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78件 - メーカー・取り扱い企業
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4件 - カタログ
44件
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10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…
・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニアスケールを...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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手元で簡単操作 位置決め対象を見ながら操作ができる
位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。 ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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アナログリニアエンコーダ内蔵！耐荷重5,000N（約500Kg）の高剛…
『X-LRT-AECシリーズ』は、コントローラ・ドライバー内蔵の 高剛性（最高耐荷重・カンチレバー荷重）精密電動リニアステージです。 ステンレス製の防塵カバータイプがあり、駆動モータの配置は ライン上（シングル）設置、又は並列設置（デュアル）の2タイプ。 また、駆動方式はA、B、Dモデルは精密リードねじ、 Hモデルは精密ボールねじとなっております。 【特長】 ■耐荷重5,...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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コントローラ内蔵でほかのZaber製品とデイジーチェーン接続可能！
『X-LSMシリーズ』は、最大耐荷重が10kgの精密電動リニアステージです。 最高速度が104mm/s、最大推力（トルク）は55Nとなっており、 コントローラ内蔵でほかのZaber製品とデイジーチェーン接続可能。 また、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付きの ロータリーエンコーダ内蔵タイプ「X-LSM-Eシリーズ」もございます。 【特長】 ■最大耐荷重：10kg ...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』ま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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コントローラ・ドライバー内蔵！高速・高精度搬送などの用途に好適
『X-LDM-AEシリーズ』は、高精度アナログリニアエンコーダを 内蔵した精密電動リニアステージです。 ストローク長が60、110、210mmとなっており、位置決め分解能は＜s1nm。 また、最大中心荷重は120N（約12Kg）で、最小移動単位、 繰り返し精度が25nm＜0.08μmの製品となっております。 【特長】 ■位置決め精度：＜1μm ■最高速度：1200mm/s...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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コントローラ・ドライバー内蔵！推力制御モードにより推力の調整が可能
『X-DMQ-AEシリーズ』は、エンコーダ（リニアアナログ式） 分解能が1nmの精密電動リニアステージです。 200nmの分解能リニアエンコーダを内蔵しており、 フルクローズドループ制御による高精度位置制御が可能。 振動検査、材料特性解析などの用途にご使用いただけます。 【特長】 ■ストローク長12mm、精度4μm ■最大推力15.5 N、連続推力12N ■推力制御モー...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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精密電動リニアステージ『X-LRT-EC、-E、-Cシリーズ』
高負荷（500Kg）対応！コントローラ内蔵スタンドアローンユニット
『X-LRT-EC、-E、-Cシリーズ』は、ストローク長1500mmまでの バリエーションがある精密電動リニアステージです。 駆動ネジピッチのバリエーションにより最大推力は700N（70kg）。 また、耐荷重1000N（100kg）の高剛性で、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■耐荷重1000N（100kg）の高剛性 ■ストロー...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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コントローラ・ドライバー内蔵！他のZaber製品とデイジーチェーン接続…
『X-LSQシリーズ』は、最高速度1000mm/sの速さと 最大推力100Nの力強さをもつ精密電動リニアステージです。 ストローク長は75、150、300、450、600mmで、 負荷容量（耐荷重）は最大20kgの製品。 また、ロータリエンコーダ内蔵タイプの「X-LSQ-Eシリーズ」も ご用意しております。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最高速度...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイク...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
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70mm～3000mmまでのストローク長！ベルトドライブ高速ステージ
『X-BLQ-Eシリーズ』は、最大2m/sの高速タイプの 精密電動リニアステージです。 エンコーダ内蔵によるスリップ/ストールからの 自動回復、位置フィードバックが可能。 また、繰り返し位置決め精度は＜10μm、 最高分解能が4.21875μmの製品となっております。 【特長】 ■70mm～3000mmまでのストローク長 ■最大2m/sの高速タイプ ■エンコーダ内蔵に...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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狙った場所にぴたりと止まる高速リニアモータ。低速等速性にも優れます
青山特殊鋼は日立金属の特約店として、リニアモータ/ステージの販売を初め、約20年間の実績がございます。 リニアモータのお引合いは、どの様な切り口でも対応可能ですので、遠慮なくお引合いを下さい。 ・リニアモータ単体、 ・リニアモータ＋サーボアンプ、 ・1軸ステージ〜多軸ガントリーステージ、 ・多軸ガントリーステージ＋モーションコントローラ（同期制御など） 長年の実績で信頼頂ける対...
メーカー・取り扱い企業： 青山特殊鋼株式会社
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1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵によるフルクローズドループ制…
『X-LDQ-AEシリーズ』は、最高分解能（最少移動単位）50nmの 精密電動リニアステージです。 画像解析等低振動搬送用途、高速・高精度搬送用途などに好適。 また、コントローラを内蔵しており、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵による フルクローズドループ制御、高速高精度位置制御 ...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…
おります。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-101との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィー…
フィードバック制御が可能となっております。 自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-101との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性！
『X-LRMシリーズ』は、耐荷重50kgの精密電動リニアステージです。 優れた剛性と熱安定性を持っており、コントローラ内蔵で、 他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能。 また、ロータリーエンコーダ内蔵タイプで、スリップ/ストール検出機能と 自動回復機能付きの「X-LRM-Eシリーズ」などもございます。 【仕様】 ■ストローク長：25、50、100、150、200mm...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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自動ステージ用コントローラ/ドライバ
特長： 1.単位表示機能（mm、μm、度、度分秒を記号で簡易表示）を搭載 2.多彩な原点復帰機能を搭載 3.プログラム運転、ティーチング機能を装備 4.Windows対応ダウンロード型プログラムエディタを標準添付 5.多彩な入出力ポートを装備 6.PCとの接続用インターフェースにRS-232Cを標準装備 7.非常停止入力端子を標準装備 8.接続ステージに合わせた設定が簡単に実行 ...
メーカー・取り扱い企業： 中央精機株式会社
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【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵…
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています。 ...○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：±4° ○繰返し位置決め精度：±0.00002...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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最高速度は840mm/s！コントローラ・ドライバー内蔵の低床高剛性ステ…
『X-LRQ-DEC&X-LRQ-DEシリーズ』は、最大推力（トルク）が110Nの 精密電動リニアステージです。 ロータリーエンコーダ内蔵タイプでは、モータエンコーダ位置 フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き。 リニアエンコーダ内蔵タイプでは、50nmの分解能リニアエンコーダにより、 スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付きで、また、13μm以上...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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耐荷重100kgの高剛性ステージ！ステンレス製の防塵カバータイプあり
『X-LRQ-EC&X-LRQ-Eシリーズ』は、コントローラと ドライバー内蔵の精密電動リニアステージです。 他Zaber製品とデイジーチェーン接続が可能。 駆動モータの配置はライン上設置、又は並列設置の 2タイプをご用意しております。 【特長】 ■耐荷重100kgの高剛性ステージ ■ステンレス製の防塵カバータイプあり ■駆動モータの配置はライン上設置、又は並列設置の2...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大３軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応しています。...○電源：AC100V 50...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
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真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。 分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で 動作させることができます。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。...最小分解能：0.00005°（...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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位置決めの装置を主体とし、その周辺機器も販売して行く位置決め装置の総合…
信頼できる加工技術と組み立て技術により構成された製品群をご提供させて頂いております。...モーションポジショニングステージシステム製品の総合カタログのご案内です。 【取扱製品】 ◆システム製品 ◆オープン制御ステージ ◆クローズド制御ステージ ◆ステンレスシリーズ ◆顕微鏡用ステージ ◆各種コントローラ・ドライバ関連 ◆セミオートプローバ ◆セミオートプローバ用コントローラ ...
メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社
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長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…
を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。 ※フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ ■詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-414またはFC-114との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…
力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。 ...最小分解能：50nm（FC-411使用時） ：100nm（FC-...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…
力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1/2軸対応モーションコントロールユニット
●全機種RS-232Cポートを標準装備 ●USBポート内蔵機種はパソコンに簡単接続 ●Windows対応、専用ソフトウェアでプログラムも簡単 ●専用リモートBOXでプログラミングや各種パラメーター等の設定ができ、さらに各軸のマニュアル動作＆プログラム起動が可能 ●制御BOXに取付が便利なDINレールワンタッチ取付機構を採用 ●パラレル入出力を利用し、PLCや各種SW等で制御可能 各軸6...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノドライブ
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10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。
5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-611 接続対象ステージ：FS-10□0...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…
クが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したス…
が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までライ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…
。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…
おります。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボール...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは20mm～10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-1020UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。...型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…
構成になっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1050SPX(MD) 高速度タイプはFS-1050UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-1040UPX となっております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…
スケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…
おります。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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