産業廃棄物焼却プラント『ヤスジマ製 バイオマスボイラシステム』

PRボイラ排熱を利用し、エネルギーコストを削減。汚泥等にも対応。テスト機で…

『ヤスジマ製 バイオマスボイラシステム』は、 「バイオマスボイラ」と「撹拌乾燥機」を組み合わせた 産業廃棄物を焼却するためのプラントシステムです。 「バイオマスボイラ」では木屑やバークなどを燃焼させ、 「撹拌乾燥機」は食品残渣や汚泥などの乾燥に使用。 撹拌乾燥機はボイラ排熱を利用することで エネルギーコストやCO2の削減にも貢献します。 【特長】 ■装置の設計から製造、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤスジマ

キャンドポンプ【液漏れしない構造、アンモニア(NH3)等に好適】

PRアンモニア混焼発電、タービン&エンジンの燃料移送用途、アンモニ…

外部漏れの無いキャンドモータポンプが、脱炭素関連の設備で活躍します。 【主な特長】 ◆既存発電所へのアンモニア混焼 ◆アンモニアを燃料とするタービン発電や船舶用エンジンの燃料用ポンプ ◆アンモニアサプライチェーン（貯槽、輸送関連） ◆CCS、CCUS(二酸化炭素回収・貯留技術）に関係する、多種・多様なニーズに対応 幅広い、流量や全揚程をカバーし、各種法規対応も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社帝国電機製作所

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』

半導体製造プロセス用高純度ガスに対応！高いシール性能と高耐久化、脱ガス…

『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　2連3方バルブ（ブロックタイプ）

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性！特殊仕様として更に…

『2連3方バルブ（ブロックタイプ）』は、KD・KCD・RD シリーズ、 各シリーズダイヤフラムバルブの2台（2連）を一つにまとめ、配管流路を 共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバルブです。 基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぎ、同種及び異種の 組み合わせにより、配管システムを極小にコンパクト設計することが可能。 また、配管レイアウトに合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止！　OPEN状態 或いは OPEN-C…

当社が取り扱う、高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』をご紹介します。 バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える 状態になり、バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて回します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従…

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性の…

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積（デッドボリューム）を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト（A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『VLDシリーズ』

駆動部品数の最小化、単純化を実現！半導体用高純度ガスに対応し、パーティ…

バルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プライスを実現 ■洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等 ■信頼性及び...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』

1.125"C-SEAL対応　コンパクト設計のバルブ！誤作動防止LOT…

リーズのCv値は0.3 ■1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を揃えている ■手動弁は90°回転ハンドルとなっており、誤作動防止のLOTO機構付きもある ■接ガス部は、Chrome richプロセスを施し、Cr/Fe>2.0を達成（オプション） ■ブロックとのシール部硬度はHv300に管理され、繰返し着脱でのシール性能を高める ※KITZ SCT で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『ツーステップバルブ』

１台で流量調整と全開／全閉の２段階のコントロールを可能とした画期的な複…

エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧ガス対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『RDシリーズ』

コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ！手…

『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用。 「自動弁」は、ボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、 信頼性を向上させ、特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用すること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　リプレイサブルシート バルブ『KD-E』

シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に…

】 ■サイズ：KD4-E（1/4″） ■Cv値：0.27　※SEMASPEC-90120394B-STDに基づくCv値測定（室温）で最小値を記載 ■使用最高圧力：0.98 MPa（G） ■接ガス部内容積：1.36cm3　※CVCオス図面寸法からの計算値（標準値） ■使用流体温度範囲 　・PCTFE：－10℃～80℃ 　・PFA：－10℃～150℃ ■環境温度範囲：－10℃～60℃ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性…

【仕様（抜粋）】 ■サイズ：WD4（1/4"） ■Cv値：手動弁0.3/自動弁0.23 ■接ガス部内容積：3.2cm3（ストレート弁、CVCオス、OPEN状態）　 ■環境温度範囲：-10℃～ 60℃ ■操作圧力（自動弁）：0.5 ～ 0.7MPa（G） ■作動耐久性（N2 封入試験当社実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『高温（250℃）対応バルブ』

高性能、コンパクト、低価格を実現！均熱性を必要とする有機金属系の半導体…

構成部品を全て オールメタル化することにより、250℃での使用が可能です。 独自の設計により高温環境でのCv値の落ち込みを極力減少させ、 高性能、コンパクト、低価格を実現。 また、接ガス部だけでなく、アクチュエーターを含むバルブの 構成部品全てが高温環境下で使用可能なため、均熱性を必要とする 有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来ます。 【特長】 ■バルブ構成部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『クイックターンバルブ』

ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく…

株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。 接続継手が1/4"CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、 「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』

スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータ…

プリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能（オプション） ■特殊仕様、ブロックバルブ対応（オプション） ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な…

術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス（接液）部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能です。 【特長】 ■二重偏心構造を採用し高いシール性を確保 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

メタルガスケットシール継手『IF』

大流量タイプに好適！回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易

『IF』は、大流量対応のメタルガスケットシール継手です。 ニッケルガスケットを採用することでシール性能も高気密を実現し、 耐食性に優れ、腐食ガスにも対応可能。 また、ガスケット固定ピンで仮止めができ、施工時のガスケット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

リリーフ機能付ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』

異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる安全機能付きダイヤフラムバル…

Dシリーズ』は、異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる 安全機能付きダイヤフラムバルブです。 選べるクラッキング圧力(1.0-1.4MPa(G)または1.6-2.0MPa(G))と 接ガス部にスプリング・Oリングが無いパーティクルフリー構造。 シリンダーキャビネット等の安全対策にご使用いただけます。 【特長】 ■配管内がクラッキング圧力以上になると自動的に一次側の 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　2連3方バルブ（フリッカータイプ）

バルブボックス自体の省スペース化が可能！　コンパクトなボディ部のデッド…

『2連3方バルブ（フリッカータイプ）』は、当社の2連3方ブロック バルブのボディ部を更にコンパクトに設計し、デッドスペースを 究極にまで少なくした複合バルブです。 2つのバルブアクチュエーターはセンター部のボディを中心とし、 両側に水平対向した位置にレイアウト。 ダイヤフラム標準タイプの「KDシリーズ」から、コンパクトタイプの 「KCDシリーズ」、高圧タイプの「RDシリーズ」の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』

「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FP…

『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラ…

は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを閉止したつもりが半開状態だった ・間違って閉止バルブを開けてガスを流してしまった ・忙しい時や普段とは違う作業時にバルブを締め切らずに漏れ発生… といった事故やトラブルのお悩みはありませんか？ お悩み別の解決方法を事例集にまとめております。 ▼ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ

材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着…

高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能…

ルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換後も互換性を確保 ■安定して再現性のあるガス流量が得られる ■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用 ■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには…

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。 【特長】 ■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能 ■角型ボディを採用する事により、低コスト化を実現（IVB） ■玉抜きボディを採用する事により、大きなコンダクタンス性能を実現（IVBL） ■ベローズシール構造により高いリーク性能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ『IB』

デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現！ストレートタイプのベ…

『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を 持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要とした ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。 ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても 対応できます。 【特長】 ■デッドスペースを小さくした結果、パージ時間の短縮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

チェックバルブ『IC』

優れた内部シール性！低圧から高圧まで使用可能なポペット摺動タイプの逆止…

ット摺動タイプのチェックバルブです。 精密嵌合仕上げにより、スムーズな開閉動作を有しており、特別に デザインされたエラストマーにより、低圧から高圧までシール可能。 コンパクト設計によりガス溜りも極小に押さえた設計に仕上がっています。 【特長】 ■材質はSUS316L材を使用し、耐食性を向上 ■構成部品はシンプルな構造 ■メタルシールにより優れた外部気密 ■ガス溜り部を極...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換…

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ『SBB』

コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバル…

ベローズ バルブです。 エア供給口を頭部に設定することで、配管向きを気にすることがなく 設計でき、パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に 対応可能。 シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用しています。 【特長】 ■ストレートタイプ ■ボディを鍛造にすることで軽量化 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■パージポートをオプショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー