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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
■基本仕様 ・材質:Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等 ・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可) ・洗浄チャンバー数:1 ・スクラブ処理:高圧ジェット/ 2 流体...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
■基本仕様 ・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等 ・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可) ・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等 ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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