静電気除去シート『コンティニューム』

PRエアコンのフィルターに設置するだけで余計な電力消費を抑制。導入実績多数

『コンティニューム』は、特殊天然鉱物の働きにより 常にマイナス電位を維持する静電気除去シートです。 エアコンの静電気障害によって低下する熱交換効率を改善し、 コンプレッサーの稼働を抑えることでエアコンの電気代を回復します。 フィルターの大きさに合わせてハサミでカットできるので 様々なタイプのエアコンに手軽に設置可能。 上場企業250社を含む、約3300事業所で導入されています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オネスト

装置に潜む課題を直動ガイドで解決！『ミリオンガイドシリーズ』

PR装置で発生する様々な課題と解決方法を掲載した採用事例集を無料進呈中！

直動ガイドを使用する装置には、様々な課題が潜んでいます。 【例えばこんな課題が潜んでいます】 ●剛性不足 ●ガイドの複数本使いによるスペースの不足 ●もっと精度の高い位置決め これらの課題をアイセルの『ミリオンガイドシリーズ』なら解決できます！ 【ミリオンガイドシリーズの特徴】 1.高剛性 “点接触から線接触へ”高精度な幅広ローラを採用しています。 2.高精度 ...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400F』

独自のLIA方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔に超高速、高品…

『VC-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔への超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作に好適。LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)使用により、高速/高精度/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400G』

独自のLIA方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速…

『VC-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作に好適。LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)使用により、高速/高精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・最大100枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～8インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策 　・シンプルメンテナンス 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・～56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～12インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策 　・シンプルメンテナンス 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

プラズマCVD装置

プラズマCVD装置

● トレーカセット方式を採用。 　 1. 搬送時間短縮により高スループットを実現。 　 2. トレー変更によりφ2インチ〜φ8インチのウエハーに対応可能。 ● 真空カセット室を採用。 　 1...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構：非接触搬送装置「フロ－トチャックSAＣ型」には吸引力を生じるエゼクタ効果を高めるためにコアンダー効果を付加させまし...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加さ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…

の大量生産のニーズとオペレータの 安全にも配慮しました。 【特長】 ■高い生産性：毎時120枚の処理が可能 ■重金属汚染対策：ウェハ裏面からの金属汚染を防止 ■高性能：A63型ヘッドを採用し、良好な膜厚分布を実現 ■メンテナンス性の向上：短時間で安全にメンテナンスが可能 ■フットプリント：トレー枚数を最小化し装置面積の小型化に成功 ■安全性：インターロック、装置機構の好適化によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

立体物用プラズマCVD装置

高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用していま…

『立体物用プラズマCVD装置』は、豊富な蓄積データを有し、 独自のプラズマ制御方式を採用しています。 チャンバー容積は1m3。 多段式大量一括処理可能で、高い汎用性を備えたシンプルな構造です。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作可能ですので、 ご用命の際はお気...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ローコスト高精度圧力センサー

コンパクトな構造・高精度にして低価格

【特徴】 ○圧力感知部にSUS316Lを採用しました。 ○耐蝕性に優れ液体などにも幅広く使用可能です。 ○コネクタ接続方式の採用により取付時間の短縮化しました。 ○圧力センサーの交換も容易です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

最も適した処理剤の選定ができます。 　また、弊社横浜研究所の現地分析により、 　フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】 　圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、 　装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 　これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 【管理性】 　剤破過検知器（ブレイクモニター）のサンプリング位置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

密閉式チャンバー内で、ウェハを成膜面を下に向け裏面を吸着した状態で加熱させ、プロセスガスを下部より吹き上げながら成膜するFace-down成膜方式の採用により、低パーティクルで安全かつ高品質な成膜を実現しました。特許取得済のウェハ反り矯正機能により、SiCウェハの様な反りの大きなウェハでも確実に吸着でき、優れた膜厚均一性を得ることが可能です。 ウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

100Hz)を実現 5) AlGaAs/GaAsなどの低格子不整合材料系にも対応可能 6) 数mmまでの厚膜ウェハに対応可能 7) 高い安定性とアライメントフリー測定を実現 8) 白色光源の採用、反射率の変化に影響無し、露光時間の調整が不要。 9) ウェーハの平坦性に影響せず、パターニングされたウェーハでも測定可能 10) 他のソフトウェアとデータを共有可能。 仕様 1) 曲率...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用…

するために、大型ディスパージョンヘッド(ガスノズル)と超高速ダブルアーム搬送機構を搭載しています。 また、太陽電池用薄ウェハ対応のため、特殊ウェハホルダー・ランプ加熱機構・多段ベルヌイチャック等を採用しました。 ●装置サイズ(mm): 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H) ●ガス種: SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2) ●成膜温度: ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

直流電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

直流(充電）電源です。 真空プロセスから、各種バイアス用電源、集塵機などにも採用されている電源です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…

成膜有効幅760mmのガスヘッド2基を搭載し、吸着式加熱ステージの採用により、温度制御性±3％以内を実現しました。 4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上で成膜が可能で、膜厚均一性10％以内を確保できます。 ●装置サイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

板加熱ヒーターは半導体・電子デバイス等の成膜工程での基板加熱用に開発されたハイスペック基板加熱ヒーターです。 トッププレートに熱伝導性・熱放射率・耐サーマルショック・絶縁性に優れた窒化アルミを標準採用、プレートを短時間で超高温まで昇温します。 ヒーター材質はC/C、SiC3、TIC3の３種類を用意。応用範囲は幅広く、装置側の様々な設置条件に対応、多数の製作実例よりご要求にマッチした製品を供給致...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応／RoHS準拠 ■接続継手の選択が可能 ※『730シリーズ』のカタログはPDFダウンロードよりすぐにご確認いただけます。 　そのほかご不明点はお気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ポイントタイプ液漏れ検知器『リークラーン OD-7』

液漏れを早期に発見し事故を最小限に防止！油、有機溶剤検知器にＲｏＨＳお…

わせて使用する機器です。 一般工場・各種プラント・火力、原子力発電所等の機器や、配管からの液漏れを早期に発見し、事故を最小限に防止することができます。 【特徴】 ■検知方法は抵抗変化方式を採用 ■液漏れと断線の警報を各々別の外部接点から出力することが可能 ■対象液体や液漏れ状態に合わせて液漏れ検知感度調整可能 ■自己診断機能付き ■RoHS対応 ※詳しくはお問い合わせ、また...

メーカー・取り扱い企業： ラポールプラントエンジニアリング株式会社

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困っている・・ といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では流路のお悩みをトータルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

インガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

常圧CVD装置「AMAX800V」

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…

ンガスの反応特性を応用したUSG、PSG、BPSG等の絶縁膜およびシリコン基板の裏面保護膜を形成する連続式常圧CVD装置です。 搬送機構の改良により高スループットを実現しました。 SiCトレーの採用により重金属汚染は発生しにくくなり、また熱による経年変化が少なく安定したプロセス性能が得られます。 【特徴】 ○高スループット性 ○優れた成膜特性 ○メンテナンス性 ○金属汚染低減(オ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

ポンプライフを向上させ、装置の安定稼働率を向上させるツールの一つになります。導入も簡単で、既設のＮ２導入口があればそれを活用でき、排気配管の途中に組み込む事も出来ます。某ポンプメーカーでもオプション採用され特定ユーザー向けに指定仕様にもなっていますので効果は必ず出ると思われます。ヒーターの漏電検出機能は内蔵されており漏電ブレーカ等を使わなくても最低限の安全対策は施されております。窒素流量は標準で３...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

ＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２ シリーズは2回ろ過プロセスを採用、ろ過チャンバーの長さを十分利用できる。 アメリカから輸入したガラス繊維ろ紙を使用、隙間分部が均一、ろ紙厚く、透過性よく、差圧低く、MOCVD装置の保護機能もある。 優れる強度があり、耐高温...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

枚葉式常圧CVD装置『A200V』

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを…

『A200V』は、少量多品種から大量生産までカバーするφ150・φ200mm ウェーハ対応の枚葉式常圧CVD装置です。 フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル 制御、埋め込み性能を発揮し、SiH4をベースとしたシリコン酸化膜を成膜。 また、TEOS-O3、SiH4-O3もオプション対応が可能な装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置

厚膜形成用プラズマCVD装置。高速かつ低ストレス（特許出願中）

● 独自のセルフバイアス法の採用により高速（3000〜5000Å/min）かつ低ストレスの成膜が可能。（特許出願中） ● 室温〜350℃程度の低温成膜が可能。また、プラスチック上への成膜が可能。 ● 反応室に独自の...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

あるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所