洗浄ユニット | イプロスものづくり

PRIP69K 防水・防塵　ベアリング内部に水が入らない

・IP69K　防水・防塵・頻度の高い高圧洗浄に耐える設計・食品ライン用に開発された新設計・シャフトに傷をつけいないオクロックシステム搭載・バクテリアの発生を防止するハウジング設計（スタンドオフ）・取付面より12ｍｍのクリアランスを設けたSUS316ハウジング・無給油（メンテナンスフリー）グリスアップ不要・NSF認証　H1グリス使用・ハウジングにQRコードを刻印　トレ...

メーカー・取り扱い企業： UEK株式会社

簡易型マスク洗浄装置｜簡易洗浄ユニット

簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニ…

お客様のご使用環境から必要なユニットをチョイスしマスク洗浄を行えます。 ■主な特長・7インチまでのマスク洗浄に使用できます・研究開発用途や少量のマスク洗浄に最適・既存の装置と併用し必要なユニットを選択・設備投資で予算が厳しい場合にもおすすめ ※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。 ...各ユニットは『ケミカルユニット』『スクラブユニット』『...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用されるダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

有機物・金属イオン・異物を除去可能　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用　・機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備　・洗浄面への洗浄液高速拡散　・ウォーターマークレス乾燥【用途】　・フォトマスク/レチクル/マスクブランクスメーカーでの製品洗浄　・半導体デバイスメーカーの露光前レチク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能（750/1000/1500/2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ搬送…大気3軸クリーンロボットクリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター洗浄…ブラシ、MS標準装備オプション…高圧ジェットノ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション（耐薬品/メタルコンタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機「ニューウオッシャマン」

■薬品を全く使用せず、常温で洗浄・殺菌・脱水の同時処理が短時間で可能 ■超振動α-攪拌機の振動流動による完全洗浄・洗浄時間はタイマーにより制御 ■酸化チタン製の振動羽根の光触媒機能による短時間殺菌処理・ほとんどの最近に対応 ■殺菌・洗浄後、高速回転による遠心脱水・脱水時間はタイマー制御 ■必要に応じて洗浄・殺菌・脱水工程を反復操作可能。...超振動α-撹拌機による洗...

メーカー・取り扱い企業：日本テクノ株式会社

精密洗浄用ブラシガン

精密洗浄用ドライクリーニングガン！　パルスエアーとブラシ振動のダブル効…

◆特殊ノズルが回転しながら噴射することにより発生するパルスエアーと、パルスエアーの回転により振動するブラシのダブルの効果で基板を強力に除塵します。 ◆エアーだけでは取りきれなかった小さな穴の削りカスも、パルスとブラシの振動で掻き出します。 ◆ブラシは毛の１本１本まで細かく高速振動するので、力を入れて押しつけなくても汚れを落とします。 ◆バリエーションとして自動ラインに組み込めるユニットタイプ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ガリュー

株式会社プレテック　会社案内

高周波・超音波洗浄を事業領域として産業と生活を支えるマザーツールを提供

のつく品質を作る技術 →様々なソリューションを提供し、工場の生産効率向上と環境負荷低減の両立を実現【事業内容】 ○超音波洗浄機器の製造及び販売 →ファインソニック（バスタイプ高周波洗浄ユニット） →ファインジェット（スポットタイプ高周波洗浄ユニット） →ファインスコール（バー型高周波洗浄ユニット） →ウルトラソニック（超音波洗浄ユニット） →スイープソニック（超音波洗浄ユニッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

チップ洗浄機

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

【参考仕様】　■リングフレームサイズ：200mm、300mm 　■構成要素　　→ローダ・アンローダユニット　　→搬送ユニット　　→洗浄ユニット

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...Ｒ＆Ｄ用途に最適なコンパクトなスピン洗浄装置です。チャックテーブルの交換により多種多様な基板を洗浄できます。＜主な仕様＞対応ワークサイズウエハ　φ8インチ（MAX）マスク　6...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

フィルム洗浄装置（ロールtoロール）

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

低速搬送によるディップ処理で処理部をコンパクトにすることが可能。純水使用量やフットプリントを大幅に低減できます。 ...【ユニット構成】処理幅：200～400mm 厚み：75～150ミクロンエキシマUV 超音波洗浄ブラシ洗浄 2流体シャワーエアーナイフ乾燥 IR乾燥 ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

キャリアレス洗浄装置

全自動キャリアレスウエハー洗浄装置

搬送キャリアよりウエハーを抜き出しウエハーのみを洗浄する事が可能なキャリアレス式洗浄装置です。...多種多様な薬品仕様で製作可能。装置寸法も設置スペース合わせ検討致します。キャリアストック数、温水加熱器、薬液供給ユニット濃度計等オプション追加可能。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイ・エムテクノロジー京都本社

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な　体制となっており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...【特徴】 ■装置寸法　 2700W×1500D×2000H　(200WCBT) 　 3000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

成膜装置や洗浄装置といった半導体製造装置関連の【組立サービス】

主に半導体製造装置関連の据付、組立、改造、保守などの組立サービスをお請…

１．主に半導体製造装置関連の組立、据付、調整、改造、保守を　　派遣、または請負にて対応します。　　また、国内に限らず、海外での組立サービスも対応可能です。２．半導体製造装置に限らず、ユニットや部品等の組立などもお任せ下さい。　　お客さまからの部品支給、若しくは弊社での部品加工後に組立・調整を　　行い、納品することも対応可能です。 ...お客さまの工場内、または弊社にて機械...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AGORA TECHNO

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。

◆薬液対応ファインジェット＆EDジェットにより高い洗浄能力を実現 ◆非接触洗浄(プラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ◆１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ◆完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ◆機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と自由度の高いレイアウトを実現...ウェハー横置き、枚葉式ファインジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

高田工業所製超音波カッティング装置『CSX-400シリーズ』

SiC・LTCCなどの難切材からガラス・樹脂などの複合材など多様な材料…

ートアライメントによる処理時間短縮！（高田工業所比60％削減）・大きな全面扉による日常メンテナンス時間短縮！・セミオート（CSX-400）、フルオート（CSX-401）を選択可能！・洗浄ユニットを標準搭載（CSX-401）！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

半導体関連装置　バッチ式洗浄装置

5,6インチ共用カセットレス処理

架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。...【特徴】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付 ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：セファテクノロジー株式会社京都事業所

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

真空容器製作事例を紹介。真空設計製造ならお任せください！...真空容器製作事例を紹介いたします！！《フレキシブルな受注範囲》チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含むユニットとしての対応が可能《幅広い製作範囲》材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》・酸洗浄：低コスト・電解研磨：SM...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含ユニットとしての対応が可能 ...真空容器製作事例《フレキシブルな受注範囲》《幅広い製作範囲》材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗浄：低コスト 2、電解研磨：SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様　興研KOACH】興研

◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る

■FERENA※の特長 ◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る ◆ナノファイバーの存在比率が高い ◆フィルタとして有効なランダム構造 ◆耐水・耐油性に優れる ◆耐熱性に優れる ◆ボロンが出ない ※FERENA(フェリナ)とは、オープンクリーンシステムKOACHのプッシュフードに搭載されているフィルタです。FERENAにより、KOACHは清浄度ISO...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

【フロアーコーチ自社大型ショールームのご紹介】興研代理店

■大阪府堺市に新規開設■国内最大級の大型ショールーム■実際の作業時の清…

大阪府堺市堺区に、KOACHの大型ショールームを新規開設(関西国際空港から高速経由25分、阪神高速湾岸線三宝ジャンクション直近) フロアーコーチTz(ガイドスクリーン長20m スリープモード付き)の実機あり ■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

【KOACHショールームのご紹介】興研株式会社代理店

■ISOクラス１のクリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前予約制

■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆プッシュプル気流にて同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない気流（作業、製品・機器による清浄度の低下なし） ◆数分で形成する高清浄度のクリーンゾーン ◆抜群な清浄度の回復力※ （一旦汚れても数分で元の清浄度に戻る） ※パーティクルカウンター用意...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

空気加熱ヒーター　PF100

はんだ付け予熱、樹脂硬化、洗浄後の乾燥、その他非接触の加熱工程に！25…

空気加熱ヒーターユニット。温度コントローラーとの組合せにより、簡単に非接触での加熱が可能です。加熱工程、乾燥、硬化、はんだ付けなど　幅広いアプリケーションに摘要可能です。設定温度範囲、流用、取付アングルなどは各仕様により製作が可能となっています。...温度設定範囲：50-250℃ 送風排出免責：100×100(mm）取付アーム距離：250mm 設置方法は自立型、他加熱気体：空気...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

半導体　液晶半導体製造関連　プラスチック関連

半導体、液晶関連機器製作いたします。（筐体塩ビ巻・槽、部品製作） …

困ってる・探してる・アイデアが有る・何処かに無いか・どうしたら良いか・話を聞いて欲しい直に欲しい・代替品が無いか・接着出来ないか・溶接出来ないか・直したい・改良したい、見てほしい、樹脂と金属の組み合わせ、試作品、こんな人はお問い合わせください。...【製作実績】 ○洗浄槽・エッチング槽・筐体塩ビ巻・樹脂製ハンガーロボット・テフロン槽・ＰＥＥＫ部品 ○ＰＶＤＦパイプユニット・テフロンチューブ熱...

メーカー・取り扱い企業：有限会社コスモプラスチック工業

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管にて重要な欠陥であるフランジ部のキズなど、出荷前の外観検査にて除去し、リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

『石英異型管ヒータ』

ゾーン分割やユニット設計が可能！ワンランク上のクリーンな環境に対応しま…

『石英異型管ヒータ』は、金属発熱体を石英ガラスで封止することによりコンタミを防止するヒータです。帯状発熱体を使用することで加熱面積が広く使え、さらにゾーン分割やユニット設計ができます。食品及び水の加熱に使用できる「オーバルタイプ」をはじめ、建材用のガラスの加熱に使用できる「フラットパネルタイプ」や、導体の洗浄槽加熱に使え「ラジアントタイプ」をラインアップしています。...

メーカー・取り扱い企業：貞徳舎株式会社