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静電容量型荷重変位センサ『スマートフォースセンサ』

PR検出部と信号処理部を簡素化し小型化を実現！過負荷に強いので扱いが簡単！

『スマートフォースセンサ』は、金属ばね製造技術と電子制御技術を融合させた静電容量型の荷重変位センサです。非常にコンパクトで、既存のロードセルのように大掛かりな付帯機器が不要。検出部と信号処理部を簡素化し、小型化を実現しました。また、オプションのUSBケーブルを使用するとPC上で簡単に出力を確認できます。【特長】 ■静電容量型 ■アンプ不要 ■過負荷に強いの...
メーカー・取り扱い企業：株式会社アキュレイトシステムズ伊那事業所
卓上型X線検査装置『EMTシリーズ』

PRコンパクトながら高解像度・高濃度分解能。画像処理・計測ソフトを標準装備

『EMTシリーズ』はSOFTEX製マイクロフォーカスX線源搭載のコンパクトな卓上型X線検査装置です。高解像度フラットパネルを採用した「Fタイプ」、高精細デジタルセンサー採用の「Rタイプ」をラインアップしております。【特長】 ■最新型のSOFTEX製画像処理・計測ソフトを標準装備 ■高解像度・高濃度分解能を実現 ■操作は全てパソコン制御のため簡単 ※製品につい...
メーカー・取り扱い企業：ソフテックス株式会社営業本部
厚さ測定機(TME-13型）

本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。

ベルヌーイ方式のハンドを用いて薄物ウェーハの搬送も可能です。搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し段取替え不要での運用が可能です。・TME-07型からカセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となっております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
半導体基板直径測定装置(DMC-03型）

Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準…

・DMC-02型より測定可能なウェーハサイズが増えました。 ※3"、4"、5"、6"に対応可能です。又、多点測定や不透明、半透明にも対応可能です。・従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
厚さ測定機 (TME-11型)

本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です

・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。・P/N判定は接触式にて行います。・検査ステージではウェーハの吸着前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転ユニット全体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
サファイアウェーハ厚さ仕分け機（WTS-05型）

サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う…

仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。...・ウェーハの厚さ測定パターンは直径方向の直線3点です。他の測定パターン（例：クロス5点、直線5点）にも　対応いたします。・測定した厚さにより、あらかじめ指定し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-05型）

φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。 ...・本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。・卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-06型）

φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。...・手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。・ウェーハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるコスレキズ等を防ぎます。・測定したデー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェハ外観検査装置　(MWL-02型)

本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う…

マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。ウェハカセットは2個搭載可能です。...・他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。・必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。・本機械を基本として、お客様専用機にカスタマイズが可能です。・装置上でレシピ作成が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ取出・収納機（WLU-01型）

3種類の動作が行える装置

φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。...・カセット上からか下からの連続動作。また、指定したSLOTからの収納、取り出し動作が可能です。・ストッパ付キャスターにて、使用したい場所へ移動してお使いいただけます。電源も100V一般コ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
キャリア厚さ測定機（CME-06型：半自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置に移動し、[測定]スイッチ操作により測定します。 θ軸方向は作業者のセッティングによります。測定値はカウンタに表示されます。オプションでパソコンに記録することも可能です。 ...・測定位置は自由にセッティング可能です。・接触式・非接触式が選択可能です。・測定位置、測定点数、キャリアサイズ、材質などはご相談...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ厚さ測定機 (TME-07型)

シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計…

・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能です。・測定したデータは、付属パソコンに保存します。...ウェーハ厚さは100μm～1800μmに対応します。（ウェーハサイズによります。）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハシュータ（SWU-01型）

加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し…

ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後にステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。...・ウェーハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェーハを収納できる位置まで下降します。・テフロンカセットは4個セットできます。・左右二列でカセット4個収納ですが、一列でカセット2個収納もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。 ...・カメラによる外観撮像が可能です。(オプション）・Siウェーハ（テープ付含む）の厚み測定も可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
プレート上ウェーハ厚さ測定機 (TME-12型)

セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサ…

測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。...・ワークのセットと取り出しは作業者が行うシンプルな構成の測定機です。・測定データは、付属パソコンでCSV形式での保存とグラフィカル表示が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-04型）

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…

ステージを3段式にする事で、より多くのウェーハ処理が可能となりました。測定データはExcelファイルに自動保存します。 ...・ウェハーの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。・カセット30個まで搭載可能です。25枚入りなら最大750枚までセット可能です。・バーコードリーダ・ラベルプリンタをご希望により付属します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動厚さ測定機（STM-07型）

φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。...φ２”、φ４”またはφ６”サイズ対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
抵抗率測定機（RTS-02型）

抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類

シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。 ...・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。・測定データはパソコンに転送されます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
エッジ検査ハンドリング装置（EHI-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを目視でエッジ検査（チップ・カケ検査）す…

ウェーハを5枚ずつFOSBから検査ステージへ搬送し、検査後のウェーハは同一FOSBの同一スロットへ戻します。ウェーハはエッジクランプ方式で取り扱います。...・検査ステージは作業者のスイッチ操作により回転します。回転数や回転速度は任意で設定可能です。・ウェーハサイズ・傾斜角度はご要望にお応えします。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
非接触式直径測定器(DMC-02型)

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）と…

・非接触にてウェーハの直径を測定します。・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
外観検査装置　(OSI-01型)

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です

カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。...・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動式厚さ測定機（STM-03型）

φ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定装置

本機械はφ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定を行う装置です。ウェーハのセットおよび測定は作業者の手動操作で行います。...・厚さは中心１点と外周8点(TV-9)の測定が可能です。・測定データをEXCELに取り込むことができます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ラップ機　仕込み取り出し装置（LLU-01型）

φ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出

ラップ加工装置へφ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出しを行う装置です。取り出したウェーハは1バッチごとに1枚の厚さ測定を行い、仕上がり厚さのOK/NG判定を行います。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
マスク検査ステージ（QIS-0１型）

石英マスクの表裏面目視検査を行うための治具です

作業者がワークをセットします。樹脂ピンによりワークを保持します。手動にて傾斜・旋回操作ができ、ワークの表裏面の検査が容易に行えます。...ワークセット、回転動作、旋回動作が簡単に行えます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
外観検査装置（ACI-02型）

合否判定装置

画像処理によりシリコンウェーハの表裏面傷を検出し、合否を判定する装置です。 ...・オプションで各種キズ・カケなどの検出に対応します。・インライン化にも対応します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ簡易洗浄機（WCM-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。

・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。...ウェーハのセットは作業者が行います。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動乾燥機（JID-01型）

剥離洗浄したウェーハを乾燥する装置です

・温風でセットしたワーク全体を乾燥させます。・乾燥ノズルの移動範囲は設定可能です。・ワークは2ブロックセット出来ます。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ乾燥機（WCM-02型）

両面研磨後の洗浄された300mmウェーハを乾燥させる装置です

・エアーブローにてウェーハを乾燥させます。・圧縮空気で駆動するため電気は使用しません。...ウェーハのサイズはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ厚さ測定機（TMEシリーズ）

大人気のTMEシリーズ

□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム