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『7100シリーズ proVectus ダイシングシステム』
0°から15°までのどんな角度でも素早く変換!傾斜スピンドル機能を搭載…
【可能な傾斜ダイシング】 ■プレーナーウエーブガイド ・Si、Silica-on-Silicon ・Polymer on Si ・InP ・GaAs ■ファイバーウエーブガイド ・LiNbO3 ・Fused Silica ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 日本技術産業株式会社
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スクライブ装置 サファイア GaAs GaN Inp セラミック
ハイスピード・ハイクオリティ!4インチウェハ対応のセミオートスクライブ…
加工軸・送り軸・カメラ軸がそれぞれ独立した4インチウェハ対応 セミオートスクライブ装置です。バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共にエアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。また、駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、より精密なスクライブが可能になりました。 【特長】 ■高剛性設計・高スループット ■オートアライメ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部 大津第1工場
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