エッチング | イプロスものづくり

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

エッチングマシン

塩化第２鉄溶液などを用いたウエットエッチングマシンです。汎用コンベ…

ローラコンベア型の汎用エッチングマシンからシールラベル用抜刃を製作する特殊エッチングマシン、グラビア印刷用シリンダロールのエッチング製版装置、透明導電体のエッチングなど様々な処理方式・基材に対応したエッチングマ...

メーカー・取り扱い企業：進和工業株式会社本社工場

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワーク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。ウエハ、基板洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、低価格、洗浄装置、自動洗浄機、レジスト、バッチ式洗浄装置、シリコン、エッチング装置、RCA洗浄、絶縁膜、成膜、セラミック、ローダーアンローダー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

タッチパネル基板　製造設備

タッチパネル基板用ウエット製造設備をご紹介します。製作実績に基づき…

【抵抗膜式タッチパネル用途】 A：可動電極基板用（ITOフィルム基板用）・ITOフィルム　エッチング剥離装置 B：固定電極基板用（ITOガラス基板用）・ガラス基板洗浄装置（ブラシ洗浄装置）・ドットスペーサ現像装置【静電容量式タッチパネル基板】・電極パターニング...

メーカー・取り扱い企業：進和工業株式会社本社工場

枚葉式　帯電防止洗浄装置

枚葉式　帯電防止洗浄装置フィルム洗浄装置

れたコンパクト且つ安価な洗浄機です。 ☆　標準タイプ（ＳＳＷ−６００B）の他、ブラシ洗浄機能や処理能力向上タイプなど顧客要望に応えるオーダーメイド仕様も製作可能です。 ☆　PASTER（R）エッチング兼用装置も製作可能です。...

メーカー・取り扱い企業：進和工業株式会社本社工場

《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置

RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセ…

能なマニュアルSpin枚葉処理装置です。フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。【特長】 ■洗浄やエッチング等多種の薬液処理プロセスを一つの　トータルシステムに纏める事が可能 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

ンプロセッサーは、基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行ないます。装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥）株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置「MDC8540L」

【無料デモ実施中！】新開発・高性能設計で大幅なコストダウンを実現！作業…

「MDC8540L」は、パワーデバイスや青色レーザーダイオード、青色LED等の化合物半導体製造用MOCVD装置の治具に、成膜時に堆積するGaN、AlN等のドライエッチング方式で洗浄するMDCシリーズのフラッグシップモデルです。量産時の製品歩留まりの向上、ランニングコスト削減に最適です。【特徴】 ■GaN、AlN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

フラットパネルディスプレイの洗浄サービス

ピードファムクリーンシステム社の『フラットパネルディスプレイの洗浄』 ■□■洗浄工程■□■ 【1】切断、面取り後の洗浄【2】スパッタ前の洗浄【3】工程前の洗浄【4】現像、エッチング、はく離処理【5】液晶注入、封止後の洗浄 ■□■洗浄方法■□■ ■超音波併用　両面同時スクラブ洗浄 ■カップ型ディスクブラシ洗浄 ■ロールブラシ洗浄 ■超音波洗浄 ■二流...

メーカー・取り扱い企業：スピードファムクリーンシステム株式会社

ME-5000　枚葉式スピンエッチャー　

ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーで…

『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。 エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下運動が可能です。洗浄部カバー内に気流を作り、薬液は酸系４種類及び純水の５種類で分離回収します。 ●詳しくはお問い合わせ、また...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

洗浄装置　設計サービス

製造を熟知した営業による技術提案が、納品までのスピード化を実現！

てがけています。それらのノウハウを大いに生かし、送液制御装置や部品洗浄装置など、お客さまにとって好適な流体装置を設計・製造致します。【製品例】 ■洗浄装置ドラフト ■水晶エッチング装置 ■水晶エッチング装置配管 ■枚葉洗浄装置 ■枚葉洗浄装置カップ　など ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ティー・エム製作所

OLED用処理装置

処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装…

処理装置』のご紹介です。有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。基板サイズは370×470×1.1を処理致します。装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成しています。【主な仕様】 ■被洗浄物：ガラス基板 370×470 厚み 0.6～1.1t ■処理方法：枚用処理 ■処理速度：0.6～5.0m/min...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

株式会社エイブルジャパン　取扱製品総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

実験用） →簡易タイプのスピンナー。100V電源で使用可能 ○マニュアルスピンコーター →基板の受渡しを人手又はMGVで行う装置 ○スピンクリーナー ○スピンエッチャー →ウェハーのエッチングを行う装置 ○MGV →半自動装置に付いている投入装置を走行式にした物 ○LD／ULD ○UV照射装置 →塗布後の基板を乾燥する装置 ○スリットコーター →薬液の使用量を大幅に削減...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブルジャパン

セラミック基板用　ウエット装置

セラミック基板用のウエット処理装置です。サーマルプリンタヘッドのフ…

小さな基板に対応したコンパクトな製造装置です。サーマルプリンタヘッド（TPH）基板の電極パターンを形成するフォトエッチングライン、あるいはチップ抵抗基板用のめっき装置をご紹介します。製造実績に基づき標準的な設備仕様もカタログで紹介しています。基本的には顧客要望に基づくオーダーメイドの設備です...

メーカー・取り扱い企業：進和工業株式会社本社工場

弱アルカリ性銅除去『クリピカエースリムーバー』

金型に付着した銅・亜鉛・真鍮をノーダメージで除去！

」ユーザー様へ）〇専用洗浄液の交換時、洗浄槽や洗浄カゴのメンテナンスに（銅除去剤をお探しの企業様へ）〇銅が原因で変色した時の除去〇プレス金型に付着した銅の除去〇銅・真鍮のエッチング剤〇ワイヤーカット後の変色除去製品の詳細やオプションについては、カタログをダウンロードまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ソマックス株式会社

FPC ＆ TAB・COF 製造装置

FPC（フレキシブルプリント配線板）・TAB/COFを製造するウエット…

理加工装置に対応可能です。透明導電体膜と金属薄膜を積層した2層基材の処理装置、各種クラッド基材のメタライジング装置なども製作致します。ロール to ロール装置に関してはフォトエッチング工程を弊社関連会社であるウインドゥ・タッチ株式会社にて見学可能です。設備導入前の評価試験も対応可能です。お気軽にお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：進和工業株式会社本社工場

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

『ASTE（アステ）』は、エッチング後のポリマ除去や、ウエハ上の異物除去（ブラシスクラバの置換え）が出来る、金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマとレジストを同時に...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

シリコンウェーハバッチ式自動洗浄装置

ニーズに合わせた好適なカスタム装置を提供！プロセス最適化に向けた設計が…

シリコンウェーハバッチ式自動洗浄装置です。メンテナンス性を考慮した部品配置。洗浄装置は各ユニットがモジュール化されています。「ワイヤーソー後洗浄」「ラップ後洗浄」「アルカリエッチング洗浄」など様々なプロセスに対応しています。【特長】 ■高いプロセス性能 ■ハイスループット ■メンテナンス性の向上 ■装置設計 ■豊富な実績 ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

洗浄装置「IPA-VAPOR-DRYER」

最終洗浄・乾燥に最適！硝子から半導体まで多種グレードに対応した洗浄機

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社

洗浄装置「スピンドライヤースピン洗浄機」

洗浄から乾燥まで対応！レシピ選択が可能な洗浄機

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○フープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社

洗浄機『炭酸ガス　ドライステーション』

スラリー同時噴射で加工パワーの大幅アップを実現する洗浄機！

【洗浄アプリケーション】 ■GaAs,Fe-RAM,GMR-Head等リフトオフ、エッチング後のバリ取り ■メタル種類：Pt,Ir等高高度貴金属系及びNiFe、Crなどの多層膜 ■有機,無機ELのITO上(EL素子成膜前)の有機、メタルパーティクルの除去 ■ダークスポットの除去　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フェムテック

洗浄装置「ブラシ洗浄機」

コンベア方式多種対応！インバーター速度可変の洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○フープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社

各種製造装置

半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラ…

【半導体装置】 ■Ф300mmカセットレス（50枚搬送） ■5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置 ■有機洗浄装置 ■Siナゲット洗浄装置 ■GaAsエッチング装置 ■マランゴニドライ洗浄装置 ■自動カセットオーブン ■ウェハ移載装置 ■石英管洗浄装置 ■石英管保管庫 ■スピンドライヤ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置　【無料デモ実施中！】

ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減！ウェット洗浄に比べて大幅な時…

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置はMO-CVD装置の冶具などの成膜時に堆積するGaNやAlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。パワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物・半導体や青色LEDの製造に最適。製造時の製品歩留まりの向上、ランニングコストの削減に効果を発揮します。　　　★☆...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

非接触搬送洗浄装置『DNCC-320』

0.5t以下の薄板軽量基板の搬送も可能！皮脂の指紋やガラスカレット、油…

【機能】 ■抜群の洗浄能力 ■ブラシ機能（オプション） ■乾燥機能 ■川幅サイズの変更が可能 ■現象装置、エッチング装置にも応用可能 ■2流体洗浄 ■搬送速度可変 ■G5（1100mm×1200mm）までの　対応装置製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

有機溶剤洗浄装置

装置本体とポンプユニットと制御盤で構成！薬液供給方法はCCSS方式の有…

当社が取り扱う、『有機溶剤洗浄装置』をご紹介します。 6″ウェハカセット用の自動エッチング洗浄装置で、制御方式はPLC。装置本体とポンプユニットと制御盤からなっています。洗浄プロセスはバッチ洗浄、流れ方向は左→右の3機ロボット搬送です。ご用命の際はお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

株式会社エム・エー・シーテクノロジー　洗浄再生事業部

よりきれいに、より新しく、どんな部品も洗浄・再生します！

■半導体、FPD製造装置の部品を中心に母材、生成物の状況に応じて適切な薬剤を選定 ■アセンブリ化した部品も対応可能 ■イオン注入、スパッタ、CVD装置の構成部品を中心に精密洗浄 ■拡散炉、エッチング、リソグラフィ工程の精密洗浄も対応可能＜Q・C・Dサービス＞ ■品質（Quality）、価格（Cost）、納期（Delivery）の全てを優先したサービス ■安定した品質の製品を提供する...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エー・シーテクノロジー東京営業所

精密洗浄サービスの4つの柱『表面改質技術』のご紹介

当社の表面改質技術で、設備や装置部品の耐久性・信頼性・品質向上！

久性強化皮膜生成　精密洗浄プラスαの技術としてステンレス部材の不動態皮膜処理などを行い、　腐食防止や耐摩耗性強化を行います。 ■再生　パーツの劣化した表面を、精密洗浄技術を応用したエッチング処理技術で　取り除き清浄な表面状態や再コーティングなどを行います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：クリテックサービス株式会社本社

株式会社USメック　事業紹介

先進の洗浄装置を製造する専門メーカー。

【製品案内】 [LCD] ○素硝子洗浄装置 ○現像装置 ○エッチング装置 ○剥離装置 ○ガラス基板受け入れ装置 ○マスク洗浄装置 ○APR版洗浄装置 ○PI前洗浄装置 ○ラビング後洗浄装置 ○成膜後洗浄装置 ○LCトレイ洗浄装置 ○液晶封止後洗...

メーカー・取り扱い企業：株式会社USメック

半導体向け装置「CMP処理後スクラブ洗浄装置」

ご要望に対応した装置を設計製作！CMP処理後のスクラブ洗浄装置

後スクラブ洗浄装置 ○手動洗浄装置 ○JET-RINCER-DRYER ○IPA-VAPOR-DRYER ○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機 ○ワープ洗浄装置 ○ブラシ洗浄機 ○エッチングドラフト ○メッキ装置 ○スピンドライヤー、スピン洗浄機 ○卓上型エアーブロー ○薬液供給装置 ○純水装置（ろ過装置） ○高速プレス下死点制御コントローラー ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社