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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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韓国製 スパッタリングターゲット(AZO,ZnO,GZOタイプ)
太陽電池用・ディスプレイ等で採用実績多数の透明導電用スパッタリングター…
*TCO(透明導電膜)ターゲット材 *ナノ粒子を用いた緻密なセラミックコート素材 *AZO(ZnO(酸化亜鉛)+Al2O3(酸化アルミニウム))系、 ZnO(酸化亜鉛)系、GZO(ZnO(酸化亜鉛)+Ga2O3(酸化ガリウム(III))系 がございます。 AZO・ZnOターゲットは理論密度99.5%以上の高密度。 GZOターゲットは99%以上の高密度 *ターゲット表面抵抗:5...
メーカー・取り扱い企業: 蝶理株式会社 無機ファイン部
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