★中心粒径250nm～★焼結体向け超微粒SiCパウダー

PR【低温焼結・高密度化】焼結用材料に好適！超微粒α-SiCパウダー

当社独自のSiC(炭化ケイ素)微細化技術を活かしたα-SiCパウダー『GC#40000』をご提供 『Dv50（中心粒径）：0.25μm』の超微粒SiCによる、優れた焼結性を示します （GC#40000を焼結体原料に使用により期待されるメリット） 　・低温焼成：CO2削減、ランニングコスト低減 　・緻密化　：成形体強度の向上、ポアの抑制 ※プレス成型や金型における流動性が必要な場合、球状SiC造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド

【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

高温用グラファイト保護コーティング

高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…

グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 ２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 ３）高温のMOCVD用部品を保...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

タンタルカーバイドコーティング

SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを…

『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素（PBN）コーティングや熱分解黒鉛（PG）コーティング等も行っています。 【特長】 ■均一な被膜による高い寸法精度 ■複雑な形状にも対応できる優れた被...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社