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PRファイバーレーザやCO2レーザ技術の特性を活かした高品質加工を実現!多…
高度なレーザヘッド技術やCO2レーザ伝達技術を駆使し レーザと高精度ロボットを組み合わせた切断に特化したセルです。 『ロボレーザ切断セル』 3D形状の複雑な厚みの異なるワークにもフレキシブルに対応できる ロボットファイバーレーザ切断セルで、トリミング・バリ取り・ ゲートカット・穴あけ加工を1台で対応可能です。 『ロボレーザ樹脂加工セル』 プラスチック加工に適したCO2レーザをロボットア...
メーカー・取り扱い企業: 三井物産マシンテック株式会社
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安全機能搭載!注目の安全柵レスUR専用走行軸 【動画公開中】
PR注目の安全機能搭載!人とロボットが一緒に作業できるUR走行軸で生産現場…
Thomson社は協働ロボットメーカーであるユニバーサルロボットとの初のコラボレーションMovoTrak 7軸(走行軸)を発売しました。 この製品は、URロボット専用の安全柵レス走行軸で、二つの安全機能が特徴です! パドルストップ機能では、ロードセル内蔵パドルがわずか「13N」の接触を感知し、安全に停止。 高い耐久性と剛性を誇るこの走行軸で、生産性も最大限に引き出した「生産性」×「安全性」を両立...
メーカー・取り扱い企業: ミワ株式会社
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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厚さ100um!極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績(…
薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置(ウェーハソーター)の作製実績など、薄くて割れやすい(脆い)ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT(タンタル酸リチウム)、ガラス(石英)、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造(密閉式、回転カップ式) ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能(オプション) ・高粘度材料で難しいEBR(エッジリンス)機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます! 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です(特許取得済み) マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップをご用意しています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、 まずはお気軽にご相談ください。 2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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両面プロセスに最適!両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます!
一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度~高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク(MAX400℃)、低温ベーク(MAX200℃)、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能! その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド(PI)、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます! シリコン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコータ…
回転カップ式スピンコーターは高粘度材料(ポリイミドや高粘度レジスト)の使用量を大幅に削減できます! 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は薬液によりますが、使用量3割~7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機~フルオート機までのラインアップを揃えています。 設計から製造・販売ま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【特長】 ■低価格を実現 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応 ■2~12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能(例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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大型角基板用(~430mm)回転カップ式自動レジスト塗布コーター
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます!正方形、…
角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます(高粘度で実績多数!) 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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10000cP!高粘度対応自動レジスト塗布装置(スピンコーター)
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス…
高粘度レジストの塗布に強みを持っています! 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5%以内に納めます(φ300mmウェハ) ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です(保有特許:第3821468) 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高粘度フォトレジスト対応!密閉式自動レジスト塗布装置(コーター)
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります!10000cPのポリイミドで…
高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります! 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 ベローズポンプやシリンジの対応も可能です! マニュアル機~フルオート機までお客様の生産量に合わせて設計から製造まで行います。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■高粘度塗布でも高均一...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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