に、 　フッ素樹脂コーティングは必要とされています。 ○糊受タンク、分岐バルブ、湿布製造部品 ○加圧タンク、純水ライン配管、インクタンク ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。 ・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。 ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SSY-10010プロトスワーク自動移載システム

プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…

プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になり...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

kg コントローラ仕様 コントローラ型式 C4301シリーズ インタフェース RS232C, パラレルフォトI/O 本仕様はTSVCR3060N-020-PMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

チャック上のゴミ/パーティクルを除去！チャッククリーニングウェハ

ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムを削減！導入効果や他社比較を…

ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するためのお掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。 フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、種類・他社品比較の優位点・品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル