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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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東栄機工株式会社は、機械・資材・工具・修理の総合商社です。 主に、測定計測器具や工作機械、工具、建設荷役などを取り扱っており、 ウエス機械製作や産業機械修理などの製作・加工・修理も承ります。 ご要望の際はお気軽にお問合せください。 【事業内容】 ■機械/資材/工具等の販売 ■製作/加工/修理 ■リース/レンタル...
メーカー・取り扱い企業: 東栄機工株式会社
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