クーラント廃液 超省エネ減容化装置【産廃量1/20に削減！】

PRクーラント（水溶性加工油）廃液の95％以上減容化を実現！産業廃棄物処理…

NC旋盤やMCなどを用いた金属加工工程をお持ちの製造業様でのクーラント （水溶性加工油）廃液の削減事例になります。クーラント廃液を産業廃棄物 処理しているため、環境負荷およびコスト削減を実現したいという課題を 抱えていました。ヒートポンプサイクルを利用した超省エネ減容化装置を 利用する事で大幅に廃液を削減しました。 【事例概要】 ■課題 ・クーラント廃液を産業廃棄物処理しているた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンアップ

【防災・環境商材】簡単設置で省エネ！「エレクトロライフ」

PR【特許取得製品】 電解技術で冷却塔などのスケールを強力除去、再付着も…

「エレクトロライフ EL-10A-1」は、冷却塔などの循環冷却水系に付着するスケールを、電解技術を用いて強力に除去、再付着を防止する製品です。 (特許第4214139・第4644677) 従来の薬剤注入、磁石、弱電解の方法より、強力な除去効果を発揮します。これにより熱交換効率を改善し、大きな省エネ効果とCO2削減効果を図ることが可能になります。 また、スケール分散剤などの薬品も使用し...

メーカー・取り扱い企業： イツワ商事株式会社 大阪本社

『中古部品買取・販売／リファービッシュエンジニアリング』のご紹介

約8万点の中古部品在庫を保有し、最短即日出荷。半導体・FPD製造装置の…

『中古部品の販売』と 『リファービッシュエンジニアリング』についてご紹介いたします。 【中古部品の販売】 ■約8万点の部品在庫を保有 （表示機器、真空・駆動系・制御系パーツ、付帯機器、ポンプ、計測器など） ■最短で即日出荷が可能 ■生産終了品や新品の部品も提供可能 ■海外からの専用品の取り寄せに対応 【リファービッシュエンジニアリング】 ■生成物の除去、装置の延命化、オ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション ○現像用カップ：SUS304テフロンコート ○ベーク炉：ホットプレート、真空チャンバー ○回転数：MAX3000rpm ○モータ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

ングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カセット室を備えプロセス再現性や安定性に優れる ■ウエハとプラズマ間距離を最適化し、良好な面内均一性を確保 ■TMP(ターボ分子ポンプ)や高周波電源をユニット化し、交換が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

株式会社山岡製作所【製造部　受託生産課】

フォークリフトや超純水製造装置（オルガノ）保有！設計を含む、総合請負対…

クリフト（バッテリー式）⇒能力：3.0t　※宇治田原工場 ■KOLEC [通称：コレックリフター] ⇒能力：600kg　※宇治田原3棟CRのみ ■ボール盤・グラインダー ■排気ブロアー・真空ポンプ ■超純水製造装置（オルガノ）：1台 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

ジェットスクラバー機

今後の超薄板製品対応が可能！上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯…

【ゼットスクラバー管理】 ■粉末の交換週期及び方法 ・使用環境及び時間によってくれることは一定しないし8Hr/Dの場合、　 　約1月使用の後に点検して交換 ■濃度測定 ・ポンプ側面にある測定バルブを使ってビーカーに研磨剤を盛って 　沈澱をさせた後ビーカー量に比例して濃度を測定 ■装置停止し管理 ・研磨剤は装置停止しローラーに埋めて固い状態であるが約35℃以下の ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

株式会社テック・エンジニアリング 取扱い製品 総合カタログ

半導体関連製品やクリーンルーム設備などの製品を紹介します。

【掲載内容】 ○半導体製造装置機器連結工事 →装置電源・信号・冷却水工事 →ガス配管工事 →真空排気・ポンプ排気配管工事 ○半導体関連製品 →シリンダーキャビネット、レギュレーターボックス →アルミフレーム＆パネル製設備品 →排ガス処理装置、マルチファンクションコンビネーションシステム →高周...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テック・エンジニアリング

全自動側面専用研磨機『EF-92』

オプションとしてポケット飛ばし機構、切込み補正、平刃補正も対応！

7rpm ■カム駆動用変速モーター：AC200V 0.4kw 1：100 ブレーキ付き×1台 　(インバーター制御、2段スピード) ■オシレーションストローク：10mm 6回 ■クーラントポンプ：200V 60w×1台 ■ワンサイクル(1刃の研磨時間)：6秒～/刃 ■刃送りピッチ：MIN8mm MAX60mm ■総電気容量：2.0kw ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ

水溶性離型剤 自動希釈圧送装置『マッキーミニ』※デモ機無料貸出

自動で手間なく離型剤を希釈＆圧送。タンク補給の手間がいらず生産性UP【…

手間も省け、生産性がアップします。 【特長】 ■希釈精度±3％ ■タンクへの補給不要（鋳造作業を中断する必要がありません） ■スプレー装置への圧送圧力が簡単 ■カスタマイズ対応（圧送ポンプ自動復帰回路、マシンインターロック、 　凍結防止ヒーター、指定色塗装、海外輸出使用など） ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 真岐興業株式会社

回転体計測向けコネクター『スリップリング』※解説資料を進呈

モーターなど回転体の温度計測に活躍！低ノイズで耐熱性も良好

【計測対象】 ◎輸送機器エンジン　◎モーター　◎変速機　　◎ポンプ部品 ◎タイヤ　　　　　　◎工作機械　◎組立装置　◎遠心分離機 ◎攪拌機…など 【解説資料の内容】 ・スリップリングとは（スリップリングの基礎知識） ・中空一体型スリップリング ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東測

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○インナーカップ：φ270アルミ削り出し、表面処理 ○外カップ：SUS304　φ360絞り加工 ○排気/廃液：廃棄はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

RTP装置『AS-Premium』

最大156mm×156mm基板対応！真空又は大気搬送装置及びロードロッ…

■最大156mm×156mm基板対応 ■低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター ■アニール処理後急速冷却機構(上部ランプ加熱式のみ) ■大気・真空下プロセス対応 ■ターボポンプ搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

全自動先端二軸専用研磨機『EGTW-081II』

研磨スピードは無段変速、カム機構！オプションにより供給装置の選択が可能

AC200V 1.5kW 2P×2台 ■主軸回転数：60Hz・4993rpm/50Hz・4161rpm ■カム駆動モーター：AC200V 0.4kW 1：63 ブレーキ付き×1 ■クーラントポンプ：AC200V 60W×1台 ■エアー消費量：9L/min ■総電気容量：4kW ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ

IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT　ＩＰＡベーパー

CO2ガスによる自動消火システムを装備

切る ■IPAの供給/廃液 　 内蔵されたキャニスターにより、IPAの自動供給を行う。 　ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで受け、廃液温度が設定値以下に 　 なると回収タンクへポンプで送られる。 ■仕　様 　ワークサイズ：ウエハ 4in～ 8in　 　　　　　　　　 　：マスク 5in ～ □9in 　 本体寸法：1400W×1100D×2000H □その他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

自動研磨機『メカテック234-264』 再現性の向上&操作性抜群

「再現性」に特化した自動研磨機！メンテナンス性にも優れた１台です。

【その他の特長】 ■マイクロポンプで滴下量を調整 ■研磨開始後、ポリッシングヘッドの位置を自動ロック ■清掃しやすいデザイン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 北川グレステック株式会社 本社

露光装置　小型露光装置

ＪＥＭの装置は簡単な操作で正確な製版ができます。

露光時温度を一定に保つ様、ランプのブロワー換気を行っていますので露光安定性、再現性にすぐれています。露光面積に余裕があり、専用バキュームポンプを使用しています。振動騒音が少なくネガフィルムの密着は完璧です。...

メーカー・取り扱い企業： 日本電子精機株式会社

プラズマ装置　PiPi（ピピ）

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

LARK 355A(355nm Qスイッチ DPSSレーザ)

AOQスイッチを搭載した、エンドポンプ方式の半導体励起固体レーザの3倍…

■共振器が筐体と一体化されているため、光学アライメントを行う必要が無く安定したレーザ発振を行うことができる ■空冷のコンパクトサイズのため、持ち運びに便利...■半導体励起Qスイッチ固体SHGレーザ(DPSS QスイッチTHGレーザ) ■＞3W @40Hz ■＜18nsec パルス幅 ■空冷コンパクトサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプトロンサイエンス

株式会社原ノ町鉄工　事業紹介

大型機械加工・NC旋盤加工・マシニング加工はお任せ下さい

り安く 且つより早く、提供できるよう進化を続けています。 【営業内容】 ■半導体製造装置・液晶製造装置部品製作 （アルミ真空チャンバー及びその関連品含む） ■治工具金型部品製作 ■ポンプの部品加工 ■発電機・一般産業機械の部品製作 ■ユニット組立 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社原ノ町鉄工

磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600

Better pump for Better Yields !

BPS-600ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Mode...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450）有り ・最大基板サイズ：Φ8inch ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプ可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model....

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

◆ANNEAL◆ ウエハーアニール装置

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max5...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i30

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i30ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

nchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源（最大4源）、有機蒸着源（最大4源）、又はΦ2"マグネトロン（最大3基）、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライポンプオプション） ◉ グローブボックス連結仕様（*要仕様協議） ◉ 豊富なオプション：基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. ＊その他のMin...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Mode...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

0ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450） ・最大基板サイズ：Φ8inch ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

磁気浮上型ベアリングレス　BPS-4000

Better pump for Better Yields !

BPS-4000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

nchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源（最大4源）、有機蒸着源（最大4源）、又はΦ2"マグネトロン（最大3基）、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライポンプオプション） ◉ グローブボックス連結仕様（*要仕様協議） ◉ 豊富なオプション：基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. ＊その他のMin...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下！　卓上型スピンコート機ACT-300…

『ACT-300A IIS』は、マイクロシリンジポンプを搭載したマイクロリットルレベルの精密自動滴下が可能な卓上スピンコーターです。 最大15系統の液の滴下が可能で、ご要望に応じてエアブロー、エッジリンス・バックリンス等も搭載できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

ー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース 幅603 x 奥行603 x 高さ1,160mm（*ロータリーポンプ筐体内設置） 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。 本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけま...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

料選択：ステージ回転式 ○ターゲット／試料間(TS)距離：20mm、30mm、40mm ○ターゲット選択：シャッター方式 ○給電方式：単独給電切替式（電源パネル操作） ○排気系：ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min ○到達真空度：1×10⁻³Pa以下 ○真空度測定：コンビネーション型真空計（電離真空計+ピラニー真空計） ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

真空蒸着装置『nanoPVD-T15A』

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

◉寸法：804(W) x 530(D) x 600(H)mm ◉重量：40kg〜70kg（装置構成による） ◉優れた基本性能 ・到達真空度 5x10-5Pascal ・高性能ターボ分子ポンプ搭載 ・〜Φ4inch基板 ◉蒸着源 ・金属蒸着源 TE x 最大2基 ・有機蒸着源 LTE x 最大4基（抵抗加熱TEと混在の場合、2基まで） ◉7"タッチパネル ◉連続成膜 ・成...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

（最大6）、Φ3"（最大4） ・プラズマ電源：RF150W, 300W, DC850W, HiPIMS 5KW ・MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング ・ターボ分子ポンプ + ドライスクロールポンプ ・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W ・LLチャンバー ＜30W 低出力制御*ソフトエッチング *独自の"Soft-Etching"技術で基...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

２液ディスペンサー（２液樹脂自動計量混合吐出装置）MAKシリーズ

本装置でウレタン、エポキシ、シリコーン等の２液樹脂の真空脱泡、温調、自…

様に合わせて、使いやすい装置を設計、製作しています。 【特徴】 ●1台の装置で、主剤と硬化剤それぞれの真空脱泡、温調、所定の混合比での自動計量混合、定量吐出が可能 ●耐摩耗性に優れた計量ポンプの採用により、シリカ等のフィラー入り材料の正確な計量を実現 ●「無洗浄式パワーミキサーWL-501型」の採用により、溶剤（洗浄液）のでミキサー（2液混合吐出部）の洗浄が不要。 ●樹脂に適した液...

メーカー・取り扱い企業： エムアンドケー株式会社 本社・工場

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

C サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

ホローカソード方式 イオンプレーティング装置　SIH-400T

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

蒸発源　HCD/Gun　水冷ハース　電源 ○ワーク保持機構 　自公転治具 or 公転治具 ○ワーク加熱ヒーター　シースヒーター ○測定系　ピラニー真空計　ペニング真空計 ○排気系　複合分子ポンプ　油回転ポンプ ○バイアス電源　100V-10A ○ボンバード電源　500V-1A ○ガス導入系　4系統 【所要諸元】 ○サイズ　本機：約W1340 × D1120 × H1938 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

『自動ウエハレジスト塗布装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布装置です。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、レジストの他、接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

【nanoPVD-S10A】マグネトロンスパッタリング装置

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

570(D) x 600(H)mm ・重量：約70kg ・電源：200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ：Φ225（内径）x 250mm ・真空系：TMP + RP（ドライポンプ オプション）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

加熱スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』

注目度高し！　試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です） スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-30…

ラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です） オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス！ https://www.acti-ve.co.jp/spi...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-22…

ラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です） オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス！ https://www.acti-ve.co.jp/spi...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-450AII』

□180mm、10インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-45…

ラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（真空吸着によらない基板固定の場合は不要） オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス！ https://www.acti-ve.co.jp/spincoat...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ