【資料】二軸混練押出機TEXによるリサイクルプロセス事例集

PR【リサイクル事例集無料進呈！】 広い適用範囲、効率的な連続生産、樹脂の…

『二軸混練押出機TEX』は広範な原料やプロセスに対応した高いカスタマイズ性能、 バッチ式とは異なる連続生産性を持つ機械です。 またヒーター伝熱とスクリュのせん断による高いエネルギー効率、高トルクによる広い運転領域などの特長を持ち、 樹脂のリサイクルにおいて非常に多くの適用事例がございます。 当資料では、『二軸混練押出機TEX』によるリサイクルプロセス事例をまとめてご紹介しております。 ケミカル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本製鋼所 樹脂機械事業部

高精度ネジ転造盤　NTR-HPシリーズ

PR貴社の作りたいを叶えるための高精度ネジ転造盤！機械・ダイス（工具）・加…

油圧レスで、さらに省スペース化。 電子とメカにより最適化された駆動方式で、約30％の節電を実現した、高精度ネジ転造盤です。 Profiroll社では、機械もダイスも一貫生産しているため、 多くの企業様で採用されている、機械のみ、工具のみの提案ではなく、 機械メーカーと工具メーカーの視点を合わせながら、 さらに、加工プロセスまでも考えてのご提案が行えます。 ※詳細はカタログ請求し...

メーカー・取り扱い企業： 西島株式会社

ケミカルプロセス用　ドライ真空ポンプ『TRMシリーズ』

凝縮性ガスの吸引に好適！ケミカルプロセス用の汎用ドライ真空ポンプ

『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に好適です。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、又、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプ「TRVシリーズ」

酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。　　 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

半導体向けドライポンプとオンサイトサービス

SEMICON Japan 2023でサブファブ向け最新ソリューション…

日本ブッシュは「Your Complete Sub Fab Partner（あなたのサブファブ・パートナー）」をテーマに SEMICON Japan 2023に出展し、半導体製造プロセスにおける安定性、安全性、効率性を支援するソリューションをご紹介します。 【みどころ-1】 ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプや、当社特許取得済みのガス除害装置など...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

コーティングプロセス向け真空ソリューション

エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの…

当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

MAAG社 総合カタログ

MAAG社はプロセス用ギアポンプ、システムのメーカーとして世界的に高い…

マーグ社(MAAG Group 本社:スイス)では化学・製薬及び一般産業向け、高粘度流体、高温プロセス、真空プロセス、高吐出圧プロセスなど、腐食性のある流体や高純度の流体など幅広いアプリケーションに適応するギアポンプを提供しています。また、バージン材料向けのスクリーンチェンジャーや、廃プラスチック...

メーカー・取り扱い企業： DKSHマーケットエクスパンションサービスジャパン株式会社 テクノロジー事業部門

ケミカルプロセス産業向け真空ソリューション

海外でも多くの導入実績がある真空ポンプと真空ソリューションの組み合わせ…

当カタログは、化学産業に関連する真空ソリューションをご紹介しています。 エドワーズは、何千台もの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとケミカルプロセスの豊富な知識により、設計からシステム構築に及ぶ完全なパッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

ドライ真空ポンプ LEYVACシリーズ

これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポ…

新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従…

6 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開してお...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮で…

を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 　 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 　キャビテーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大学の研究室にも多数納入実績あり！空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。　　 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVA…

TM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、 　デジタル化による集中管理システ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

【プロセス設計の方必見】ルーツ式ドライ真空ポンプ『VPシリーズ』

「ピッタリなポンプが見つからないな。。」とお悩みの方ご連絡ください！オ…

『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

スクリュー真空ポンプ COBRA NC シリーズ

化学、製薬業界の各種プロセス用途をはじめとした多くのアプリケーションに…

COBRA NC シリーズは、効率性の優れたドライスクリューポンプです。 当シリーズは、今までの堅牢な構造はそのまま残し、改良を加えました。 非常に厳しいプロセス条件下でも、 特殊のコーティングを施した一体型の不等ピッチ形状スクリューロ ーターが安全性・信頼性の高い運転を実現し運転コストについても低減しています。 【特長】 ● 高度なスクリュー設計...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

スクリュー式ドライ真空ポンプ『SDV-Rシリーズ』

【ライトケミカルプロセス向け】安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・…

『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈するN2パージ機構を追加...

メーカー・取り扱い企業： 大晃機械工業株式会社 陸上事業部

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○ス...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

高温高圧ガス・圧送　PT型ルーツブロワー

プロセス中のガスの持つ高いエネルギーを 無駄にすることなく、そのまま…

し、皆様のご要望に答えるよう努力しています。 ステンレスをはじめとする特殊材質、高温・高圧ガスの循環等特殊用途では多数の納入実績があります。 【特徴】 ○吸入温度450℃を実現 ○プロセスの省エネルギー・コストダウン・シンプル化に大きく貢献 ○お客様のご計画に最適の機械を選定いたします...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水封式ポンプ「Gardner Denver NASHシリーズ」

グローバルな製品設計の水封式ポンプ！プロセスの不調にも強く、コンパクト…

「Gardner Denver NASHシリーズ」は、グローバルな製品設計の水封式ポンプです。耐久性に優れ、長寿命です。各種メカニカルシールに対応しており、プロセスの不調にも強く、コンパクト＆高信頼性な設計となっています。優れた水操作性で、二段式ポンプは高効率性、高パフォーマンスで高価値を生み出します。火力・地熱発電、化学、石油精製等、さまざまな業界で活躍し...

メーカー・取り扱い企業： 三國機械工業株式会社

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ 【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

タクミナ・スムーズフローポンプ　製品カタログ

さまざまなプロセスニーズに、多彩なラインアップでお応えします！

当カタログは、株式会社タクミナの『スムーズフローポンプ』を 多数掲載しています。 光学フィルムやIT、高純度の医薬品など、シビアな制御が必要な プロセスラインに好適な「TPL 油圧」をはじめ、「APL/APLS 直動」や 「XPL 直動」などをラインアップしています。 【掲載内容】 ■流体移送の理想形 ■特長 ■製品ラインアップ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクミナ

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」

非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

する赤外線ランプから構成されている ○ランプの放射熱によりポンプは活性化し、チャンバーがベーキングされる ○ゲッター材は、真空中の活性なガスと化学反応し、その表面に取り込む ○ポンプダウンとプロセスが行われている間、 　H2,H2O,CO,CO2,N2,およびO2と反応する ○プロセス中にアルゴンが存在してもポンプの性能には影響しない ○ポンプの2列のゲッターディスクはステンレス製の遮...

メーカー・取り扱い企業： アップ・テック・ジャパン株式会社

産業分野向け真空ポンプ 製品カタログ

工業用真空ポンプシステムを多数掲載！お客様のニーズを満たすソリューショ…

当カタログは、当社が取り扱う産業分野向けの真空ポンプをご紹介しています。 ドライポンプとオイルシールポンプの両方を幅広く取り揃えており、 経済的で環境に配慮したプロセスを実現するお役立ちいたします。 コーティングから乾燥、冶金からリチウムイオン電池の製造にいたるまで、お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。 【掲載製品（抜粋）】 ■...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーショ…

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

ケミカルドライポンプ EDPシリーズ

ケミカル用途のクロータイプのドライポンプであり、プロセスガスの局所的な…

ドライポンプEDPシリーズは、主にケミカル業界および製薬業界での蒸留や乾燥プロセスにて使用頂いているポンプです。 非接触でそれぞれ逆回転するクローローターとポンプ垂直機構を採用しており、ポンプ内のプロセスガスの局所的な凝縮と微粒子の蓄積を最小化します。 排気速度は、80m3...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

*ドライポンプACPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s　⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準モデル：クリーンプロセス用 2. Gバージョン：腐食性ガス排気用 3. CVバージョン：水蒸気排気用 4. CPバージョン：ガス循環用 5. Rバージョン：耐放射線仕様 •多彩なオプションをご用意：パーティクル...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ

SST/SSXシリーズに、オプションのクリーニングセット、シールパージセットを付属し、ケミカルプロセスに適したカスタマイズとなります。 吸引物の量・性質や運用方法に応じてオプション品のヒータセットや追加ドレンタンクを設けることも可能です。 ◆◇◆詳しくはお問い合わせください◆◇◆...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

メカニカルブースター PANDA/PUMA ファミリー

真空システムの性能を最大10倍まで高めるブースターポンプ！

ポンプの排気速度と到達真空度を向上させるメカニカルブースターポンプは、 最大10倍まで真空システムの性能を高めることができます。 サイズのバリエーションが豊富なため、 排気速度および到達真空度をプロセスの条件に合わせて的確にカスタマイズできます。 【特長】 パイパスバルブ内臓の有無で2種類に分かれています。 ■ PANDAファミリー： バイパスバルブ内臓。過負荷や熱から保護され、差圧...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

『6段式ドライ真空ポンプ』総合カタログ　※無料配布中

【新製品】LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われるドライ…

油回転・スクリュー式ポンプの代替や、LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われる多段ルーツ式ドライ真空ポンプが新発売されました。 高真空・高効率で地球にとても優しいドライガスで排気します。今なら、その総合カタログを無料でプレゼントしますので、 詳しくはお気軽に問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アンレット

ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ

半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介

スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

【その他の特長】 ■電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、 　高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応 ■セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能) ■従来機種とリモ－トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保 ■RS232C(オ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus

小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成でき…

新型ECODRY plusの4つの主な特徴 【SMALL】 　軽量でコンパクト（従来品に比べ約30%ダウン）。簡単にプロセスに統合可能 　サイレンサーが内蔵されており、省スペース化を実現 【FAST】 　高圧から到達圧力までを高速排気 　真空システムのポンプダウン時間を大幅に短縮 【SMART】 　...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

スクリュー式ドライ真空ポンプ　BEHシリーズ

リニューアルして再登場

【特徴】 ○7つの高品位テクノロジーを継承し更に使いやすく ○ハードプロセスでの安定稼働を実現 ○排気速度(l/min)：7000 to 30000 ○到達圧力(Pa)：to 0.08 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大晃機械工業株式会社 陸上事業部

スクリュー式ドライ真空ポンプ『SDV-Rシリーズ』＜展示会出展＞

安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振…

『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式 ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈する N2パージ機構を追加し...

メーカー・取り扱い企業： 大晃機械工業株式会社 陸上事業部

ジャパンマシナリー株式会社 会社案内

ポンプから医療機器まで幅広い商材を取り扱う機械専門商社 ジャパンマシナ…

■精密レギュレーター、空電、電空交換機 〔計測機器〕 ■オンライン回転式粘度計 ■オンライン用振動式粘度計 〔ヒーター、センサー、その他〕 ■ヒーター、温度センサー ■光電センサー、プロセス制御機器 ※その他機能や詳細については［イプロスものづくり］・［特設サイト］よりお問い合わせください。 ※医薬食品サイト・都市まちづくりサイトをご覧の方は、お手数ですが［イプロスものづくり...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

押出成型機の真空ポンプに関する症状別の改善方法とは？資料進呈中！

押出成形機の真空ポンプにお困りではありませんか？『水封式真空ポンプ』や…

真空ポンプ”や“ドライ真空ポンプ”などの 課題と解決策について掲載。 当社は、オイル式、水封式、ドライ式（スクリュー、クロー、ルーツ）と 様々な原理の真空ポンプを取り扱っており、お客様のプロセスに 適した製品をご提案可能です。 課題解決に、ぜひご活用ください。 【掲載内容】 ■既設設備の課題 ■水封式真空ポンプ：課題と解決策 ■ドライ真空ポンプ：課題と解決策 ■その...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○世界最大級の複合分子ポンプ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ●その他機能や特長については、カタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

プの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【耐食性】水封式真空ポンプ　SW-ASシリーズ（ステンレス製）

耐食性に優れるステンレス製（SUS316相当）の水封式真空ポンプ

腐食性ガスを吸引するプロセスでは、接ガス部が腐食性ガスと接するため、腐食による故障が起こりやすくなります。そのため、接ガス部に耐食性材質を採用することで、故障を低減できます。 ◆耐食性材質としてグレードの高いSCS14...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

クライオポンプ　CRYO-Uシリーズ

優れた信頼性、高性能と高品質、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナッ…

15R/C40R ○C30VR/C30MVR/C30PVRT/C30PMVRT [クライオ マルチシステム] ○CRYO-U6H・3/U8H・3/U10H・2/U8H・4 [スパッタリングプロセス用クライオポンプ] ○CRYO-U8HSP/U1HSP/U12HSP [スーパートラップ] ○スーパートラップシリーズ ○Speed TSシリーズ [極低温冷凍機] ○4K冷凍機 ○...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社