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23件 - メーカー・取り扱い企業
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SMART photonics社と提携!InP系光集積回路の実装サービ…
当社の『INP系フォトニクス・ファウンダリサービス』をご紹介します。 当社は、独立したInP系専業ファンドリー企業としてユニークで高度な ジェネリック技術をもつSMART photonics社と提携して、InP系 光集積回路の実装サービスをサポート。 また、お客様の要望にあった...
メーカー・取り扱い企業: 合同会社LightBridge
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板の搬送...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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日新技研社〜単結晶育成装置〜総合カタログ 無料配布中!
品◆◆ ○トランジスタインバータ ○酸化物単結晶引上装置 ○自動直径制御装置 ○μ-PD装置 ○超小型単結晶引上装置 ○SiC-CVD装置 ○Gap.InP高圧合成装置 ○高温アニール装置 ○SiC単結晶成長装置 ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい◆...
メーカー・取り扱い企業: 日新技研株式会社
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
■基本仕様 ・材質:Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等 ・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可) ・洗浄チャンバー数:1 ・スクラブ処理:高圧ジェット/ 2 流体...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター
各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…
ER社(フランス)は、1964年に設立された分子線エピタキシャル成長装置(MBE装置)およびコンポーネント(MBEセル・蒸着源)を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
フォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 露光工程は、オートアライメント機能搭載可能 ポジ・ネガ反転工程にも最適です。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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MBEセル(蒸着源、分子線セル)はエピタキシャル膜の品質において重要で…
フランス)は、1964年に設立された分子線エピタキシャル成長装置(MBE装置)およびコンポーネント(MBEセル・蒸着源)を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。これまで主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…
ら製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板の搬送...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…
フランス)は、1964年に設立された分子線エピタキシャル成長装置(MBE装置)およびコンポーネント(MBEセル・蒸着源)を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。これまで主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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小ロットからの対応可能です。特殊なエピ、多層エピなどにも出来るだけ対応…
nic ○エピ抵抗率:0.1-800 ohm cm ○エピ厚さ:3-150μ 「多層EPIウェーハ加工」 *材料支給も対応可能です。 *数枚から加工可能です。 *基板Si/GaN/InPなど数層積むことも可能です。 *膜厚等の仕様によりバッファー層の有無なども違って参りますのでお問い合わせください。 「SiGe Epiウェーハ」 *濃度と膜厚によりますが様々に対応可能で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エナテック 東京本社
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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…
能! その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド(PI)、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます! シリコン(Si)、サファイア、セラミック、LT、GaAs、InP、GaN、SiC、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板もご安心ください! 【特...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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お客様のご要求される表面粗さを確保し常温接合を可能と致します
前CMP受託加工』を承っております。 接合前CMPの加工実績の一例として、半導体及び化合物半導体で使われる材料 Si、Cu、W、Ta、TaN、SiO2、TEOS、GaAs、SiC、GaN、InP 同種接合及びこれら相互の異種材料接合が可能です。 CMP受託加工でお客様のウェーハを処理する以前に、多数の自社実験から 裏付けされた確かな技術でお客様のニーズにお応え致します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社D-process
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広い範囲で優れた測定直線性!三次元グラフィックマップとしてPCモニター…
迅速に計測処理する事が可能。 四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を 解決します。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。 【特長】 ■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決 ■多数枚を迅速に計測処理する事が可能 ■0.035~320...
メーカー・取り扱い企業: 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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早くて正確な半導体製造プロセス
洗浄(SPM,SC1, SC2, DFH/O3等)、乾燥 ■ プロセスコントロール:薬液/オゾン濃度モニター、純粋比抵抗、薬液コントロール ■ 基板材質:シリコン、SiC, GaAs, GaN, InP, Glass, Sappire ■ 膜厚:500~2000 μm ■ 筐体:PP、FM4910相当、ステンレス枠 ■ 寸法:幅2200mm、高さ 3600mm (フローボックス含む) ■ モジュ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社インターテック販売 東京本社(拠点-関西営業所、熊本営業所)
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『7100シリーズ proVectus ダイシングシステム』
0°から15°までのどんな角度でも素早く変換!傾斜スピンドル機能を搭載…
【可能な傾斜ダイシング】 ■プレーナーウエーブガイド ・Si、Silica-on-Silicon ・Polymer on Si ・InP ・GaAs ■ファイバーウエーブガイド ・LiNbO3 ・Fused Silica ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 日本技術産業株式会社
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2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。
基板素材 シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。 特注製作について 標準装置をベースに、お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具へカスタマイズできます。また、陽極酸化・アルマイト用治具...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社山本鍍金試験器
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スクライブ装置 サファイア GaAs GaN Inp セラミック
ハイスピード・ハイクオリティ!4インチウェハ対応のセミオートスクライブ…
加工軸・送り軸・カメラ軸がそれぞれ独立した4インチウェハ対応 セミオートスクライブ装置です。バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共にエアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。また、駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、より精密なスクライブが可能になりました。 【特長】 ■高剛性設計・高スループット ■オートアライメ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部 大津第1工場
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
行っているので、低価格を実現しました! 【ASAPの特長・実績】 ●ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど多彩な薬液の使用実績あり ●Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績 ●GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板の搬送実績多数! ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!
ら製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板や角基...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
■基本仕様 ・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等 ・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可) ・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等 ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater
低~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの半自動機(セミオート)も作製…
のために半自動(セミオート機)の製作を低価格で実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 【特長】 ■半自動レジスト塗布機(セミオート)で低価格を実現 ■2~12インチまで対応可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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R&Dや少量生産に最適!手動レジスト塗布装置(スピンコーター)
研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置!卓上タイプとは違う自動機と同…
際もプロセスの条件出しが必要なく、同じレシピが使用できます! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります! 【特長】 ■手動レジスト塗布機(マニュアル)で低価格を実現 ■2~12インチまで対応可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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