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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
■基本仕様 ・材質:Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等 ・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可) ・洗浄チャンバー数:1 ・スクラブ処理:高圧ジェット/ 2 流体...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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早くて正確な半導体製造プロセス
洗浄(SPM,SC1, SC2, DFH/O3等)、乾燥 ■ プロセスコントロール:薬液/オゾン濃度モニター、純粋比抵抗、薬液コントロール ■ 基板材質:シリコン、SiC, GaAs, GaN, InP, Glass, Sappire ■ 膜厚:500~2000 μm ■ 筐体:PP、FM4910相当、ステンレス枠 ■ 寸法:幅2200mm、高さ 3600mm (フローボックス含む) ■ モジュ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社インターテック販売 東京本社(拠点-関西営業所、熊本営業所)
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2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。
基板素材 シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。 特注製作について 標準装置をベースに、お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具へカスタマイズできます。また、陽極酸化・アルマイト用治具...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社山本鍍金試験器
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
行っているので、低価格を実現しました! 【ASAPの特長・実績】 ●ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど多彩な薬液の使用実績あり ●Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績 ●GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板の搬送実績多数! ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
■基本仕様 ・材質:Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等 ・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可) ・スクラブ処理:高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等 ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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