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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR耐熱温度は80℃から120℃対応の製品を用意!通販サイトでの購入も可能
『FCシリーズ』は、低価格帯での量産型樹脂製小型フロートスイッチです。 当社の主力であるステンレス製では測定が不可能な酸性、アルカリ性と いった液体の液位管理にご使用頂けます。 製品材質はPP、ポリスルホン、PVDFといったものを揃えており、様々な 液体に対応しております。 【ラインアップ】 ■PP製小型フロートスイッチ「FCH11QD」 ■PP製小型フロートスイッチ「F...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社木村製作所
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SiC成膜技術で未来をひらく!独自の化学蒸着法で製作されたSiC製品
独自の CVD - SiC( 化学蒸着法)で製作されたアドマップの SiC 製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えています。 半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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SiC製品の代表特性値、不純物濃度など各種物性値を紹介!
三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、 あらゆるフィールドで使用されております。 【不純物拡散係数(cm...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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厳しい環境下で多数の実績!適応可能が幅広い膜単体製造技術
はじめ、複雑形状まで幅広く適応可能です。 半導体製造装置を中心に、超高温やプラズマの厳しい環境下での数多くの実績があります。 【製造工程(例)】 1.黒鉛基材を円板状に加工 2.全面にCVD-SiCコーティング 3.外周加工により基材を露出 4.高温酸化雰囲気中で基材除去 5.2枚の膜単体円板となる 6.研削/研磨・面取り・洗浄・検査 詳しくはお問い合わせ、またはカタロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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ベストソリューションを提供!独自技術を中心としたソリューション
独自のCVD-SiC技術を中心に、 分析力・解析力・設計力を掛け合わせ、構想の初期段階から参画し、 ベストソリューションを提供いたします。 【提案例】 ○超高温アニール装置用大型部材開発(ボート、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品
半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く 活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品 【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ ・オーバーフロー槽 薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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半導体、産業機械、原子力、航空宇宙分野に最適!高性能な化合物“SiC”
【アドマップのSiC】 ○アドマップではCVD法でSiCを製造している ○CVD法によるSiCは緻密で高純度であるという特徴がある ○アドマップが提供するのはβ-SiCと呼ばれる3C構造のSiC →3C以外はすべてα-SiCに分類される...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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磁気をかけると粘度が変化。ダンパー、シートなど自動車関連の衝撃・振動に…
・磁性流体 ・Hzeroコンポジット ・高精度直流測定センサ(Hzero) ・サーモモジュール ・パワー半導体用DCB基板 ・真空シール FerroSeal ・セラミックス製品 ・CVD-SiCパーツ ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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SiC成膜技術で未来をひらく!独自の化学蒸着法で製作されたSiC製品
独自の CVD - SiC( 化学蒸着法)で製作されたアドマップの SiC 製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えています。 半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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優れた純度!耐食性・耐酸化性・耐熱性・耐摩耗性が高いSiC
三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、 超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、 あらゆるフィールドで使用されております。 【特徴】 ○超高純度...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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緻密な製品を提供!適応可能が幅広いコーティング技術
等方性高純度黒鉛および各種焼結SiC基材に、高純度で均質性に優れたコーティングを提供いたします。 半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇宙分野での高い評価を得ております。 【特徴】 ○超高純度 ○高耐食性 ○高耐酸化性 ○高耐熱性 ○高耐摩耗性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【技術と製品】 ○SiC技術 ○コーティング技術 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フェローテックホールディングス
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