★中心粒径250nm～★焼結体向け超微粒SiCパウダー

PR【低温焼結・高密度化】焼結用材料に好適！超微粒α-SiCパウダー

当社独自のSiC(炭化ケイ素)微細化技術を活かしたα-SiCパウダー『GC#40000』をご提供 『Dv50（中心粒径）：0.25μm』の超微粒SiCによる、優れた焼結性を示します （GC#40000を焼結体原料に使用により期待されるメリット） 　・低温焼成：CO2削減、ランニングコスト低減 　・緻密化　：成形体強度の向上、ポアの抑制 ※プレス成型や金型における流動性が必要な場合、球状SiC造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド

アルミ溶解炉『アルキープ・アルイッシュ・バーチカルアルキープ』

PR高機能・高品質のアルミ溶解炉。当社のベストセラーモデル"アル…

お客様の運用面・ニーズにお応えできる、多様性を備えたアルミ溶解炉の ベストセラーモデル"アルキープ3姉妹"のご紹介！ アルキープの最大の特長である独自設計の「溶湯プール部」を備え、 溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーンな状態を維持できます。 【アルキープ3姉妹】 ■アルキープ 　当社独自設計の「溶湯プール部」を備えた元祖モデル。 　溶解室の形状変更により、さらに耐久性・省...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＴＯＫＡＩ

ウェハチャック　SiC/Si複合材料による改善事例　

JFC独自の金属セラミックス複合材料MMCによる問題解決の事例を実績よ…

アルミの軽さと鉄の剛性を併せ持ち、高熱伝導、低熱膨張を特長とする複合材料MMC。SiCとSiの複合材料はポアレスでパーティクル防止効果があり、ウェハチャックに適した材料です。 【主な特長】 ■軽量　■高剛性　■高熱伝導　■低熱膨張　■耐摩耗 【採用効果】 軽量・高剛性による装置性能向上やエネルギー効率向上、高熱伝導・低熱膨張による熱問題解決、鋳造製法で部品一体化による組立工数削減な...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【用途例】スパッタリングターゲット　複合材料SiC/Si

SiC/Si複合材料をターゲット材としてご使用頂いております。

Si合金にSiCセラミックス粒子を含有させた複合材です。 結晶性Siよりも曲げ剛性が高く、使用途中の割れ、チッピング等の発生がなく最後まで安定した成膜が可能となります。 結晶性Siターゲットの1.3倍の成膜レート（成膜速度）により、効率的な成膜が可能です。...Si合金にSiCセラミックス粒子を含有させた複合材料です。 【特徴】 ○比重　2.7 ○曲げ強度　240MPa ○...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

太陽電池製造装置向け　複合材料MMC

セラミックスを超える高熱伝導！シリコン並みの低熱膨張を実現！

SiCセラミックスと金属シリコンを複合することにより、セラミックスを超える高熱伝導とシリコン並みの低熱膨張を実現しました。 SiCやAlNを超える熱伝導率！ 複合比率を変更することにより、さまざまな特性を実現できます。 表面処理（めっき）が可能で、静電チャックにも使用可能です。 セラミックスよりも大型化が可能です。 SiCとアルミの組み合わせもラインナップしてます。 ●●●詳し...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【新製品】アルミの軽さ剛性1.5倍　スーパーマテリアルSA151

アルミの軽さそのままに、剛性をアルミの1.5倍に高めた、普及版MMC【…

　軽量高剛性材料としてご好評をいただいておりますアルミ‐SiC複合材料「SAシリーズ」に新製品SA151が加わりました。 ●従来品よりもセラミックス強化剤の量を減らしアルミ合金にSiC粒子を15vol%含有。 ●アルミの軽さそのままに、ヤング率105GPa（アルミA5052の1.5倍）を実現。 　従来の複合材料よりも成形性（鋳造性）、加工性が良く、よりリーズナブルにご利用いただけ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

株式会社新興製作所　事業紹介

「磨く切る」精密加工の磨きのプロフェッショナル　株式会社新興製作所

○素材の切断加工 新興製作所は固定砥粒方式での量産加工を2009年より開始し、太陽電池用シリコンウェハーの切断加工用として、固定砥粒方式ワイヤーソーを保有。現在は加工歩留まり96％以上を可能とし、400万枚/月以上のシリコンウェハーを量産加工しています。 ○ポリッシング・ラップ加工 ラッピング加工で形成された梨子地面をさらに平坦でかつ鏡面に仕上げる研磨法であるポリシング加工では、工具に軟...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

金属セラミックス複合材料ＭＭＣ　採用事例／採用効果

壁を越える”何か”を求めている方必見！アルミの軽さ、鉄の剛性、高熱伝導…

問題解決の糸口が見つからない。壁を越える”何か”が欲しい。 弊社独自の新材料「金属セラミックス複合材料　ＭＭＣ」があなたの「？」を解決します。 【主な特長】 ■軽量　■高剛性　■高熱伝導　■低熱膨張　■振動減衰性　■耐摩耗性 【採用効果】 ■部品軽量化による装置高速化／省エネ化　■部品剛性向上による装置高精度化　■放熱性向上　■熱変形防止 装置性能向上、熱問題解決、エネルギ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【動画】複合材料『MMC』とは　～総合カタログ進呈中～

アルミのように軽く、鉄のように強い！複合材料「MMC」詳しくは動画やカ…

「アルミの軽さ」と「鉄の剛性」を両立した金属セラミックス複合材料『MMC』。 高熱伝導、低熱膨張で、振動を吸収する特性を持ち、複雑形状や大型品にも対応可能！ ただ今、アルミや鉄からの置き換えに適した複合材料『MMC』の総合カタログを進呈中です！ ＭＭＣの特長や用途事例は、アニメーション動画を参照ください。 【特長】 ■アルミと同等、鉄の約1/3の軽さ ■鉄・鋼と同等の剛性を...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【鉄の剛性で約1/3の軽さ！】金属セラミックス複合材料『MMC』

鉄と同等の剛性を約1/3の軽さで実現した金属セラミックス複合材料は、振…

ベース金属とセラミックス系強化材を組み合わせることで、より良い物性を実現した複合材料 『 MMC（Metal Matrix Composites）』 形状や重量を変えずに剛性をあげたい、剛性を維持したまま軽量化したい、放熱性の優れた材料がほしい等、お客様の様々なご要望にお答えできる材料です。 【特長】 ■アルミと同等、鉄の約1/3の軽さ ■鉄・鋼と同等の剛性を持ち、たわみにくい ■振...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【お役立ち情報】アルミナ代替　複合材料SA701

大型アルミナ部品でお困りのお客様へ － その問題、セラミックス複合材料…

半導体製造装置関連の市場拡大に伴い、セラミックスの調達問題が発生しております。特に大型アルミナ部品は供給元が限られ、長納期化により装置開発スケジュールに影響がでております。 セラミックス金属複合材料SA701は、アルミナに比べヤング率や曲げ強度は若干劣りますが、破壊靭性値が高く割れにくい材料であり、ハンドリングが容易です。密度はアルミナの約3/4と軽く、直ネジを加工できるため、金属ブッシュを必要...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

装置性能が変わる！　金属セラミックス複合材料 MMC

アルミの軽さで鉄の剛性。軽くてたわまないから素早く動いてピタッと止まる…

○弊社独自の複合化技術で作られるMetal Matrix Compositesは、金属とセラミックスの配合比率を、弊社にて好適に組み合わせた複合材料です。 ○アルミの軽さでありながら、鉄のようにたわまないMMCを、装置の可動部品として使えば、装置性能が劇的に変わります。 ○低熱膨張、高熱伝導の優れた熱特性が、装置の熱問題を解決します。 ○MMCの採用をご検討ください。...【SA...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

半導体材料『酸化ガリウム』

日本発の新しい半導体材料！世界中の研究・開発機関へ優れた材料を届けます

『酸化ガリウム』は、融液成長法でバルク結晶の製造を行うため、 高速な成長が可能な半導体材料です。 気相成長法でバルク結晶を製造するGaNやSiCと比べ、基板の低コスト化が 可能とされています。 また、絶縁破壊電界強度がGaNやSiCより大きいことが予測されており、 スイッチング損失を小さく保ったまま、6000V以上の大きな耐圧を持つ パワーデバイスを作製できることが期待されてい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノベルクリスタルテクノロジー 本社

【カタログ進呈】ヘガネスジャパン「ファインセラミック粉末」

90種類以上のファインセラミック粉末を掲載！優れたセラミック製品は優れ…

ヘガネスジャパンはドイツ・H.C.スタルク（シュタルク）社のSTC事業を継承し、各種高品質ファインセラミック粉末を取り扱っております。 ホウ素（結晶性／非晶性）、ホウ化物（LaB6、TiB2等）、炭化物（SiC、B4C等）、窒化物（AlN、Si3N4等）など、豊富なラインナップで先進のセラミックスパウダーソリューションをご提供。お客様独自の仕様に適合するようにカスタマイズも可能です。 タイ...

メーカー・取り扱い企業： ヘガネスジャパン株式会社

金属基複合材料（MMC）『AC-Alcon』

比剛性はAlsicより高く鋳鉄と比べて3倍！真空環境下でのガス放出があ…

金属基複合材料（MMC）『AC-Alcon』は、Si（シリコン）とAl（アルミニウム）の複合材です。 アルミニウムより軽く、超硬工具で加工可能。 比剛性がAlsic（Sic30%、Al70%）より高く、鋳鉄と比べて3倍もあります。 また、振動減衰性に優れ、SUSガイドの熱膨張率より近いです。 【特長】 ■比重：アルミニウムより軽い（2.45Gcm2) ■ヤング率：鋼鉄並（117GPa） ■比...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

株式会社理想精密　製品サンプルのご紹介

あらゆる微細加工に対応！様々な材質を加工いたします！

株式会社理想精密の高精度・高精細加工では、単に精度を追求するだけの高精度では無く、あらゆる微細加工に対応いたします。大物・長尺加工は、航空機部品、塗布装置、樹脂形成ノズル、液晶関連装置等業界を問わず加工致しております。また、難削材・難形状加工では、マシニング、旋盤、研削にてできる材質はなんでも加工致します。ハステロイ、インコネル、インバー、モリブデン、MMC、CFRP、純カーボン、SiC、チタンな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社理想精密

ブロック型断熱材　『プロマライト』

優れた断熱性能と機械的強度！きわめて低い低熱伝導度のマイクロポーラス断…

『プロマライト ブロック型』は、ボード状のマイクロポーラス断熱材で、 非常に優れた断熱性能と機械的強度を有しています。 ボード形状はもちろんのこと、機械加工を施しシリンダー形状などご要望に 合わせた形状での製品提供も可能です。 【特長】 ■きわめて低い低熱伝導度 ■高温での安定的な使用が可能 ■温度に応じた製品仕様 ■不燃性 ■クリーンで容易な取り扱い ■最高使用温度：...

メーカー・取り扱い企業： プロマット・ジャパン株式会社

セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

プッシャー炉／PF

各種雰囲気に対応できるタクト搬送機構付連続炉

●広築の新素材開発装置は要求仕様に応じ他社に無い、世界に類を見ない製品を提供します。新素材の研究から量産製造までを丁寧にサポートします。 ●低温から高温（100℃～1500℃）まで対応し真空/アルゴン/水素等の不活性/還元性雰囲気などのご希望雰囲気に対応します。 ●製造現場にフィットした設計をいたします。 ●産業用ロボットを使用した処理物の装入や取出しのハンドリングも一貫して対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広築 営業部

ウォーキングビーム炉／WBF

クレマー社(ドイツ)より技術導入の電気加熱式ウォーキングビーム炉

●広築の新素材開発装置は要求仕様に応じ他社に無い、世界に類を見ない製品を提供します。新素材の研究から量産製造までを丁寧にサポートします。 ●低温から高温（100℃～1800℃）まで対応し高真空から加圧、アルゴン/水素等の不活性/還元性雰囲気などのご希望雰囲気も対応します。 ●製造現場にフィットしたバッチ炉や連続炉の対応もします。産業用ロボットを使用した処理物の装入や取出しのハンドリングも一貫し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広築 営業部

セラミックスから複合材料MMCまで、セラミックス総合メーカJFC

日本ファインセラミックスは、各種セラミックスから複合材料まで、豊富なラ…

当社では、炭化ケイ素（SiC)や窒化ケイ素（Si3N4)をはじめとする各種セラミックスや金属セラミックス複合材料MMCを、原料調合から仕上加工まで一貫生産しております。 ●耐熱性、耐摩耗性、耐食性に優れ、当社が得意とする 　＜炭化ケイ素＞　＜窒化ケイ素＞ ●アルミの軽さで鉄の剛性を持つスーパーマテリアル 　＜金属セラミックス複合材料ＭＭＣ＞ 装置設計・部品設計・熱設計などお困...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

磁石に吸い寄せられる機能性素材『磁性流体』

磁気をかけると粘度が変化。ダンパー、シートなど自動車関連の衝撃・振動に…

当社では、磁性体の微粒子を分散させることで、液体でありながら 磁石に吸い寄せられる性質をもつ『磁性流体』を取り扱っています。 磁気をかけることで粘度が変化するため、自動車ダンパーの衝撃吸収、 車載シート、エンジンなどの振動低減などにも応用が可能です。 当社では現在、この磁性流体を採用した真空シールなどの 製品ラインアップを掲載した資料を進呈中。 【特長】 ■すでに車載用ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

強化アルミニウム基合金の精密鋳造技術の開発

リサイクル技術により大幅なコスト低減を実現！高品質でニアネットシェイプ…

東京ロストワックス工業では、SiC粒子Vf40％分散強化アルミニウム基合金の 精密鋳造技術の開発を行っております。 鋳鉄と同等の強度と熱膨張係数でアルミと同等の軽さと熱伝導度を合わせ 持つ高性能鋳物。 鋳肌が綺麗で寸法精度が高く、薄肉化が可能で、機械加工不要または加工代が 非常に少ないので大幅な加工費低減を実現します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハヤカワロストワックス

金属基複合材料『MMC材』

軽量・高剛性・さまざまな用途で使用可能！装置の高機能化を実現

『MMC材』は、アルミニウム合金にセラミックス(SiC)を複合させた素材です。 従来のアルミニウム合金が持つ特性である軽量・高熱伝導性にくわえ、高剛性・ 低熱膨張性・高減衰性をあわせもち、液晶・半導体製造装置部品から自動車部品、 工作機械部品までさまざまな用途で使用され高い評価を得ています。 【特長】 ■軽量 ■高熱伝導性 ■高剛性 ■低熱膨張性 ■高減衰性 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 東金属産業株式会社 本社・沼津工場

金属基セラミクス複合材料『AC-Alsic』

アルミニウムと比べてヤング率 1.8 倍の高剛性、熱膨張を 2/3 に…

『AC-Alsic(アルシック)』は、高強度・高熱伝導が求められる、 ハイパワー半導体用のヒートスプレッダ、基板などに適した 金属基セラミクス複合材料です。 また、SiC プリフォームにシースヒーター埋設パターンを掘り シースヒータを埋設し溶湯アルミで一体化した、均熱性が良く 低熱膨張率かつ高温変形の少ないヒーター部材としても適しております。 【特長】 ■アルミニウムと比べて...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

桑名商事株式会社　めっき入門

防錆皮膜『無電解ニッケル-リンめっき』など多数ラインナップ！

『無電解ニッケル-リンめっき』とは、液中の化学反応により、めっき皮膜を析出させる方法です。 皮膜の付き回り性が良く、耐腐食性・膜厚均一性に優れています。 様々な材質（Fe,SUS,Cu,Al）に処理が可能。 無電解ニッケル-リンめっきをはじめ、シンコートシリーズ、 シンフロンシリーズ、シンジットシリーズ、精密箔膜形成技術 を掲載しております。 【主な特長】 ■無電解ニッケ...

メーカー・取り扱い企業： 桑名商事株式会社

【技術資料進呈中！】ウェーハ研磨加工プロセスと加工素材&技術紹介

数百種類以上の半導体素材の研磨を扱っている技術を紹介！各種ウェーハの研…

当資料では、日本エクシードの各種ウェーハの研磨プロセス・洗浄・加工技術を写真や分析事例などで紹介しています。 長年にわたる研磨加工の経験の上に独自の研究開発を幾度も繰り返し、単結晶と名の付く様々な素材を手掛ける技術力を 高次元で実現し、今では数百種類以上の半導体素材の研磨を扱う存在となりました。 研磨加工プロセスの研磨工程をはじめ、薄化加工技術を用いたSi特殊加工や加工素材などを掲載...

メーカー・取り扱い企業： 日本エクシード株式会社

日本機能材料株式会社　会社案内

日本機能材料株式会社は、SiGeのエピタキシャル成長膜を提供します。

日本機能材料株式会社は、米国のローレンス半導体研究所(Lawrence Semiconductor Research Laboratory, inc.　略称LSRL) にエピタキシャル成長を依頼します。 日本機能材料株式会社はお客様とLSRLとの間の適切な橋渡しをします。 LSRLとの密接なやりとりにより仕様を纏めます。 IV族に関するどのようなエピでもまずご相談ください。 ご質問も遠慮な...

メーカー・取り扱い企業： 日本機能材料株式会社

単結晶(CZ-FZ)Si Wafer 販売

徹底した品質管理のもと、高品質ウエーハを提供いたします！

当社では、ダミー用、モニター用、ソーラー用のシリコン（Si）ウエーハを 徹底した品質管理のもと、高品質でご提供します。 2インチから12インチφに対応し、特殊サイズも可能です。素材及び加工を 安価・短納期にて販売します。 また、熱酸化膜加工も承ります。 各種（PVD、CVD装置による）膜付ウエーハもお問合せください。 【特長】 ■2インチ～12インチφ対応 ■少量でも対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アシストナビ

有機金属化合物製品『オルガチックス』

幅広い業界で、高付加価値を生み出す先進的な素材として活用されています。

チックス　ZAシリーズ →ジルコニウムキレート　オルガチックス　ZCシリーズ ○特殊シリコン化合物 →シリルイソシアネート　オルガチックス　SIシリーズ →コーティング剤　オルガチックス　SICシリーズ ○その他機能性材料 →アンカーコーティング剤　オルガチックス　AC剤シリーズ →チタンオリゴマー系コーティング剤　オルガチックス　PCシリーズ ●詳しくはお問い合わせ、または...

メーカー・取り扱い企業： マツモトファインケミカル株式会社 本社営業部

金属セラミックス複合材料『MMC』総合カタログ

アルミのように軽く、鉄のように強い！複合材料「MMC」の総合カタログ進…

「アルミの軽さ」と「鉄の剛性」を両立した金属セラミックス複合材料『MMC』。 熱伝導率が高く、振動を吸収する特性を持ち、複雑形状や大型品にも対応可能！ ただ今、アルミや鉄との置き換えに好適な複合材料『MMC』の総合カタログを進呈中です！ 【特長】 ■アルミと同等、鉄の約1/3の軽さ ■鉄・鋼と同等の剛性を持ち、たわみにくい ■熱伝導率、放熱性が高い ■熱収縮が少ない ※...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

ファインセラミック粉末

優れたセラミック製品は優れた原料から。ヘガネスの高品質ファインセラミッ…

ヘガネスジャパンが取り扱う、ドイツ・H.C.スタルク社の高品質ファインセラミック粉末のご案内です。 ヘガネスはファインセラミック粉末の総合メーカー、H.C.スタルク社の事業を継承しております。多岐にわたる製品群の中から最適なソリューションをお客様に提供いたします。 ■ホウ素 　結晶性／非晶性 ■ホウ化物 　LaB6、TiB2等 ■炭化物 　SiC、B4C等 ■窒...

メーカー・取り扱い企業： ヘガネスジャパン株式会社

ロータリーハース炉／RF

一定速度で回転している炉床とドーナツ状の炉体から構成され、挿入口と取り…

●広築の新素材開発装置は要求仕様に応じ他社に無い、世界に類を見ない製品を提供します。新素材の研究から量産製造までを丁寧にサポートします。 ●低温から高温（100℃～1250℃）まで対応し高真空から加圧、アルゴン/水素等の不活性/還元性雰囲気などのご希望雰囲気も対応します。 ●製造現場にフィットした設計をいたします。 ●産業用ロボットを使用した処理物の装入や取出しのハンドリングも一貫して対応し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広築 営業部

【めっき皮膜の種類と特長】無限の可能性を秘めた複合めっき

合めっきのメカニズムと特長や、具体的にどんな複合めっきがあるのかをご紹…

複合めっきとは、めっき皮膜中に別の材料の粒子が入った めっき皮膜を指します。 めっき皮膜と粒子の材料との組み合わせによって、新たな特性を 持つ皮膜ができます。 近年、特に盛んに研究がなされているめっき分野の一つです。 当社ホームページでは、“複合めっきのメカニズムと特長”や “複合めっきの事例”についてご紹介しています。 詳しくは下記関連リンクよりご覧ください。 【掲載...

メーカー・取り扱い企業： 清川メッキ工業株式会社