DX製品『SmartWORKnavi（作業指示/実績記録）』

PR組立指示・生産指示・検査・点検・メンテナンスなどの業務フローを自由に作…

『SmartWORKnavi』は、作業指示と実績記録が行える業務アプリケーションです。 ◆お客様自身で自由に業務フロー（作業指示/実績記録）が作成可能。 　作業指示は、文章、PDF、音声、動画など自由に選択し登録。 　パソコン専用アプリを使って容易に作成でき、電子化（ペーパーレス化）の実現につながります。 　実績記録は、結果選択、画像・動画の撮影、音声入力、バーコードスキャンなどで登録され、報告...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テッチシステム 営業本部

溶接ワイヤに適した防錆添加剤と各種防錆油

PR溶接性を維持しつつ、ワイヤ保管時の錆の発生を抑制！ワイヤ送給性とアーク…

溶接ワイヤ用防錆添加剤の『ラスミンA-W』の他にも、金属材料の短期防錆から長期防錆まで各種の防錆油を揃えています。 粘度、防錆性、潤滑性の異なる幅広い防錆油、添加剤を揃えています。 ラインナップ製品は自動車、重機、農具などの部品に実績あり。 浸漬、スプレー、はけ塗等の方法で使用が可能。 【共栄社化学の防錆油ラインナップ】 ・ラスミンA-W：防錆添加剤(溶接ワイヤ用) ・ラスミンA：防錆添加剤(...

メーカー・取り扱い企業： 共栄社化学株式会社 本社

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スパッタリング薄膜（フィルム/繊維）　受託加工/受託成膜/開発

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

積水ナノコートの『スパッタリング技術』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 化学繊維、炭素繊維など、独自の繊維へのスパッタ加工に対応しています。 また、最大3400mm幅、スパッタ源10台まで対応可能なスパッタ装置を所有。 ...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗カビ対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！防カビ対策としても有効なスパッタリング…

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 各種抗菌/抗ウイルス加工にも対応しております。 また、試作機～RtR量産機といったスパッタ装置を多数所有しており、 薄膜製品開発/販売、成膜受託加...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【成膜加工】静電対策/静電防止にお困りの方必見！

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 化学繊維、炭素繊維など、繊維へのスパッタ加工に対応しています。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗ウイルス対策】～成膜加工～

金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制！繊維へのスパッタ加工が可能

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。 金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制し、抗ウイルス対策などに好適。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富です。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【抗菌対策】～成膜加工～

各種抗菌/抗ウイルス加工、抗カビなど！繊維・フィルムへのスパッタ加工

積水ナノコートの『スパッタリング加工』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制することができます。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

【遮熱対策】～成膜加工～

基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス！遮熱・保温効果を発揮

積水ナノコートの『スパッタリング加工』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 光の反射、吸収、干渉などの光学調整により、遮熱・保温効果を発揮ます。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポートします。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に接続できるフルカスタム・オーダーメイド製作が特徴 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【静電気対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！電磁波シールド、帯電防止、面状発熱体な…

まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工 　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。 次世代デバイスの開発（強誘電体膜開発、配向性窒化膜形成）に実績のソフト＆ハード ＵＶ－ＬＥＤ用テンプレート用ＡｌＮ膜、センサー用酸化膜、高均一性電極膜、薄膜ヒーター、強誘電体（ＰＺＴ）膜、その他多くの実績...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

成膜装置 スパッタ装置

幅広い実績を誇ります。

【特徴】 〇ソース源には低価格の1”スパッタガンや2”～4”スパッタガンの成膜レシピ（ＰＣ制御）システムを有する装置まで幅広い実績を誇ります。 〇多数のオプションも備えております。 〇基板ホルダー（オプション各種・回転、ＸＹ、加熱、冷却、シャッター機構の追加等） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードし...

メーカー・取り扱い企業： バキュームプロダクツ株式会社

薄膜加工技術の解説付きガイドブック『薄膜Q&A』を無料進呈中！

各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質…

オンプレーティング（PVD）・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる薄膜コーティング受託加工サービスを行っております。 イオンプレーティング部発足以来、約40年に渡って幅広い分野で実績を残してまいりました。 その中で、特にお問い合わせの多い質問をまとめてみました。 各コーティング方法の違いや特徴、コーティングの具体例等、イラストや写真を交えて、 なるべく分かりやすくまと...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製…

ごとがあればまずはご相談ください。 品質管理やフォロー体制にも自信がございます。 また、デモ機にてサンプル処理を実施しておりので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績（抜粋）】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 ■ロードロック式二元...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

定性を兼ね備えた使いやすいタッチパネル方式。ダイナミック・レンジに対応。計測試験プログラムも簡単に設定できます。半導体のサブシステム、MEMSメーカー様でPACEを導入後、大幅に生産効率がUPされた実績多。 〇ゲージ圧力レンジ：2.5kPa～21MPa（負圧校正標準） 〇通信：RS232、USB、IEEE-488、SCPIほか（モデルにより異なります） 〇電源：AC90～130V、AC1...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷却等）で幅広い用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

SiC半導体製造用機能部品

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品…

Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッタリング工程で使用されています。 【特長】 ■タンタルカーバイド ・超高温（2000℃以上）での使用が可能...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現 ８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応 電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

高密度プラズマスパッタカソードを最大4元装備。量産対応の大型バッチタイプスパッタ装置。 立体形状基板の全面コーティングに対応した基板自公転機構を備え、小型機械部品の生産に最適。 実績豊富な各部機構と制御ソフトに加えデータロギングソフト等優れたインターフェースによって優れた操作性と安定した稼動を実現 オプションで従来型ＰＩＧーＣＶＤ機構を装備可能。ＰＶＤ＋ＣＶＤのデュアルタイプ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を 行っています。 【特長】 ■リーズナブルなコストと高いプロセス性能 ■少量生産にも対応可能な高い信頼性 ■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応 ■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで 　プロセス開発をサポート ■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

3インチカソード3元を装備した標準型スパッタ装置をカスタマイズ。 専用ターゲットとグローブボックスを標準装備。 Ｌｉ系複合酸化物　硫化物等ターゲットも供給。有償にて成膜テストに対応 実績豊富な研究開発用スパッタ装置の基本仕様を踏襲、小径ターゲットを使用し大面積（φ１８０）への成膜が可能。 基板加熱ヒーターと基板水冷機構を標準装備し幅広い成膜条件を実現。 強磁性体カソードや同時ス...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

成膜前に基板のイオンエッチングや窒化にも対応。 多元カソードをにより基板に合わせて密着層＋導電性カーボン膜の積層成膜。 同時スパッタによる導電性カーボン膜への金属の添加など新材料開発に対応。 実績豊富な基本チャンバ構成による表面処理用大型バッチタイプとＲ＆Ｄ用のコンパクトタイプの２機種をラインナップ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

立体形状品の外周全面に成膜可能な基板機構と複数の目的を想定した成膜機構（カソード）を装備したスパッタリング装置。 冶金用途やハードコーディングで実績豊富で信頼性の高い機構と最新の成膜技術で従来に無い表面処理を実現。 独自機構でコップやタンブラーなどの凹形状の内面にも成膜を可能とし...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部（カソード・基板台等）が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れます。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」

膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。

昭和真空は、約15年の実績を誇るベストセラー装置SPH-2500のフルモデルチェンジを行いました。 ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」は、従来装置の特徴を受け継ぎつつ最新のテクノロジーを採用し、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

ター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングル...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

ださい。 【特長】 ＜真空成膜装置＞ ■装置の拡張性を考慮 ■経済性なシステムとなるよう設計 ■簡易・小型のものから1mを超えるターゲットサイズも対応 ■実験から生産まで幅広い分野で実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

ポンプ・メンテナンスの改造、移設等、休日対応も承ります。

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております…

お取り扱い内容や実績については資料をダウンロード願います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジメカニック

半導体スパッタリングターゲット製造サービス

半導体スパッタリングターゲット製造のことなら当社へお任せください

製造を中軸に、半導体製造装置の部品などを製造 しています。 半導体製造装置の需要増加に対応するため、設備の増強をして まいりました。 その他、Ti、CuやMgなど様々な非鉄金属の加工実績があります。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【設備】 ■NC旋盤 ■半NC旋盤 ■複合加工機 ■汎用旋盤 ■マシニングセンタ　など ※詳しくはPDFをダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジメタル

枚葉式スパッタリング装置

電波透過膜を高品質に実現する枚葉式スパッタリング装置です。

特長 ■減衰率の低い電波透過膜（不連続膜） ■枚葉式だから自動化が容易 ■国内トップシェアの実績

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

低温装置用銅板プレート

低温環境で使用される、C1020製の低温装置用銅板プレートです。

ることが多いですが、純銅は非常に加工が困難な材質として知られており、加工できる部品メーカーも多くはありません。 銅板加工.comを運営する株式会社アイジェクトは、低温環境で使用される部品加工の実績が多数ございます。他社では断られるような銅板部品であっても、銅板加工.comの銅加工技術や銅部品の管理ノウハウにより、対応可能となります。銅板加工でお困りの方は、まずは銅板加工.comまでお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイジェクト

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。 この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

C1020製 ヒートシンク（金メッキ）

ヒートシンクに金メッキした事例でございます。

の形状にいたしました。 ヒートシンク形状の加工は、マシニング加工によって行われることが多いですが、銅板の垂直精度やピッチなど、要求精度も高くなります。 銅板加工.comでは、様々な銅板加工の実績がございますので、小型のヒートシンクから大型の冷熱機器部品まで対応可能です。 またこちらのヒートシンクは、加工した銅プレートに金メッキ処理を施しております。 銅板加工.comでは表面処理に関...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイジェクト

成膜装置や洗浄装置といった半導体製造装置関連の【組立サービス】

主に半導体製造装置関連の据付、組立、改造、保守などの組立サービスをお請…

お客さまの工場内、または弊社にて機械装置や一部ユニットなどの据付・組立・調整・改造などの作業を行います。 ■大手半導体メーカー工場内で半導体製造装置の組立・調整 　※海外での作業実績もあります。 ■装置の一部分（ユニット）の組立・調整　 ■産業用機械装置の組立・調整 ■お客さま専用機（特注機）の組立・調整 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AGORA TECHNO

シャッター

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用 超高真空領域まで使用可能 バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲 回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能 両端コンフラットフランジ（両刃）の...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

製作実績【2】／半導体製造装置 関連部品

最短半日見積り／金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を…

品チャッキング爪（エコノール／スミカスーパーS1000） スリット部は0.7mmに1/100mm台の寸法公差を指示され、 実際の加工には特殊なメタルソーを用いて技師が工夫し加工しました。 その他、実績多数！ 真空チャック用先端部、ウェハー保管用ケース、精密整列パレット 製品搬送用パレット、基盤測定装置用プローブホルダー ワーク搬送用トレー、洗浄用メッシュ網カゴ　等 カタログ には、更に詳しく情...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【オーダーメイド製作実績】スパッタリング装置

「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」など…

ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『スパッタリング装置』の オーダーメイド製作実績をご紹介します。 「薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置」をはじめ、「有機EL用GB付き スパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有。 デモ機にてサンプル処理を実...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社