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14件 - メーカー・取り扱い企業
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旋削加工に代わる「拡管加工」真円の精度を極限まで高めることに成功
PR加工後に発生する、内径の歪みを抑えて真円の精度にこだわった拡管加工とは…
CNC旋盤を使用して旋削加工していると様々な問題が発生します。 長いフレームの旋削は、フレームの共振と不安定な固定により、内径、垂直度や平行度に影響を及ぼします。 イングスの拡管加工では、アルミ押し出し材の表面を保持しますので、表面粗さも満足いただけます。また、拡管加工で内径を加工する場合、製造コストを抑えることもできます。 【拡管加工使用例】 ■ACモーターフレーム ■DCモー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イングス
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PR充電バッテリー/コンパクトな電動ムーバー「パワーアタック」 重量装置…
「パワーアタック」はテコの原理を利用したウォーキータイプの電動ムーバーです。 ◆ご用途/実績例はこちら ・大型・重量印刷機の工場内搬入・設置(機械器具設置・とび土木業) ・牧場内サイロ建設現場で資材搬送(機械器具設置・建設業) ・製造現場でレール上の車両移動(鉄道車両メーカー) ・製造現場で重量製品の工場内移動・出荷(機器製造メーカー) ・分取カラム装置の工場内移動(化学薬品メーカ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイナテック 本社
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ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。
3ポジション デッドマンスイッチを搭載 ティーチング操作しやすい、片手持ちデザイン。軽量500g(ケーブル除く) 内部ソフトによる、押しボタンの自己診断機能搭載...入力電圧 DC5V(±5%) 通信 RS232C 環境 0~40℃ (ただし結露しないこと) 付属ケーブル 5mまで 非常停止接点 A接点 外形寸法 W118×H225×D33(非常停止ボタン含まず)コントラスト調整用穴...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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両面処理等が必要な装置に適しています。
小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...適応ウェーハ 2, 3インチ, 100~300mmウェーハ (※450mm用も別途提案可...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです(300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付)。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ
各種ウェーハに対応した100~200mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ(乳白色)付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット:フットプリント65%(φ95mm), 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様 ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシ…
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物 ~1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ
450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと300mmの兼用タイプも製作可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能 ...○被搬送物 SEMI規格 450...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ用アライナ
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...被搬送物 100.4mmサファイヤウェーハ(第1オリフラのみ仕様)/厚み 1mm以下(反り無し) 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内(持ち直し無の場合) 位置決め精度 センタリング:±0.2m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット:フットプリント75%(□115x130mm), 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様 ロボット型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気アライナ:フットプリント80%(□85x100mm), 容積比80%ダウン 組み合わせにより、多彩な搬送シーンに貢献 透明体、半透明体にもそれぞれ対応...被搬送物 2インチシリコンウェーハ 位置決め精度 センタリング:±0.3mm以内 オリフラロケート:±0.3度以内 位置決め時間 センタリング~オリフラ 約10秒 センサ オリフラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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