重量物の遠隔操作アーム式ロボット※2tまで対応可能で省力化に貢献

PR【省力化】数10キロから2tまで重量物ハンドリングをする遠隔操作アーム…

数10kgから2トンまでの重量物を、アームで離れた距離からつかみ、 回転、反転、旋回をし、別の位置に置いたり、挿入したり作業が行えます。 アーム式の為コンパクトで、省スペース設置を実現。 遠隔操作で、涼しい部屋・安全なエリアでの操作が可能。 耐熱性が求められる作業、タンディッシュ解体やポーラスプラグ挿 入、ノロ掻き作業等の省力化、自動化にもお応えします。 【アタッチメントに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーボアームサービス

ケーブルベヤ 小形ROBOTRAX 【面ファスナー仕様追加】

PR新登場の"ブラケットホルダ"により、曲面のアームに…

『ROBOTRAX TKRB14H10』は、小形ロボットの ケーブル保護に好適なミニサイズのケーブルベヤです。 新たに追加した"ブラケットホルダ"は、面ファスナー仕様かつ様々な形状・サイズに沿うデザインです。 そのため曲面にもカンタンに固定できます。 サイズダウンしつつも、ケーブルの保護効果やカスタマーフレンドリな 設計といった基本性能をそのままに踏襲。 従来品のラインアップでは大きすぎて取...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　パワートランスミッション事業部門

リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』

下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボ…

『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』

テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセン…

『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング　高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ダブルアームクリーンロボット『AR2300-220』

低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を…

『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策：下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』

従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！

『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR2000シリーズ』

板金比率を高めて構造を単純化！製造コスト削減を実現するクリーンロボット…

『PR2000シリーズ』は、当社の従来品に比べ、板金比率を高め、構造を 単純化することにより、製造コスト削減を実現するリンク式シングルアーム クリーンロボットです。 全軸2相ステッピングモータ仕様。 各種センサを装備しています。 リンク式シングルアームクリーンロボットのことでしたら、 当社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■各種センサを...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

平行リンク式シングルアームクリーンロボット『EV2250』

真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット

『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

直動式シングルアームクリーンロボット『HR1400-720』

モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット

『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

システム『SSR1160+S2244-S001』

クランプハンド用制御ラインを装備！ロボット＋スライダシステム

『SSR1160+S2244-S001』は、リンク式シングルアームロボットと スライダからなるシステムです。 クランプハンド用制御ラインを装備。 前後方向の端面をクランプし、基板を保持します。 全軸エンコーダ付2相パルスモータを装備しています。 【特長】 ■基板保持：前後方向の端面をクランプ ■全軸エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■各種センサ装備 ■RS232C...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

複合マクロミクロレビュー検査装置(レーザーマーキング付き)

6・8インチウェハ対応！レーザーマーキング付きの検査装置をご紹介します…

当製品は、マクロミクロ検査装置にレーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などが搭載された装置です。マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には搬送ユニットがウェハを自動供給。マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡観察が行えるほか、上位システムと連携し指定座標にレーザーによる自動マーキングが行えます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■レーザーによるマーキング機能やマー...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

4ポートソーター

カセットステージ4ポートを持つ！6・8インチウェハ対応の装置をご紹介し…

当製品は、カセットステージ4ポートを持ち、ウェハID読取りによる ソート機能を搭載した装置です。 1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■ウェハID読取りによるソート機能を搭載 ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI)

【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…

当製品は、あらかじめ登録した欠陥種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

自動欠陥レビュー装置(ADR)

他の検査システムの欠陥データと連携！8インチウェハ対応の自動欠陥レビュ…

当製品は、他の検査システムの欠陥データと連携するもので、指定の座標の 画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。 自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送。 受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像 することができます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■指定の座標の画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』

第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット

『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモー...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』

稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボッ…

『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

直動式ダブルアームクリーンロボット『LR31000-600』

高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロ…

『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社