異音検査装置『DSVI-MA/MB』　※事例集を進呈中

PR音・振動の検査を自動化＆定量化。簡単な設定で聴感検査を置き換え。ノイズ…

『DSVI-MA/MB』は、マハラノビス・タグチ法（MT法）を活用した検査アルゴリズムにより、 音や振動の良否を自動で判定できる異音検査装置です。 人の感覚に頼っていた音・振動の検査を本装置に置き換えることで、 定量的な自動検査を実現します。 40個の良品データから検査基準を簡単に作成でき、導入後すぐに 異音検査の精度・効率アップが期待できます。 『DSVI-MB』では最大...

メーカー・取り扱い企業： 大王電機株式会社

従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

高精密光学フィルター成膜用マグネトロンスパッタ装置

「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用と…

今後大きな需要が期待されるLiDAR用途など、多層化と高再現性が求められる高機能光学フィルターの安定生産に力を発揮します。 ・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜 ・リアクティブイオンソース搭載による、酸化膜の安定成膜 ・最大４基のカソードの搭...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

精密光学用イオンビームスパッター装置　IBS1400／1600

ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

スパッタリング装置『Star.500-EOSS(R)』

光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！

当社では、独FHR社の『Star.500-EOSS(R)』を取り扱っております。 『Star.500-EOSS(R)』は、光学フィルター成膜用として設計された マグネトロンスパッタシステムです。 成膜用のパーティクルを最小限にするためスパッタアップの方式を採用。 200mm径までのフラット並びに曲面の基板まで対応...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜プロセスの構築など、幅広い研究に対応できる装置です。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向…

コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。 主用途：MEMS製品や高機能光学製品製造 寸法 (L×W×H)： 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m 重量(ロードロック付の場合) ：1,700 - 2,000 kg 最大基板サイズ： 直径150 mm 最大基板...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

小型研究用　イオンビームスパッタリング装置

イオンソースを搭載した実験用装置　精密光学の超薄膜多層成膜に活用可能

ースを搭載した実験用装置です。Veeco社の SPECTOR 相等の能力を発揮します。 RFイオンソースをスパッタ用およびスパッタ用／アシスト用として使用し、OMSまたはOTMソフトを搭載した精密光学の超薄膜多層成膜に適しています。 【特長】 ■イオンソースを搭載した実験用装置 ■Veeco社の SPECTOR 相等の能力を備える ■OMSまたはOTMソフトを搭載した精密光学の超薄膜...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

【遮熱対策】～成膜加工～

基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス！遮熱・保温効果を発揮

積水ナノコートの『スパッタリング加工』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 光の反射、吸収、干渉などの光学調整により、遮熱・保温効果を発揮ます。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

マグネトロンスパッタ装置『scia Magna 200』

最大200mm径基板！ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer …

『scia Magna 200』は、回転式単体マグネトロンの マグネトロンスパッタ装置です。 アプリケーションは、TC-SAW向け温度補償膜(SiO2)、AlN等圧電膜、 光学用高・低屈折膜、絶縁膜(Si3N4, SiO2, Al2O3)です。 また、プロセスはマグネトロンスパッタとなっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

カバーガラス用ARコート、自動車用光学部品に採用されています。 ご要望・ご予算等どうぞお気軽にご相談ください。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

スパッタリング薄膜（フィルム/繊維）　受託加工/受託成膜/開発

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

ます。 また、最大3400mm幅、スパッタ源10台まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■独自の繊維へのスパッタ加工 　...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【成膜加工】静電対策/静電防止にお困りの方必見！

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

タ加工に対応しています。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【技術資料無料贈呈！】粉体スパッタリングとは

表面改質から触媒利用まで！成膜事例付きで密着性が高い粉体スパッタ技術を…

当資料は、エイ・エス・ディ株式会社の取り扱う『粉体スパッタ技術』 についてご紹介しています。 「粉体コーティングにおけるめっき(湿式)とスパッタ(乾式)の比較について」や、 「成膜事例(光学顕微鏡観察像)」「粉体スパッタリング装置外観図」などを 掲載しています。 【掲載内容】 ■粉体コーティングにおけるめっき(湿式)とスパッタ(乾式)の比較について ■応用性の広がり ■粉...

メーカー・取り扱い企業： エイ・エス・ディ株式会社 技術研究所

【特集】さらに小さく、さらに高精度に

新しい世代のセンサー製造のためのソリューションを開発！ より賢く、よ…

の指導の下、ビューラーを含めた欧州の 技術プロバイダーのコンソーシアムは、こうした新しい世代のセンサー製造のための高度なソリューションを開発。 それは、複数のフィルターとレンズや開口部などの光学素子を、 非常に小さなスペースの中で組み合わせる世界初の光センサーです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』

半導体、プリント基板、表面処理に！高い密着力を実現する室温スパッタ装置

形状測定装置 ○銅膜厚測定器 [実験・評価用装置] ○R&D用塗布装置 ○R&D用露光装置 ○硫酸銅めっき液添加剤測定装置 ○酸化膜・金属膜厚測定装置 ○3D加熱表面形状測定装置 [光学コンポーネント製品] ○メタルハライド光源装置 ○露光装置用UV-LED光源 ○露光装置用超高圧水銀ランプハウス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマプレシジョン

研究開発用スパッタリング装置

高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…

■広範囲に分布が良いスパッタ源を標準搭載（±5%以内（SiO2でφ170mm以内）） ■少量生産、夜間自動運転に対応した自動搬送オプションも可能 ■用途 ・有機EL, 太陽電池, 光学部品, バイオ, 半導体・電子部品, 　自動車・樹脂, 特殊膜, MEMS ■代表的な成膜材料 ・誘電体膜ほか 　SiN, SiO2, ZrO, TiO2, 重合膜 ・透明導電膜 　IT...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

イオンビームスパッタ装置『scia Coat 200/500』

最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載！イオンビー…

【アプリケーション】 ■光学用(X線ミラー、バンドパス/ノッチフィルター、反射防止膜) ■GMR、TMR及びスピンと炉にクス用マルチコーティング ■積層型人工多層膜鏡(ゲーベルミラー) ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロ...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

イオンビームスパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…

スト用イオンソース 　　デフォーカスグリッド 　・シングルステージ 　・ターゲットホルダー 　・排気系 　・制御系 【オプション】 　・プラネタリーステージ 　・膜厚計 　　透過型光学モニター 　　水晶膜厚計 　・全自動多層薄膜成膜ソフト...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

【抗ウイルス対策】～成膜加工～

金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制！繊維へのスパッタ加工が可能

材の加工実績が豊富です。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

【取り扱い製品】 ○イオンビームエッチング ○イオンビームスパッタリング ○イオンスパッタリング ○インライン型スパッタリング装置 ○光学薄膜成膜装置 ○ガスクラスターイオンビーム装置 ○加速中性原子ビーム装置 ○円形スパッタリングカソード ○短形スパッタリングカソード ○シリンダー型スパッタリングカソード ○スパッタ用各...

メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社

【抗カビ対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！防カビ対策としても有効なスパッタリング…

応しております。 また、試作機～RtR量産機といったスパッタ装置を多数所有しており、 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗菌対策】～成膜加工～

各種抗菌/抗ウイルス加工、抗カビなど！繊維・フィルムへのスパッタ加工

抑制することができます。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【静電気対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！電磁波シールド、帯電防止、面状発熱体な…

ター・繊維などにも対応。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

サファイア真空覗き窓(ビュ-ポート）

特許的な異質材質溶接技術で溶接しているサファイア真空覗き窓

日揚科技(Htc)、提供している真空覗き窓はサファイアの窓材を採用していますので、優れた光学品質を持っています。製品は光の透過率が80％以上も達します。 特許的な異質材料を溶接技術でステンレスとサファイアを溶接して、良い真空気密性があります。 製品はコバールなどの磁性材を使用しないため...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

『RAMフォース』で従来のスパッタリング技術の課題を解決！

基板へのダメージを60%以上低減！低ダメージ性を維持したまま成膜速度を…

『RAMフォース』は、プラスティックフィルム上へ光学膜やメタル等の 多層成膜をすることができるロールtoロールスパッタリング装置です。 RAMカソード（低ダメージカソード）の性能評価ばかりでなく、 ラボの条件下で自分のアプリケーションをテス...

メーカー・取り扱い企業： 京浜ラムテック株式会社