高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

『粉体搬送ポンプ』

PR手作業による労力・飛散の問題を解消！マイカ、アクリル樹脂などの粉末に対…

当社では、乾燥粉体を迅速かつクリーンに搬送処理できる 『粉体搬送ポンプ』を取り扱っています。 「PPシリーズ」は乾燥重量721kg毎立方メートルまでの粉体に対応し、 カーボンブラック、シリコン、アクリル樹脂などの搬送に使用可能。 手作業に要する労力や粉塵飛散といった問題の解決に役立ちます。 また、「SPシリーズ」は流体接続部がクランプ留めの構造のため 分解しやすく、洗浄メンテナ...

メーカー・取り扱い企業： インガソール・ランド・アイティーエス株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

テフロン製ベローズポンプ

使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致…

White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良によ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁

無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに！ 金属と反応したり腐食させ…

FEといった非常に高強度な樹脂材）で構成する事で、金属イオンを嫌う液体や、強酸・強アルカリ等腐食性の高い液体の移送システムに組み入れ可能となりました。高強度な為、金属製と比べても遜色ない性能（定量ポンプ　■流量偏差／±0.1% ※清水・5R.P.M.以上・1MPa時　■耐圧／8MPa ※PEEK仕様）を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高粘度吐出、高信頼のＣＴポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。高粘度については１０，０００cp以上実績があります。最大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、３...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

純水供給安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。 ・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ） ・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。 ・非接触式のインペラにより低発塵を実現。 ・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。 ・お客様のご要望に合わせて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー

昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです

Rack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa 外寸法(WxDxH)mm：483 x 610 x 221 ＜Thermo Cube＞ 設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション） 冷却能力 @2...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

■到達圧力 プロセスモジュール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: ターボ分子ポンプ 1300L/sec ドライポンプ: 600L/min トランスファー室: TMP 820L/sec ドライポンプ: 500L/min ロードロック室: TMP 350L/sec ドライ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。 液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空ポンプ、エジ...

メーカー・取り扱い企業： 大谷技研株式会社

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

Rack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa ＜Thermo Cube＞ 設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション） 冷却能力 @20℃ ：200W～600W@20℃(6モデル） ポンプ：1...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

耐薬品性、定量性に優れた、エアー駆動によるふっ素樹脂PTFEベローズポンプです。 ■液体に最適 ■自吸式 ■定量性０．５％ ■運転音がきわめて低い ■防爆型、引火性流体に最適 ■独特なふっ素樹脂PTFE被覆整形のマグネット弁使用でスプリングを使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

【動画で紹介】半導体ウェハ用ワイヤーソースラリー調合設備

人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合…

本製品は、半導体ウェハをインゴットの状態から、ワイヤソーにより切断する際に、必要となるスラリーの製造を目的とした設備です。 ２台の撹拌設備、１台の貯蔵設備、３台のコンベア、オイル搬送用のポンプで構成され、粉体搬送による発塵を防止するための集塵機も搭載しています。粉体搬送は自動で行い、モータ、ポンプ、ロードセルなどは非防爆仕様で、省力化に配慮をしています。 登録されたレシピに従い搬送、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ　SAP-1 A14/M6

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

【特長】 ○LED生産現場で要求される精度を実現 ○生産効率、材料の無駄を減らし、人為的ミスによる不良を防止 ○全自動・半自動、粉体・液体供給ポンプ数等使用している材料の種類や 　タクトに応じ構成可能 →ご要求に応じ適切なシステムをご提案可能 ○シリンジ・カップ共に対応可能 ○シリコン・蛍光体・分散剤の分注工程を自動化 →手作業(マ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルコム

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用す...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

【その他の掲載内容】 ■輸送ロボットの修理 ■スリットバルブの修理 ■O3ジェネレーター修理 ■サーキュレータポンプの修理 ■マスフローコントローラの修理 ■ターボ分子ポンプの修理 ■サーキュレターポンプの修理 ■マスフローコントローラーの修理 ■ポンプの修理＆オーバーホール ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

【主な仕様】 ■到達圧力 ・処理室：3x10-5Pa以下 ・ロードロック室：3x10-4Pa以下 ■真空排気系 ・成膜室：ターボ分子ポンプ 1000l/sec ・ロードロック室：ターボ分子ポンプ ■成膜室 ・スパッタ源：ECR 2式、マグネトロン 2式（オプション） ・基板ホルダ：平板状ステップ回転、基板サイズ max.3イ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

：CCP、13.4MHz 最大1000w ■前駆体（金属プリカーサ）搭載数：最大4基 ■反応ガス搭載数：最大3系統（マスフローコントローラ） ■最高基板加熱温度：400℃（設定値） ■真空ポンプ：ドライポンプ（ケミカル対応型） ■ホットウォール：標準搭載 ■配管加熱：標準搭載 ※個別制御可 ■圧力コントロール：自動調圧バルブ ※各室個別制御可 ■プロセスガストラップ：標準搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2500Å/min(Tin 100A) ○蒸発電源／10kw ○油回転ポンプ／D-950DK ○高真空ポンプ／TS-440 ○所要水量／18ℓ/min ○所要圧空／0.5MPa以上 ○所要電力／27KVA ○床面積本機／約1300W×1000D×2040H ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

【仕様（抜粋）】 ■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm ■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル レシピ設定…10プログラム×50パターン オプション…試料台、真空ポンプ ユーティリティー…電源、真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

プリント基板製造装置　現像・エッチング・剥離ライン

ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せる

装置です。上エッチングは独立圧調でさらに高精度です。板厚50μmのワークが安定して流せます。有効幅は600mm 、搬送速度は1.0～7.0m/min（常用3.5m/min）、現像・エッチング・剥離ポンプはインバーター制御です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

570(D) x 600(H)mm ・重量：約70kg ・電源：200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ：Φ225（内径）x 250mm ・真空系：TMP + RP（ドライポンプ オプション） ・ペルチェ冷却機構...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

プラスチックバネ(スプリング)

「ばねの革命児」プラばね！ ～プラスチックバネとは思えない反発力と耐…

バネの革命児「プラばね」 プラスチックばねの「プラばね」は金属イオンを嫌う分析機器・強磁場環境で使われる MRI関連製品・酸・アルカリなどを吐出する薬液用ポンプ・分別廃棄を求められる ディスポーザブル医療製品・高い絶縁性が求められる半導体チェック端子に使われます。 金属ばねでは使用できなかった環境で、レアメタルを使用せず量産時コストを大幅に引き下げま...

メーカー・取り扱い企業： 日本ケミカルスクリュー株式会社

超小型スピンコーター　SC-155G

グローブボックス内でも邪魔にならない 超小型のスピンコーター

：0～6000rpm（無負荷時） *材質 ：本体、カップ　SUS304 *カップ径 ：内径φ150mm　受け皿付き *フタ ：透明塩ビ（ナベフタ式） *排気 ：無し *真空ポンプ ：無し *電源 ：AC100V/3A（スピンコーター本体） *装置サイズ ：W195 x D195 x H195mm *装置重量 ：約10kg ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です） スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。お問合せ下さい。 オプションにつ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

ラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（真空吸着によらない基板固定の場合は不要） オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス！ https://www.acti-ve.co.jp/spincoat...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

従来の「液化二酸化炭素で置換する工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

ンにし、液体を有効活用する分野で大きく活躍しています。 精密部品の加工後の付着した油を洗浄する洗浄機に多用され、半導体、燃料電池等の精密洗浄にも対応し、水や溶剤洗浄に適した製品です。 ダイヤフラムポンプや電動ポンプを使用して、洗浄機タンク内の油混入した洗浄液を高流量で吸い上げ、装置内の分離版やフィルターにて、油と洗浄液を分離させます。主に自動車部品の分野で多く使用されています。　 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

【特長】 ○真空下で使用できます。 ○発塵無くオゾンを分解します。 ○真空ポンプ前段に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。 【仕様】 型式　　　　　　　　　　OZ-1000 入口オゾン濃度　　　　　15%以下 出口オゾン濃度　　　　　0.1ppm以下 最...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

DimatixインクジェットヘッドSG/PQ/QS/QE基板

Fujifilm Dimatix社富士フィルムインクジェットヘッド駆動…

　搬送系エンコーダと同期可能。 印刷用PCと専用PCIe基板で接続可能。　　最大10ヘッド可能です。 印刷にはBitMAPデータが使用できます。　印刷制御ソフトもあります。 インク循環ポンプも別売で供給します ＤｉｍａｔｉｘＳＧ／ＰＱ／ＱＳヘッド　開発キット 　　⇒　総額￥４９０万円 　　１ヘッドコントロールＡＭＰ基板　　＠35万円 　　※．ＵＳＢインターフェース／エンコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ

連続式スラリー供給装置　P85

特許取得の調合方法で当社従来比15％以上のコストダウンを実現！燃料電池…

して供給流量も増大。 また、原液補給から供給可能までの所要時間を当社従来比で52分⇒22分に大幅短縮しました。 【特長】 ■当社独自の調合方式でスラリーと純水を調合＜特許取得済＞ →ポンプが不要となり、当社従来比１５％以上のコストダウンを実現 ■当社独自の加熱方式によりスラリーを加熱＜特許取得済＞ →高効率、ハイレスポンスの加熱を実現 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

く薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。 基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保持となりますので、真空ポンプは必要ありません。 スピンコーターACT-AIIシリーズとは異なり、こちらの機種はカップサイズがφ200mmの1機種のみで、プログラムステップ数・パターン数が1ステップ・1パターン（回転時間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【用途】 極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

・半導体装置及び各種真空装置の排気系ポンプの再生技術 ・真空配管系の設計・製作 ・真空関連部品の特殊洗浄・再生技術 ・真空関連製品、その他保守パーツの販売 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

大型機・自立型スピンコーター

大型基板にも対応！研究、実験用にも適したアクティブの自立型スピンコータ…

00rpm/±2rpm以下 (負荷に応じて要相談） ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。 ◎真空ポンプが必須オプションです。（ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

APIEZON アピエゾン 真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。 使用温度によって対応する各種のグリースがあり、いずれも科学的に安定しています。蒸気圧が非...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

純水装置（純水製造装置）RO＋EDI仕様

RO＋EDIをフルパッケージ！ 環境に優しい純水装置（純水製造装置）

より、市水から 　高い純度の純水（抵抗率＞10MΩ・cm）を連続製造ができます。 ・原水シリカ濃度に応じた二機種を準備。いずれもケミカルフリーの為、 　煩わしい薬品補充が不要です。 ・ROポンプはインバーターによる最適な流量制御。消費電力を大幅に 　削減できます。 ・基本操作はタッチパネル上で簡単にできます。 ・CFカードに３～６ケ月分の運転データを保存可能です。カードは 　CS...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

簡易スラリー供給装置　P65

ウエハ研磨用

スラリー液をタンク内で希釈混合したものを装置へ供給するための実験用供給装置です。 【特徴】 ○タンク容量：125L アイボリー塩ビ製 ○ダイアフラムポンプ：10リットル毎分 ○供給エア：85リットル毎分 ○電源容量：AC100V 5A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

大型高精度SiCプレートによる改善事例

最大□800ｘ40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置…

（1000℃以上）での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性に優れる ●共有結合性が強いため、ファインセラミックスの中では最も硬く、耐食性に優れ、液中での摺動特性が良好 ●メカニカルシールやケミカルポンプの軸受け用に好適 ※特性値等の詳細はカタログをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

精密溶接加工【気密溶接】

40年のノウハウと徹底した工程内品質管理が可能にした気密溶接技術【マイ…

【精密溶接加工に関して、こんなはございませんか？】 ◎真空容器、水中ポンプなどの溶接でリーク(漏れ)が心配･･･ ◎外注監査も受け入れるほど品質管理が徹底している会社は無いか･･･ ◎工程短縮と品質向上をしたい･･･ 　⇒　⇒　ニッセイ機工にお任せください！ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッセイ機工

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

1850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション ○現像用カップ：SUS304テフロンコート ○ベーク炉：ホットプレート、真空チャンバー ○回転数：MAX3000rpm ○モータ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

ョン) 浮子式流量計 ステージ寸法 φ200mm 電源 AC100V 50/60Hz 15A 真空ポンプ 135/160 ( リットル/min ) 操作方法 タッチパネルによる自動操作 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

自公転式真空撹拌脱泡ミキサー　V-mini300

小さなボディに「撹拌」「脱泡」「充填」の３機能

脱泡ミキサー １．高粘度や高チクソなど、撹拌が難しい材料も短時間で均一に撹拌 ２．サブミクロン以下の泡も完全脱泡 ３．泡が再混入しないシリンジへの充填 更に メインテナンスフリー(ドライポンプの採用によりOILの補充及び交換が不要)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-2300』

低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能！価格を抑えたプラズマ成膜装置

『AFTEX-2300』は低価格ながらマイクロ波分岐結合型ECRイオン源 を搭載するとともに、ロードロック機構、ターボ分子ポンプを装備した 高性能な固体ソースECRプラズマ成膜装置です。 10-30eVの低エネルギーに制御された高密度イオンの照射下で 薄膜が成長するため、原子レベルの平滑性で緻密・高品質な薄膜が ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

フッ素系溶媒用チラー　M-75HFE

高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー

、オプテオン（SF10）などのフッ素系溶媒に対応 ・タンク容量がわずか1.9Lなので、高価な液体の使用量が抑えられる ・密閉構造で高価な液体が蒸発しにくい ・吐出圧が0.4MPa以上の高揚程ポンプを採用 ・設定温度が-15℃～+35℃なので、低温にも対応 ・ホットガスバイパス方式採用による高い温度安定性と応答性 ・CE、UL、KC-Mark対応 ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

高出力レーザ単結晶育成装置『LFZ-Compact』

お手持ちのスマートホンで、加熱部の監視および焦点、倍率、絞り調整が可能…

精度：±5℃～±2%) 　・測定温度再現性：0.2℃ ■結晶条件の記録：加熱温度、レーザ印加電流、上下シャフト速度等 ■使用ガス：酸素・アルゴン・空気(大気圧～0.99MPa) ■真空排気ポンプ(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノサーチ

薬液供給装置

装置組込み式制御盤を搭載！薬品メーカーの原液ポリタンク又は、CCSSか…

『薬液供給装置』は、HFの自動調合供給装置です。 各薬液の装置への供給は薬品メーカーの原液ポリタンク又は、CCSSからの 直接供給が可能。供給された薬液はポンプにて秤量タンクへ移送し、 規定の比率で、薬液と純水を自動調合します。 また、調合されたHFは供給タンクに貯蔵され、供給要求信号にて、 ユースポイントへ自動供給します。 【主な仕様】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

半導体/液晶製造装置の各種ユニットのメンテナンスサービス

半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能！納期・品質保証に関して…

【その他の修理項目】 ＜機械系修理項目(抜粋)＞ ■ディスペンス・ポンプ ■スピン・モータ ■ゲート・バルブ ■スロットル・バルブ ■アングル・バルブ ■ディスペンス・チャンバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アル株式会社 本社

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

9″) ■オプション 　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応 レチクルケース対応 SMIF　POD対応 オリフラ／ノッチ合わせ機構 イオナイザー オゾン水供給ユニット 高圧ポンプユニット 薬液供給ユニット 機能水供給ユニット エキシマUVユニット 帯電防止器 □その他詳細についてはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

切削加工部品

新しい情報及び必要とされる加工技術で、お客様の抱える問題を早期に解決し…

現像装置、シール塗布装置、液晶滴下装置、張り合わせ装置　など ■工作機械 　・研削盤 ■電子計測器 　・オシロスコープ、電源装置、電圧・電流・電力装置、無線観点測定器 ■液体機器 　・ポンプ、管継手、油圧機器、ディスペンサー、空圧機器、バルブ、真空機器　他 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社久保村製作所

【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方…

【製品の特長】 ■ディペンサーユニット付属可能 ■吸着用真空ポンプは別見積 ■φ300以上のものも製作OK ■フィルム用吸着台やピン受け方式の試料台もご用意可能 ■自動式スピンコーター応相談...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置

【デモ機貸し出し可能！】一度に数枚のワークを処理できます

【特徴】 ○スピン式のスプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を実行 ○一度に数枚のワークを処理可能 ○現像液は予めタンクで電子冷熱機により恒温に保たれポンプで循環 ○被処理物の回転を止め現像液を一定量供給しパドル現像の選択も可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

サンプル全面の処理が可能 紛体やペレットなどにも処理できます。 【仕様】 機能：圧力調整・電力調整・回転数調整・放電タイマー 　　　脱着式チャンバー・チャンバーの確度調整 　　　真空ポンプ込み 電源：AC100V 50/60Hz サイズ：本体 W720×D450×H450 　　　　チャンバー　φ210×H200 【オプション対応致します】 ・チャンバーサイズ変更 ・RF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

枚葉式露光装置

FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置

装置は､材料手動L/UL部､整合および露光部､付帯の真空ポンプボックスで構成されています｡ ITO(Indium Tin Oxide：酸化インジウムスズ)パターンを画像認識し､あらかじめコーティングされた銀インクレジストを露光します｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

『中古部品買取・販売／リファービッシュエンジニアリング』のご紹介

約8万点の中古部品在庫を保有し、最短即日出荷。半導体・FPD製造装置の…

『中古部品の販売』と 『リファービッシュエンジニアリング』についてご紹介いたします。 【中古部品の販売】 ■約8万点の部品在庫を保有 （表示機器、真空・駆動系・制御系パーツ、付帯機器、ポンプ、計測器など） ■最短で即日出荷が可能 ■生産終了品や新品の部品も提供可能 ■海外からの専用品の取り寄せに対応 【リファービッシュエンジニアリング】 ■生成物の除去、装置の延命化、オ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション ○現像用カップ：SUS304テフロンコート ○ベーク炉：ホットプレート、真空チャンバー ○回転数：MAX3000rpm ○モータ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

株式会社山岡製作所【製造部　受託生産課】

フォークリフトや超純水製造装置（オルガノ）保有！設計を含む、総合請負対…

クリフト（バッテリー式）⇒能力：3.0t　※宇治田原工場 ■KOLEC [通称：コレックリフター] ⇒能力：600kg　※宇治田原3棟CRのみ ■ボール盤・グラインダー ■排気ブロアー・真空ポンプ ■超純水製造装置（オルガノ）：1台 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所