旋回 | イプロスものづくり

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツレダース社製の高速ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゴーショー

SSY-10010　EFEM

EFEM

搬送物 150mmガラスウェーハ処理枚数 140枚/h (装置側の処理時間は含みません) 動作範囲ワーク中心距離旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 反転軸 672mm 335度 500mm 180度搬送速度 (平均速度) アーム旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 550mm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ロボット仕様被搬送物～300mmウェーハ機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプ 2相パルスモータ動作範囲※ アーム第3関節中心旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 300mm 搬送速度(平均)※ アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 250mm/sec 120度/sec 70...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

被搬送物～450mmシリコンウェーハ動作範囲ワーク中心距離旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) 940mm 340度 300mm 2000mm 搬送速度 (平均速度) アーム (R軸) 旋回角度 (θ軸) ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

○被搬送物～100mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) ○動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm 360度 150mm ○搬送速度（平均速度）アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm/sec 500度/se...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

クロプレートも対応可）搬送物保持エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式機械構造形式水平多関節型制御軸 4軸モータタイプ全軸ACサーボモータ動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 555mm 335度 300mm 搬送速度アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 250mm/1.5sec 335度/2.0sec 3...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

マスク検査ステージ（QIS-0１型）

石英マスクの表裏面目視検査を行うための治具です

作業者がワークをセットします。樹脂ピンによりワークを保持します。手動にて傾斜・旋回操作ができ、ワークの表裏面の検査が容易に行えます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御・アブソリュートエンコーダ搭載・バッテリ…

mm ウェーハウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持機械構造形式水平多関節型制御軸 4軸モータタイプステッピングモータ（クローズドループ）動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 760mm 335度 300mm 搬送速度アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 730mm/sec 240度/sec 200mm/s...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコーダ付き2相パルスモータ動作範囲アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 20mm 搬送速度アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/sec 450度/sec 40mm/se...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」　◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載　◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去　◎スクラブブラシは、ナイロン刷毛ブラシ or PVAブラシを基板表面状態で選択 ■各種オプションで多様なニーズに対応　◎...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

上記の効率の良い負圧発生および昇圧作用を有するため、ナンバーワンの高負荷・低空気消費量を実現しています。（Ａ）「フロートチャックSAC型」シリーズの性能は、同種類の非接触搬送装置である（Ｂ）旋回流方式」および（Ｃ）従来型ベルヌーイチャックに比して、同じ供給空気量であれば、２～６倍と格段の懸垂力を発揮しています。気体垂直噴流方式「フロートチャックSAC型」シリーズの開発により空気...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することでスループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

PM 被搬送物～300mmウェーハウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持機械構造形式円筒座標型制御軸 4軸モータタイプ 2相パルスモータ動作範囲アーム第3関節中心旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 200mm 搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 300mm/sec 100度/sec 100...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着 ○機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸 ○モータタイプ全軸2相パルスモータ ○動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 552.7mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 610mm/sec 340度/sec ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着 ○機械構造形式円筒座標型制御軸 4軸 ○モータタイプ全軸2相パルスモータ ○動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 575mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 570mm/sec 220度/sec 20...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

M 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式真空吸着保持方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコーダ付き2相パルスモータ動作範囲アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 135mm 搬送速度アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/sec 450度/sec 170mm/...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル