MEMS | イプロスものづくり

PRロボットで、自動化！様々な業界で、導入が始まっています

『エプソンロボット』は、操作がわかりやすく、教育メニューも充実した産業用ロボットです。トータルコスト・工数削減やワンストップサービスによる長期安定稼働を提供。高い動作精度技術と頼れる手厚いサポートで、立ち上げの工数削減から自動化による人材不足を解決いたします。ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■オールインワンで簡単 ■省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：伸栄産業株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

MEMS全自動欠陥検査装置『IR-MEMS100』

コントラストの低い画像を見やすくする処理を使用して見つけにくい欠陥部を…

『IR-MEMS100』は、ロボットにより自動的に貼り合わせウエハーを搬送してウエハーの内部状態を特殊赤外線光学系で画像を撮影し、欠陥検出アルゴリズムを使用して各種欠陥を検出するMEMS全自動欠陥検査装置...

メーカー・取り扱い企業：ディスク・テック株式会社本社

【超高周波350kHz対応】MEMSセンサー開発向け加振システム

半導体部品をはじめデバイス製品の開発・出荷検査に最適な加振システム　サ…

イン波、スイープ、フィールドデータ再現加振・低周波数／磁場／温度／音響試験機など各種試験と組み合わせ可能 ※数値はそれぞれ最大値です。装置構成、試験内容に依存します。【用途例１　MEMSセンサー開発】 350kHzの超高周波数まで対応し、性能評価試験をはじめ固有振動数・共振周波数の探査などを行えます。環境付加として磁場・温度・音響など各種環境試験装置とも組み合わせられ、様々...

メーカー・取り扱い企業：エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

【PLAZMARK活用事例】MEMS部品メーカー工程管理課

簡単にしかも瞬時に装置の現状把握が可能！生産品質の顕著な向上が見られた…

MEMS部品メーカーの工程管理課が『PLAZMARK ウエハ型』を導入した事例をご紹介いたします。お客様のニーズに合わせて高付加価値なMEMS部品を製造していますが、多品種少量生産なのでなかなか歩留りが上がらず苦慮していました。生産工程に検査設備を導入しようとすると、導入費用が高過ぎるという課題もありました。当製品を試したところ、極端なバラつきは目視で簡単に把握。微妙...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部

シグナル、MEMS、MOSFET、リレーテスター

当社のリレーテスターのラインアップをご紹介！特長や適用などを掲載

当社の『シグナル、MEMS、MOSFET、リレーテスター』をご紹介いたします。最大1000ch分のデバイスのバーンイン処理が可能な「MEMSバーンインテスター」をはじめ、4aアレイ品に対応した「MOSFETリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社松浦電弘社

【製品不要の改善】MEMS顕微鏡（両面パターンズレ検査装置）

顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタしてパターンズレや通り違い検査ができます。新開発ソフトで2カメラの光軸をアライ...

メーカー・取り扱い企業：アローズエンジニアリング株式会社

MEMS圧力センサー高速温特検査装置

MEMS圧力センサーの温度特性計測時間の大幅な短縮を実現した検査装置 …

『MEMS圧力センサー高速温特検査装置』は、冷熱プレート内蔵加減圧方式(特許申請中)により、 MEMS圧力センサーを高速で温特計測が出来る装置です。冷熱プレートを加減圧容器内に設けた方式により、3...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラポールシステム

超ファインピッチに対応する検査用プローブ！『MEMSプローブ』

≪超ファインピッチに対応する検査用プローブ≫微細加工から検査までの自動…

『MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロセッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。また...

メーカー・取り扱い企業：ニデックアドバンステクノロジー株式会社

MEMSウエハチップ検査機

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイティ・テック

Mems プローバーシステムの世界市場シェア2024

Mems プローバーシステムの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリ…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界のMems プローバーシステムの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国におけるMems プローバーシステムの販売量と販売収益を調査しています。同時に、Mems プローバーシステムの世界主要メーカー（ブランド）、市場シェア、売上、価格、収入、および収入のグリースニップル状...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

MEMS素子検査装置（メムス　微細穴深さ計測、パターン検査）

MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途に使用...

メーカー・取り扱い企業：ディスク・テック株式会社本社

RF_MEMSプローブ『TPD26-Verticalシリーズ』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！プローブ構成はGSSG・GSGS…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD26-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～26.5GHz、挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）は-0.5dB。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD67-Verticalシリーズ』

耐電圧が100V、クロストーク（GSGSG-150um pitch t…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD67-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～67GHz、挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）が-1.2dB。また...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD67-Angleシリーズ』

コネクタは1.85mm/F（V/F）！低損失、低反射のエアコプレーナプ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD67-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。クロストーク（GSGSG-150um pitch typ.）は-35.0dBとなっており、特性インピーダンスは5...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD110-Angleシリーズ』

プローブ構成はGSGSG！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計で…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD110-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは1.0mm/Fとなっており、対応可能ピッチが50～150um。クロストーク（GSGSG-150um ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD50-Angleシリーズ』

対応可能ピッチは50～1000um！低損失、低反射のエアコプレーナプロ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD50-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、周波数帯域がDC～50GHzとなっており、クロストーク（GSGSG-150um ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD40-Angleシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！周波数帯域がDC～40G…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD40-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、接触抵抗（対金パッド）が0.05ohmとなっており、低損失、低反射のエアコプレー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP40-Verticalシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！挿入損失（GSG-150…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP40-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは2.92mm/F（K/F）、プローブ構成はGS・SG・GSGとなっており、コンタクト寿命（オートプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD40-Verticalシリーズ』

挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）は-0.8dB…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD40-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域がDC～40GHzとなっており、特性インピーダンスは50ohm。コネクタは2.92mm/F（K/...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP50-Verticalシリーズ』

周波数帯域はDC～50GHz！プローブピッチ50～1,000umで選択…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP50-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.6dB。また、コ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『WR8-Tallシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！プローブ痕サイズ（幅）3…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『WR8-Tallシリーズ』についてご紹介いたします。反射損失（GSG-150um pitch typ.）は-10.0dB、耐電力は5Wで、針圧（推奨オーバードライブ＝20...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP67-Verticalシリーズ』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！反射損失（GSG-150um p…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP67-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～67GHzとなっており、特性インピーダンスが50ohm。コネクタは1.85mm/F（V/F...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD50-Verticalシリーズ』

クロストーク（GSGSG-150um pitch typ.）は-35.…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD50-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは2.4mm/F、対応可能ピッチが50～1000umとなっており、低損失、低反射のエアコプレーナプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP50-Angleシリーズ』

コネクタは2.4mm/F！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計と…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP50-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～50GHz、挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.6dBで、特性インピーダ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP67-Angleシリーズ』

挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.8dB！プ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP67-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは1.85mm/F（V/F）、対応可能ピッチが50～1000umとなっており、針位置精度は10um以内です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD26-Angleシリーズ』

特性インピーダンスは50ohm、挿入損失（GSGSG-150um pi…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD26-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～26.5GHzとなっており、コネクタは3.5mm/F。また、プローブピッチは50～1,000u...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP26-Angleシリーズ』

コネクタは3.5mm/F！プローブピッチは50～1,000umで選択可…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP26-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、周波数帯域はDC～26.5GHzとなっており、挿入損失（GSG-150um pit...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP26-Verticalシリーズ』

針材質はニッケル合金！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計です！

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP26-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは3.5mm/F、対応可能ピッチは50～1000umとなっており、プローブ構成はGS・SG・GSGで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP40-Angleシリーズ』

耐電圧は100V、周波数帯域はDC～40GHz！プローブ修理及び先端チ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP40-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。針先平行度は5um以下、プローブ痕サイズ（幅）は30um以下となっており、特性インピーダンスは50ohm。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP110-Angleシリーズ』

コネクタは1.0mm/F、対応可能ピッチが50～250um！プローブ修…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP110-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、周波数帯域がDC～110GHzとなっており、挿入損失（GSG-150um pit...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『WR12-Tallシリーズ』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！耐電圧100V、耐電流は1Aです

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『WR12-Tallシリーズ』についてご紹介いたします。針材質はニッケル合金、筐体材質はアルミニウム合金となっており、プローブ痕サイズ（幅）は30um以下です。ご用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR15』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！接触抵抗（対金パッド）は0.05…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR15』についてご紹介いたします。反射損失（GSG-150um pitch typ.）は-5.0dB、耐電力は5Wで、プローブ痕サイズ（幅）は30um以下です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR6』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！プローブ痕サイズ（幅）3…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR6』についてご紹介いたします。針材質はニッケル合金、筐体材質はアルミニウム合金となっており、針圧（推奨オーバードライブ＝20～30um）は20gfです。ご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR8』

小さなプローブ傷跡！反射損失（GSG-150um pitch typ.…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR8』についてご紹介いたします。コンタクト寿命（オートプローバ使用時）は100万回となっており、針位置精度は10um以内、針先平行度は10um以下です。ご用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『WR6-Tallシリーズ』

小さなプローブ傷跡！反射損失（GSG-150um pitch typ.…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『WR6-Tallシリーズ』についてご紹介いたします。接触抵抗（対金パッド）は0.05ohm、針位置精度は10um以内で、針先平行度は10um以下です。ご用命の際は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR12』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！接触抵抗（対金パッド）は…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR12』についてご紹介いたします。耐電圧は100Vで、耐電流は1Aとなっており、コンタクト寿命（オートプローバ使用時）は100万回です。ご用命の際はお気軽に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

IoTセンス拡張キット

オーディオや機械学習のアプリケーション向け！I2Cを使用した124×6…

単にPSoC 6 MCUプラットフォームに接続できます。 ModusToolbox Machine Learningソフトウェアと共に使用することが可能。当社のデュアルバックプレートMEMS技術を採用し、105dBのダイナミックレンジと130dBSPLまでの高い直線性を実現した高性能XENSIV MEMSデジタルマイク2個を搭載しています。【特長】 ■高精度で優れた...

メーカー・取り扱い企業：インフィニオンテクノロジーズジャパン　株式会社

A2Bマイクロホンモジュールテストシステム

手軽に高速検査！自動車内音声認識向けA2Bマイクロホンモジュール

最新の自動車では、音声認識機能が一般的に採用され、そのためにA2BモジュールにMEMSマイクロホンアレイが内蔵される傾向が急速に広まっています。音声認識機能を適切に作動させるには、規格で規定された絶対値だけでなく、アレイ内のすべてのマイクロホン間の相対値を検査することが不可欠です。...

メーカー・取り扱い企業：エヌティーアイジャパン株式会社

音響分析装置『オーディオアナライザ FX100』

高速で高精度なアナログとデジタルの測定。最少のケーブル接続と自動計測で…

-スピーカーインピーダンス、TSパラメータ測定用パワーアンプ -Rub & Buzz解析 -マイクロホン・スピーカー指向性測定 -A2Bマイクロホン測定 -Bluetoothインターフェース -MEMSマイクロホンインターフェース -デジタルI/Oインターフェースとフットスイッチ、スタックライト ...

メーカー・取り扱い企業：エヌティーアイジャパン株式会社

RF_MEMSプローブ『WR15-Tallシリーズ』

低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計！針材質はニッケル合金です

当社で取り扱っている『WR15-Tallシリーズ』についてご紹介いたします。コンタクト寿命（オートプローバ使用時）は100万回で、耐電圧は100V、耐電流は1A、耐電力は5Wです。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計 ■小さなプローブ傷跡 ■プローブピッチ50～1,000umで選択可能 ■プローブ修...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

インテリジェント小型圧力スキャナ『MPS4264』

9-36V DCの幅広い電源に対応！極めて高いゼロ安定性を実現するダイ…

『MPS4264』は、専用のパッケージと極めて安定した極小圧力センサーを使用した、コアとなるMEMSセンサーパックを軸に設計されたインテリジェント小型圧力スキャナです。 64チャンネルのMEMS圧力センサーを搭載し、TCP/IPプロトコルによるイーサーネット(LAN)通信が可能な他...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大手技研

DC応答耐久性ケーブル加速度センサー　64C

DC応答加速度センサー耐久性のあるローノイズケーブル小型信頼性の…

Model 64C加速度センサ(加速度ピックアップ、加速度計)は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進のピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を基盤としています。このセンサーはフルブリッジ出力構造で、0～+50º Cの温度領域で補正する特長を持ち合わせています。微量のガスダンピングが突出し...

メーカー・取り扱い企業：エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

株式会社ラポールシステム　会社案内

計測・制御・通信・メカトロニクスを柱に先端技術分野に大きく貢献していき…

【取扱製品】 ■画像処理関連技術　・エッジ欠陥検査装置　・ガラス外観検査装置　・BGA/CSP外観検査装置 ■半導体（通信／MEMS）関連技術　・GEMドライバ　・EES(Equipment Engineering System) 　・半導体装置向けT-BOX(Translator Box) 　・膜厚測定装置　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラポールシステム

水素リークディテクタ『YHLD-100』

高分解能で低濃度（0.5ppm）～高濃度（13,000ppm）まで検知…

素早く移ることが可能です。また、水素濃度が13,000ppm(=1.3%)を超えた場合に「危険」メッセージを表示して、警報を出し測定を中断します。【特長】 ■当社独自開発MEMS水素センサーを搭載 ■低濃度～高濃度まで水素を検知 ■警報により危険をすばやく検知 ■高速応答で測定後の復帰も早い ■リアル測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：ヤマハファインテック株式会社

超音波映像装置

MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置。試作品の接合界面評価から量産品…

『超音波映像装置』は、MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置です。日立ハイテクは、開発・試作～少量生産向けの「FineSATシリーズ」からウェハ全自動検査向けの「Wafer LINE」まで対応が可能。豊富な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

CT検査システム『YXLON FF20 CT』

小型部品向けの工業用・高分解能X線CT検査システム！

【検査対象】 ■エレクトロニクス部品（SMDなど） ■IC部品 ■新素材のプローブ（金属、プラスチック、CFRPなど） ■マイクロシステム、MEMS、MOEMS ■医療用品（中空針など） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※日本語版リーフレットをダウン...

メーカー・取り扱い企業：コメットテクノロジーズ・ジャパン株式会社コメット・エクスロン事業部

産業用音響カメラ『FLIR Si124 2022』

エアリーク/部分放電の見える化！124個のマイクで少量の漏れも検出しま…

【仕様（抜粋）】 ■音響性能　・マイク数：124個低雑音MEMS 　・感度：0db 　・ダイナミックレンジ：＜-15dB(下限)　＞120dB(上限) 　・帯域：2～65kHz ■環境　・動作保証及び保管温度：-10～50℃ 　・動作保証及び保管...

メーカー・取り扱い企業：宮原酸素株式会社

超音波式リーク検知カメラ「サーチソニックイメージャー」※動画あり

小さなガス漏れ・空気漏れ・放電などの異常も視覚により識別、発見します。

■主な仕様・検知原理：ビームフォーミングテクノロジー・センサ原理：112chデジタルMEMS ・周波数範囲：2k～48kHz ・マイクロフォン感度：-41dB（A）・検知距離：0.3m～50m ・フレームデート：25FPS ・ディスプレイ：５インチ640×480タッチスクリー...

メーカー・取り扱い企業：日本ハネウェル株式会社本社

マイクロホンテストシステム

マイクロホンメーカーの方必見！簡単な操作とセットアップでコスト削減！ …

内容　Flexus FX100 オーディオアナライザ　RT-MicFX テストソフトウェア　測定用マイクロホンM2010 ■オプション　マイクロホン指向性測定オプション　MEMS Mic 測定用インターフェース　温湿度センサー　プレシジョンキャリブレータ 94/114 dB 　IO アダプタボックス　スタックライト (赤/オレンジ/緑) 　フットスイッチ ...

メーカー・取り扱い企業：エヌティーアイジャパン株式会社

炭化水素ガス検知警報器『GasSecure GS01』

防爆取得済！ケーブル工事が不要のワイヤレスの炭化水素ガス検知警報器

計で、お客様に費用対効果の高い付加価値をご提供します。赤外線、技術、定期的な校正が不要で、安定したガス検知を生涯実現します。【特長】 ■信頼性の高いシングルビーム、トリプル波長のMEMS ■SafeWireless 通信 ■SIL2 適合 ■ケーブル不要のワイヤレス通信 ■本質安全防爆認証 ■プロジェクト総費用の最大 60～80%の削減 ※詳しくはカタログをご覧頂...

メーカー・取り扱い企業：ドレーゲルジャパン株式会社　セイフティー事業部

SUSS MicroTec 両面位置精度測定器 DSM8Gen2

ウェハ表面/裏面のパターンの位置ズレを高精度で測定

DSM8/200 Gen2は2～8インチウェハに対応した両面位置測定装置です。 TIS（装置起因誤差）を除去する機能を備えており、MEMS、パワーデバイス、光デバイスといった分野の両面パターニング基盤において、高精度な測定を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービ…

分析アプリケーション例（蓄積法）破壊分析　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定非破壊分析　●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定 ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

【最大5個の試験品を同時に加振】デバイス開発・出荷検査向け加振機

加振周波数100kHzまで　半導体部品をはじめデバイス製品の開発・出荷…

術や経験を活かし、デバイス開発試験や高品質管理を目的とした最先端のソリューションやサービスを提供致します。新機種「SE-16」を加えさらに充実したデバイス試験向け加振システムです。次世代のMEMSセンサー開発や基盤部品、実装品、チップなどの開発試験、また出荷試験としても最適な加振システムです。...

メーカー・取り扱い企業：エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

TITAN T40 RFプローブ・ヘッド (DC~40GHz)

DC～40GHzまでの測定にお求めやすい価格にて！

MPI独自のMEMS技術によりプローブ・チップは視認性が非常に高く、誰でも簡単にプロービングが可能に他社に引けをとらない高精度で堅牢なチップは長寿命で安価な価格設定のため、高い費用対効果が得られます。日本...

メーカー・取り扱い企業： MPI Corporation

PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用

3種の感度から選択！実装工程などに最適なプラズマ処理硬化の評価ツール

O2クリーニング用のほうが適しています。【使用例】 ■めっき前の表面改質 ■ワイヤーボンディングなど接合面の表面改質 ■部品実装後のアンダーフィル前クリーニング ■LSI、メモリ、MEMS等電子デバイスの封止前のクリーニング ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部

TITAN RC(微小パッド用)RFプローブ・ヘッド

従来品に比べてチップを約33%小さくし、約20μmの非常に小さなチップ…

MPI独自のMEMS技術によりプローブ・チップは視認性が非常に高く、誰でも簡単にプロービングが可能に他社に引けをとらない高精度で堅牢なチップは長寿命で安価な価格設定のため、高い費用対効果が得られます。日本...

メーカー・取り扱い企業： MPI Corporation

光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム検出困難だったイオンミリングプロ…

エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムにモニタリングすることができます。 CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、 UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。さらに、真空フィードスルーオプションでイオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは真空中のサンプ...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能なレーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コアシステム

試料裏面マスクアライメント露光装置　BAシリーズ

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光。

ライメント露光装置　BAシリーズは、従来の露光装置では困難であった試料裏面からのアライメントを可能にするローコストなマスクアライメント装置です。通常の片面露光マスクアライナーとしても使用でき、各種MEMSや半導体素子の両面デバイス開発を支援します。本装置では試料の第1面に予め形成されたアライメントマークに対して、その対面（第2面）の指定された位置にマスクパターンをアライメントして露光できます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

FBGセンサモニタ『AR4041B』

外部通信ポートを装備！被検物の歪や温度の変化をFBGにより高感度に検出…

当製品は、MEMS光スキャナによる波長掃引光源方式のインテロゲータです。お客様にてWindows搭載PCおよびFBGセンサをご用意いただき、当製品と組み合わせることにより、FBGセンシングシステムを構築...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトクエスト本社工場

TS150-150mmマニュアル・プローバー

汎用性の高い150mm(6インチ)マニュアル・プローバー

デバイス評価、モデリング、WLR、故障解析、IC設計、MEMSなど幅広いアプリケーションに対応しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： MPI Corporation