【シロキサンフリー】半導体チップ搬送ケース『ゲルベースVタイプ』

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り 安全に保管・搬送！シロキ…

★電子機器トータルソリューション展に出展します★ JPCA Show 2024 2024/4/24(水)～26(金) 10:00-17:00 パシフィコ横浜　展示ホール 小間番号：6H-10 ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。 搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。 粘...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクシール 本社

チェーンレス・樹脂製連続バケットコンベヤ『SBP型スネコン』

PR金属粉の混入を防止します！食品、化学薬品、電池原料など付加価値の高い搬…

『SBP型スネコン』は、従来型のチェーンにバケットを取り付ける方式ではなく、バケット自体をチェーンにしたチェーンレス・バケットコンベヤです。 従来のチェーン式バケットコンベヤと比較して1/3程度の動力で運転が可能です。 樹脂の特性を生かしたバケットは、搬送物の付着が少なく、耐食性、 耐薬品性等に優れた効果を発揮します。 また、各々のバケットが密着連結しているため搬送物の損傷や漏洩が...

メーカー・取り扱い企業： エステック株式会社

新高濃度搬送システム　【コンボイ”Convoy”】

難しい粉が、諦めていた粉が、能力が不足していた搬送が、よく閉塞する搬送…

従来の搬送能力で満足出来ない方、増産したいが搬送能力がネックになっている方、よく搬送ラインが閉塞してお困りの方に朗報です。 特許取得！！！ 今までの空気輸送システムの欠点を克服した画期的な搬送システム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

【動画で紹介】半導体ウェハ用ワイヤーソースラリー調合設備

人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合…

本製品は、半導体ウェハをインゴットの状態から、ワイヤソーにより切断する際に、必要となるスラリーの製造を目的とした設備です。 ２台の撹拌設備、１台の貯蔵設備、３台のコンベア、オイル搬送用のポンプで構成され、粉体搬送による発塵を防止するための集塵機も搭載しています。粉体搬送は自動で行い、モータ、ポンプ、ロードセルなどは非防爆仕様で、省力化に配慮をしています。 登録されたレシピに従...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【特長】 ■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い） ■反りウェハの搬送も可能！ ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ピックアップ搬送装置付きサーボダイセット　SSD500-SC-P

ワークの搬送装置で半オートメーション化を実現！搬送装置はフレキシブルな…

『SSD500-SC-P』は、プレスの下型が前後にスライドする機構を設け、 さらにワークの搬送装置を設置した専用半自動加工装置です。 材料をセットし運転開始スイッチを押すと、搬送装置が材料を ピックアップし金型（下型）へ搭載、下型はプレス位置まで スライドして、打ち抜きを行った後に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関口製作所

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

基板搬送ケース 　GHB-6755

LCD（＝液晶ディスプレイ）・OLED（＝有機EL）用　基板搬送ケース…

信頼と、高い評価得ているアルポリケースGHB-6755 ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■ガラスサイズ／Glass size(mm）　670×550×t0.7 ■投入枚数 ／S...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

基板搬送用　オールインワンケース（アルポリケース）

基板搬送用　オールインワンケース（アルポリケース）

た各種基板を効率良く収納できる オールインワンケース ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■ガラスサイズ／Glass size(mm）　1100×1300×t0.7 ■投入枚数 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

当社ではお客様のニーズや仕様に合わせて基板搬送用のケースを製作する 『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』を提供しています。 基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、 クラス100以下の清浄度を保持する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…

半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理を対応致します。 ■現場(現地)での点...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

クリーンルーム内の重量物搬送に！【エアーキャスター】

エアーの力で重量物を浮上させ、ごくわずかな力で搬送できる装置です！国内…

床面との間にエアーの膜を作ることにより、重量物を浮揚状態とし、ごくわずかな力で移動搬送することができます。 【特徴】 ■摩擦抵抗が約１／１０００。１０００Ｋｇの重量物もわずか１Ｋｇの力で移動できます。 ■生産ラインの変更、機械の位置決めが思いのまま。 ■クリーンルーム内で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関西加工機商会

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構：非接触搬送装置「フロ－トチャックSAＣ型」には吸引力を生じるエゼクタ効果を高めるためにコアンダー効果を付加させました。 ベルヌーイ効果と併せて高効率、気体消費量の...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハーケース／ウェハー容器『プロトスキャリア』

安全且つ効率的な半導体ウエハ搬送容器！ラインアップ豊富。様々なウエハー…

『プロトスキャリア』は、半導体ウェハーを安全かつ効率的に搬送できる製品です。 当社が培ってきたウェハー搬送のノウハウを基にデザインした梱包容器、 低パーティクル・低イオン素材を用いたスペーサー及び緩衝材を使用。 全ての材料に静電気対策が施されて...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。 液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への...

メーカー・取り扱い企業： 大谷技研株式会社

ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」

カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変…

ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 　・4インチ～8インチウェハ用移載機 　・CR内でのウェハの自動移載...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

シート送り出し・搬送・積層装置

くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する

アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置である フィルム送出部では「空気流による送出機構」（特許）を採用し、...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャックＳＡ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

吸着コレットを改善して、半導体チップを確実に搬送

多彩な先端形状に対応するオルテのコレット。独自で複雑な設計や加工も可能…

吸着コレットは多様な材質や形状に対応し、ピックアップツールとして利用されます。 ゴム、樹脂、金属、セラミックなど、要件に応じた素材を選択できます。 デバイスへの傷対策や吸着力向上に貢献し、交換が容易で経済的です。 さらに、弊社の設計ノウハウによりカスタム設計も可能です。...交換式ゴムコレット 多様なアプリケーションに対応する交換可能なピックアップツール。デバイス保護と吸着力向上に貢献。安...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

基盤搬送用アルポリケース『GHB-9273』※TFT・PDP対応

G8まで非接触！当社『ケース管理システム』でエコマーク取得、保管・維持…

『GHB-9273』は、振動・衝撃・落下・結露テスト、および、 トラック輸送テストをクリアした高耐性の基盤搬送用アルポリケースです。 大型ケースに対応し、G8まで非接触。最大40枚の基盤収納が可能です。 また、当社の『ケース管理システム』を利用することで、 エコマークの取得も可能です。 『ケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

非接触である。 微小なワークを非接触にて搬送可能。 傷、汚れの付着がない。 損傷がない。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第８世代大型ガラス基板（2200mmｘ2200mm）およびＰＤＰ大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型

50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「5…

「５０μm厚　超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は非接触搬送装置は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 　気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接超薄型ガラスに衝突し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

１０Gガラス基板非接触搬送装置

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所