ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

『アルマイト処理／加工』※アルマイト処理に関する技術資料を進呈

PR当社の高精度なアルマイト処理技術により、 アルミニウム製品へアルマイ…

試作から量産まで、幅広いご要望に対応いたします。 【特長】 ■耐食性・耐摩耗性・熱放射性などの特性が向上 ■高い電気絶縁性 ■シュウ酸アルマイトは、硫酸アルマイトに比べて表面の粗化を抑制 　また、高Ｓｉ含有のアルミダイカスト部品に対し膜厚均一性が高い ■低反射率化（光学機器・センサー等で不要な反射を抑制） ■抗菌作用の付与 ■アルマイト条件を高精度に管理することで、　膜厚・皮膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社豊田電研

導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

独自高密度スパッタ法　アーク放電型マグネトロンスパッタリング法（ＡＤＭＳ法）によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。 従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。 導電特性と膜の安定性よりエネルギー・バイオセンサーなどの新分野に対応 導電性カーボン薄膜は硬度や表面の平滑性に優れており、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを 採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる 高密度プラズマCVD装置です。 スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

面実装タイプの受動電子部品（抵抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応） 実績豊富なハードと独自の成膜プロセスで小型電...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。 高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。 半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＳｉＣコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

緻密で耐摩耗性と耐酸化性に優れたＳｉＣ（シリコンカーバイド）膜をＰＶＤ…

新開発アークフィラメント型イオンプレーティング法により従来に無かったＰＶＤ法による」ＳｉＣ成膜を実現。 ４００℃以下の低温で緻密で耐摩耗性・耐酸化性に優れたＳｉＣ膜を形成可能とした新成膜技術を採用。 個体シリコンを出発材料としたイオンプレーティング法のためシンプルで環境負荷の少ないクリーンなプロセスを実現。 膜厚や膜質の制御性も高くＣＶＤに比べ、排ガス処理・メン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定の…

硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

マグネトロンスパッタリング装置） 水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１⇒０．０６） 最新成膜プロセスで導電性カーボン薄膜の形成にも対応。バイオ用途から新エネルギーまで幅広い分野で用途を開拓しています。 新開発アーク放電式マグネトロンカソードによる低電圧・低圧力プラズマは成膜だけでなく基板表面のイオン窒化やエッチングにも応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

５G通信の伝送損失を低減できるプラズマ表面改質技術

低誘電率樹脂を粗面化せずに直接めっき、接着剤を使わず直接接合！※技術資…

ラズマ表面改質による官能基導入により、フッ素樹脂、LCP、COP等低誘電率樹脂へのダイレクトめっき、および接着時を用いない直接接合を実現しました。 これにより基材の表面を粗面化することなく、めっき形成が出来ます。また、界面に誘電率の高い接着剤を用いない直接接合ができることで、高周波通信時の伝送損失を低減でき、5G通信システムの実現が可能となります。 【本技術の特徴】 ・フッ素樹脂、LCP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）

高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…

ネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。 従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結晶性ＡｌＮを５００℃以下の低温で形成 電子デバイスから機械部品まで新たな表面機能を生み出す新薄膜形成装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ技術～バイオ・医療への応用

a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能！高密度プラズ…

当社で取り扱う『Corial D250L/Kayen HDRF』により、 プラズマ技術のバイオ・医療への応用が可能です。 人体埋め込み型センサーや医療機器のパッシベーション膜を形成。 複雑な形状のインプラント用セラミック、金属物の 表面除染も対応可能です。 【パッシベーション膜の特長】 ■現在、業界で注目されている、以下4種の膜形成が可能 　・a-SiC:H...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…

精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したＰｔやＲｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。 精密レンズ金型の...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気圧プラズマ装置 Plasma Beam

圧搾空気を用いたアーク放電式の大気圧プラズマ装置 　‐低ランニングコ…

設立され、研究開発・少量処理用の小型モデルを始め、大型処理機まで幅広くプラズマクリーナーを取り扱っております。 Diener社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

プラズマ窒化の革新技術『アトム窒化』

刃物への窒化が可能！アトム窒化とPVDコーティングによる複合硬化処理が…

拡散浸透させ表面硬度を 向上させる処理を指し、使用寿命を2～3倍に伸ばすことが期待できます。 『アトム窒化』とは、プラズマ窒化の革新技術です。 一般的な窒化処理方法では、跪い化合物層の形成を回避することが 困難であるため、化合物層を研磨除去する必要がありました。 しかし工具や金型は複雑形状であるため、研磨除去は困難です。 当技術は化合物層を形成せず、靭性に富む拡散層のみを形...

メーカー・取り扱い企業： 鈴商株式会社 機械工具事業部

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

バタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。 次世代デバイスの開発（強誘電体膜開発、配向性窒化膜形成）に実績のソフト＆ハード ＵＶ－ＬＥＤ用テンプレート用ＡｌＮ膜、センサー用酸化膜、高均一性電極膜、薄膜ヒーター、強誘電体（ＰＺＴ）膜、その他多くの実績...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気圧プラズマクリーナー『RPLU-100Aシリーズ』

ワーク表面の微細な汚れを除去！大気圧下で使用可能なプラズマクリーナーを…

シリーズ』は、導入コストを抑えながら、高品質な表面処理を 実現し、生産性向上が可能な大気圧プラズマクリーナーです。 ウェット洗浄不要。ワーク表面の微細な汚れを除去し、表面に親水性官能基を 形成します。 「ヘッド回転式」と「非回転式」をラインアップしており、強度に難があり、 諦めていた接着や、剥離強度がもう少し欲しいといった場合に非常に有効です。　 【特長】 ■ワーク表面の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レヨーン工業

大気圧プラズマ装置　Plasma Beam RT

2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適なソリュ…

ドイツDiener(ディエナー)社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

導入可能」 ■□■アプリケーション■□■ ■光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど、あらゆる材料の表面汚染物質の除去、表面改質 ■ポリマーの改質、ポリマー表面への薄膜形成 ■高温/化学的処理に不適な歯科・医学材料(器具)の滅菌 ■表面エネルギーの増加による生体材料の表面接着力強化 ■潤滑性向上のためのコーティング ■液体/気体に対するバリアコーティングの形成...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

PILLAR社　大気圧プラズマ表面処理装置『Protean1』

プラスチックフィルムの濡れ性・接着性改善など多用途で活躍。コロナ処理よ…

『Protean1』は、食品包装フィルム、光学フィルム、不織布、 金属コイルなど多用途で活躍する大気圧プラズマ表面処理装置です。 窒素ベースの混合ガスにより、基材の表面に反応性の高い官能基を形成。 フィルムの濡れ性・接着性向上、不織布の親水性・通気性効果改善などが可能です。 国内にテスト機がございます。 お客様のワークに応じて適した条件・ガスをご提案致します。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

Diener Electronic社製『プラズマ処理装置』

幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプ…

体表面の有機物除去、アルゴンプラズマによる酸化膜除去や、 フッ素を利用してのエッチングなど様々なプロセスを実行可能です。 《大気圧プラズマ装置》 プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化。 そのプラズマをエアーやアルゴンガスの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

ドの信頼性と膜質の安定性を実現 ■簡易ロードロックタイプ ・手動搬送機構を装備 ・クリーンで高い真空性能 ・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能 ・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能 ・紫外ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

卓上型真空プラズマ処理装置『PC-0400』

洗浄・表面処理・表面改質・接着強化に対応！ タイマー機能付！

来の洗浄方法では 難しかった表面汚物物質の除去ができる真空プラズマ処理装置です。 金属、セラミック、プラスチック、PDMSなど多くの材質処理に対応可能。 また、洗浄以外にもポリマーへの薄膜形成、表面接着力強化、細胞培養の 前処理などあらゆる試料のプラズマ処理に対応します。 低価格でコンパクト設計なので、実験・研究・開発に適しております。 【特長】 ■表面汚物物質の除去が可...

メーカー・取り扱い企業： ストレックス株式会社

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置 後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。 Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償） 材料（ターゲット）ソフト（成膜テスト）ハード（専用装置）一貫対応 硫化物ターゲット及び...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＡｌＮテンプレート作成装置（配向性ＡｌＮ膜用スパッタリング装置）

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を…

ＵＶ－ＬＥＤの製造の低コスト化に必要なサファイア基板へのＡｌＮテンプレートをスパッタで作成。１００arc／ｓｅｃ以下のＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜を低温（７００℃以下）でスパッタリングで形成。 シンプルかつ安定したプロセスとハイスループット性でＵＶ－ＬＥＤの低コスト化に貢献。 サンプルテストに対応中、高周波デバイスへの展開も開発中。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フィルム用ダイレクト方式大気圧プラズマ装置

フィルムの高速表面改質を窒素雰囲気中で実現。

安価な窒素ガスでも均一放電を実現。フィルムを高速均一処理します。 プラズマ中の活性な粒子が（原子状酸素など）によりフィルムや樹脂の有機分子の結合の一部が切断され、新たな官能基が形成されます。 これにより、表面の接着性や濡れ性を大幅に改善することができます。 【特徴】 ■マルチガステクノロジー 工業ガスメーカーの知見を最大に活かして、あらゆる表面改質に対応。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

大気圧プラズマ装置を利用した電解液の注入時間短縮！

防爆型リチウムイオン電池の製造工程で、時間のかかる電解液の注入含浸時間…

ウンストリーム型）、処理界面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基、アミン基を付与することで、種々のフィルムや金属薄膜とのダイレクトに接着することが可能です。この技術は電極形成時に有効と考えております。 弊社ラボにてサンプルワーク実施しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

プラズマCVD装置『PEGASUS』

低温成膜。高絶縁、ハイバリア、均一性！

『PEGASUS』は、メモリ、パワーデバイス、MEMSへの 絶縁膜、保護膜の形成プロセスに低温で緻密な安定した成膜が可能な 量産対応型プラズマCVD装置です。 インターロック機構による、高い安全性を持ち合わせており、ウエハ 接触部位に非金属を使用しているため、裏面からの汚染を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セルバック

PVD(物理蒸着法)コーティングとは

PVDコーティングとは、物理蒸着とは金属等、融点の高い物質を電気の力を…

一般的にはチタン等の硬い金属物質を気化、プラズマ化させて窒素中の窒素により 更に硬い窒化物を処理品表面に膜として形成させる処理です。 PVD処理は溶かして気化させる物質の種類によって様々な膜を着ける事が出来ます。 例えばチタンを溶かせばチタンの窒化物、クロムを溶かせばクロムの窒化物の膜で出来るといった...

メーカー・取り扱い企業： みのる産業株式会社

【表面処理の新技術】「Aldyne」大気圧プラズマ　技術資料進呈

処理コストが従来の１/１０になり、接着性能も大幅に向上！

術は、数十年にわたってフィルムの押し出しや加工の分野でフィルムの表面処理に広く使用され続けています。 そんな中、新たな機能材の開発・生産において、コロナ処理では対応が難しかった、基材表面に官能基を形成できる「Aldyne」大気圧プラズマ処理技術を開発いたしました。 揮発性有機化合物も不使用で、処理コストが従来の１/１０になり、接着性能も大幅に向上した新技術。 表面処理の新技術である「Al...

メーカー・取り扱い企業： ソフタル・コロナ・アンド・プラズマGmbH　日本支社

大気圧プラズマ装置　Plasma Beam Mini

【低コストでプラズマの導入】試験・研究や少量生産に最適な大気圧プラズマ…

ドイツDiener(ディエナー)社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

再現良く導入可能」 【アプリケーション】 ■光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど、あらゆる材料の表面汚染物質の除去、表面改質 ■ポリマーの改質、ポリマー表面への薄膜形成 ■高温/化学的処理に不適な歯科・医学材料(器具)の滅菌 ■表面エネルギーの増加による生体材料の表面接着力強化 ■潤滑性向上のためのコーティング ■液体/気体に対するバリアコーティングの形成...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】

使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水…

ステージサイズはφ100mm～φ1000mmで自由に選ぶことができます。 一般的なセラミック・金属・樹脂の親水化・接着強化の他、PTFE(テフロン)の処理や各種素材の撥水処理、エッチングや薄膜形成などにお使いいただけます。 オプションでの冷却機構やガス系統追加等のオーダーメイドも承っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

大気圧プラズマ処理装置　リモート式

アジア有力企業において多数の実績あり。

ワーク表面の改質(接合強度の向上、密着性の向上） 　対象ワーク表面の有機物除去 【特徴】 ■電子・イオンのアタックがなくラジカルのみでの化学的な処理のため処理膜へのダメージを低減 ■電極形成後の導電フィルム・ガラスの処理に最適 ■各種反応ガスの使用が可能: CDA(Clean Dry Air), N2, O2,Ar等 詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ハイテク