ロボットアーム | イプロスものづくり

PROEM用の精密ポンプやロボットアームの実機展示！システムの受託開発・製…

テカンは、液体ハンドリング分野において世界的に卓越した技術を持ち、医療機器法規制対応した数多くの体外診断薬自動分析装置の開発と製造実績があります。 ■高品質な自社発の前処理、自動分析装置を新たに上市したい方 ■ご使用中のシステムの前処理装置や次世代装置の開発製造やその効率化にご興味をお持ちの方ぜひブースにてお気軽にお声をかけてください。ご来場を心よりお待ち申し上げます。 ...

メーカー・取り扱い企業：テカンジャパン株式会社

量産金型の代替え『簡易金型』による金属プレス部品製作　※資料進呈

PR簡易金型プレス工法のメリット、量産金型との使い分け方などをまとめた技術…

本資料では、当社が専門とする「簡易金型プレス工法」について、わかりやすくご紹介しています。　試作・中～少量生産で活躍する簡易金型プレス工法は、コストや納期など様々なメリットがあり、量産金型との適切な使い分けが必要です。　金属プレス部品の製作をご検討中の方は、ぜひご覧ください。　【掲載内容】 ◎量産金型と簡易金型の構造上の違い、メリット・デメリット ◎簡易金型のプ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社加川製作所

ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…

機能の各種検査を行います。各種検査をクリアしたロボットに対し、レベル調整(製造メーカーのスペックに合わせて、レベル調整作業) ウェーハ・カセットを使用し、サイクルテストを行います。（ロボットアームでの繰り返し精度測定、プログラムにてOH後の品質及び精度確認を行います） ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することでスループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適していますアーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能マイクロプレート搬送も可能チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...ロボット仕様ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

半導体製造装置用アーム　厳しいキズ管理のできるサプライヤー

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…

横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイパーウェブ

【精密部品加工事例集】無料進呈！！半導体製造装置部品など

「半導体製造装置部品」や「産業用ロボット部品」などの精密加工部品11点…

当資料では、株式会社タアフが行った精密加工部品事例をご紹介しています。 “ベース”や“プレート”などの半導体製造装置部品の加工事例をはじめ、ロボット部品の加工事例やFA装置部品、工作機械部品の加工事例を掲載。【掲載事例】 ■半導体製造装置部品 ■ロボット部品製作内容やお見積りのご相談等、興味を持っていただけましたら何でもお気軽にお問合せ下さい。 ■その他の装置部...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タアフ

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウンアームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事でフォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。マニュアル機～フル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物～1...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

フレキシブル性のあるユニバーサルジョイントコネクタ

装置内の狭いスペースでの作業時や、電路の引き回し設計においてフレキシブ…

アプリケーション例として、ロボットアーム部や装置内電路引き回し時に採用されておりますが、材質や表面処理を変えることによって高温（数百度）用途として半導体製造装置のヒーターやＥＳＣへの接続なども可能とします。また、同等の電気仕...

メーカー・取り扱い企業：エヌビーエス株式会社本社・工場

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御・アブソリュートエンコーダ搭載・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。各ウェーハサイズ対応可能です。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

量産案内(自動生産ライン)

無人稼働でフレキシブル生産を目指します！

ロボットアームと５軸加工機・三次元測定器をライン化し、省人化によるコスト低減と、多品種の生産も可能とするフレキシブルな生産体制を目指しています。作業員1名で高精度の製品を自動生産していきます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社津田製作所

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。・P/N判定は接触式にて行います。・検査ステージではウェーハの吸着前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転ユニット全体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

抵抗率測定機（RTS-02型）

抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類

シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。 ...・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。・測定データはパソコンに転送されます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ【ASAPのコーター・デベロッパ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保アーム関節部防水構造にVシール使用部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウンアームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様ロボット型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式真空吸着保持方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコーダ付き...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。この他にレジスト、ポリマー、マスクの洗浄装置としても使用で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）Maskaligner

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…

当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事でフォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。ソフト、ハードコンタクトにも対応。マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、設計から製造・販売まで自社で行っているの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・1チャンバー完結　完全枚葉処理・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-01,02型）

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…

ツインアームロボットを使用することにより効率的な動作が可能になり短時間処理が可能になりました。測定データはExcelファイルに自動保存します。 ...・ウェーハの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。・仕分けは同一ロットのカセットの中で並べ替えを行う方式ですので、仕分けランクが大きい場合は並べ替えを行わない割合が増え、従ってトータル処理時間は短縮します。・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム