メンブレンタイプフィルター『アンドロメダシリーズ』

PR非対称構造で高流量・低圧損・長寿命！超純水製造にも！非対称構造のポリエ…

『アンドロメダシリーズ』は、 非対称構造のポリエーテルサルフォンメンブレンフィルターです。 非対称構造のため空隙率が高く、高流量・低圧損・ロングライフを実現。 流出物が少なく、少量のリンスアップで非抵抗値が回復します。 超純水製造アプリケーションや、プロセス水の無菌化に適しています。 また、スチーム滅菌対応タイプもラインアップしています。 【特長】 ■高流量 ■低圧損 ...

メーカー・取り扱い企業： ワイエスフィルタージャパン株式会社

空気圧駆動圧力制御弁　AS260【サーボミニコンポ】

PR空気圧駆動　アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁

当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適した とても使い勝手の良いお勧めの新製品です。 精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化した圧力制御弁 ・電気信号に比例してパ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

モデルＵ７０９シリーズは、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

微流量調整バルブ（微流量調整弁）　『H-1300シリーズ』

ステム角度1°、3°、5°から選択可能で、よりお客様のご要望に合わせた…

H-1300シリーズは、中圧計装用流量調整バルブ（流量調整弁）です。 小型でコンパクトな構造のバルブで、耐用年数が長く、低流量・中流量のフローを正確に制御できます。 ストレート型、アングル型がありパネルマウントが可能。 必要な流量...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

【Sonaer】ソニア社製低流量型超音波スプレーノズル

2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に！

【Sonaer】ソニア社製低流量型スプレーノズルノズル ミクロン・サブミクロンの粒子にして無駄なく小さな部品に焦点を当てることができます。 ノズルはフラットとワイドスプレーチップの2種類があります。 これらのノズルはピンポイ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

マクミラン　薬液用流量センサ　Ｍｏｄｅｌ　１０６シリーズ

１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴ…

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　小型薬液流量コントローラ　Ｕ８０３／Ｕ８０４

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最…

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７〜５０ｍＬ／ｍｉｎから最大レンジは１００〜１０００ｍＬ／ｍｉｎまで５種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）と比例制御バルブの組み合わせによ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』

1つのバルブでオン/オフ と微流量制御を行うことができます。 2 i…

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』は、流量調整バルブ（H-1300シリーズ）とボールバルブ（H-800シリーズ）を１つにまとめた、今までにない画期的なバルブです。 １つのバルブで流体の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサＵ７０１／７０２シリーズ

薬液流量センサＵ７０１／７０２／７０５／７０６シリーズ低粘度の液体を１…

この製品シリーズは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

作ってしまうケースもあります。 それを改善する為にこの超音波スプレーノズルされる事が多々あります。 特長 ・液体を加圧せずに供給出来る為、消費電力が低い（エネルギーコストが安い） ・最小流量から流量に関係なく均一霧化 ・全流量域での粒子径がほど一定 ・目詰まりしにくく、作業場の安全性が高い ・粒子の自己速度が遅い為、塗着効率が良い ・操作周波数は45~100lHz（機種により異...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

精密流量コントロールバルブ

酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精…

流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

ワッティーが提供する『WEXシリーズ』は、継手や配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最大流量100L/min、 最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備しており、結線も簡単です。 標準継手はUJR 1/4 ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・ス…

設計されたステンレス・スチール製です。フラット・フェースデザインのため付け外しの際に液だれがなく、クリーン環境汚濁防止、高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出防止に有効です。また、低圧力損失かつ高い流量特性により、システム全体のエネルギー効率向上にも貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： セインジャパン株式会社

水量コントローラー「FCV」

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自…

■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

高濾過精度オールメタルガスフィルター

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

大流量セラミックガスフィルター

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラ…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○使用可能流体はN2、O2、Ar（バルクガス）です。 ○推奨流量は500〜3,000L/min（60〜180m3/Hr）です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

微少流量超小型セラミックガスフィルター

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されて…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は10L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○最高連続使用温度は120℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

デモ機貸出中！　高精度スプレーコーター『API-40RD』

吐出精度１％以下！成膜プロセスを効率化する卓上型スプレーコーター！デモ…

『API-40RD』は当社独自の流量制御技術DLCSと同等精度の流量制御（１％以内）を実現した 卓上型高精度スプレーコーターです。 【API-40RD 製品仕様】 ・装置寸法：850(W) x 800(L) x 750(H)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ

半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…

CON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品：温度変化に強いADROITシリー...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

テフロン製ベローズポンプ

使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致…

00%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに適したポンプを提供致します。 ◆使用材質：PTFE、PFA、Polypropylone（非接触部分） ◆最高使用薬液温度：210℃、高温薬液での高流量出力...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

の加工後の付着した油を洗浄する洗浄機に多用され、半導体、燃料電池等の精密洗浄にも対応し、水や溶剤洗浄に適した製品です。 ダイヤフラムポンプや電動ポンプを使用して、洗浄機タンク内の油混入した洗浄液を高流量で吸い上げ、装置内の分離版やフィルターにて、油と洗浄液を分離させます。主に自動車部品の分野で多く使用されています。　 【特長】 ■　既存工場設備への取り付けが容易 ■　排水処理設備の油分処理の負荷...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

液体・ガス燃料溶射システム『Met-PCC(HVOF)』

コンパクトで操作も簡単！高い密着力と気孔率の低い皮膜を実現します

ーフェースはグラフィカルユーザー インターフェイス（GUI)を利用しており、オプションとして動画を画面に 取り込むことが可能。 標準の装置はガスと液体に関して、皮膜に適した連続性の為に質量流量で すべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置のリアルタイムの 動向を見ることができます。 【特長】 ■質量流量制御＝高い繰り返し精度 ■使いやすい直感的な操作者インターフェ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

レーザークラッド加工装置『MED-CLAD』

純度の高い皮膜で、金属部材の耐食・耐摩耗・耐衝撃性能を高めます！

ローン型の製品で、レーザークラッドの皮膜を 施すのに使われるレーザークラッド加工装置です。 制御盤ボックスは、繰り返しのきくクラッディング用にレーザーシールドガスと パウダー送りガスの質量流量制御を提供。 クラッディングの工程のすべては、タッチスクリーンのパネルを通して制御され、 操作者とのインターフェイスはwindowsのインターフェイスで操作されます。 【特長】 ■低...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-2000

寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ…

れます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、２種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPL...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

れます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、２種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPL...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

ニードルバルブ（グローブバルブ）『H-300Uシリーズ』

コンパクトで低操作トルクの高圧対応、PTFEパッキン採用のボンネット一…

H-300Uシリーズは、計装用パネルのシャットオフサービスに適した高圧計装用ニードルバルブ（グローブバルブ）で、4種類のステム形状で様々な流量調整を可能にします。 ＜特長＞ ・最高使用圧力5000psi（340 bar）、最高使用温度230℃ ・ストレート型およびアングル型対応 ・コンパクト設計で省スペース、低コストを実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

続加工の安定性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最大Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

【特徴】 ◉ コンパクトなシステムでハイクオリティな成膜実験が可能 ◉ ホットウオール式 反応管内を均一に加熱 ◉ 4系統（CH4, Ar, H2, バブラー用）MFC高精度流量制御：精度±1% F.S. ◉ キャパシタンスマノメータ（バラトロンゲージ）による高精度APC圧力制御 ◉ Lab Viewソフトウエア（オプション）によるリモート制御, データ解析 【主仕様...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

00% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec） ・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出） ・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包 ・広い流量範囲（15～9,000SPLM）から選択可能 ・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手 現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール 卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種 「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保 冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

空圧機器用サイレンサー【焼結金属フィルター用途事例】

・標準サイズの製品が多数・Easy installation 簡単設置…

・海洋などの腐食環境では、 　ステンレス材を使用 ■長所 ・標準サイズの製品が多数 ・Easy installation 簡単設置 ・精密焼結拡散接合 （ 同時焼結 ） ・高い流量 ...

メーカー・取り扱い企業： ダイアエンタプライズ株式会社 本社

米国mott社製フローリストリクターシリーズ (高純度向け)

多孔質金属技術を用いた流量制御器 (高純度向け)。

流量条件が比較的一定に維持されるマスフローコントローラー、ニードルバル ブ、およびその他の流量制御装置の費用対効果の高い製品。 流量を調整するニードルバルブやオリフィスに比べ、ガスの乱流を起こすことなく流量を制御します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

インラインセラミックガスフィルター

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開…

製品特徴 ・パーティクル０．００３μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 １０〜２００L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・高耐食性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

ファーストゲート株式会社　総合カタログ

輸入商社として半導体製造装置における技術革新を迅速に提供する

【掲載製品】 ■Futurestar社　フローメーター ・Odysseyシリーズ ・Pathfinderシリーズ ・精密流量コントロールバルブ　Auto Value ■White Knight社　テフロン製薬液供給ポンプ ・PXUシリーズ ・PXHシリーズ ・PXAシリーズ ■Malema社　フローコントローラー ・流量...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

、モノづくり日本会議様と日刊工業新聞社様が実施されている、 「産業・社会の発展に貢献する部品・部材を対象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

オプション採用され特定ユーザー向けに指定仕様にもなっていますので効果は必ず出ると思われます。ヒーターの漏電検出機能は内蔵されており漏電ブレーカ等を使わなくても最低限の安全対策は施されております。窒素流量は標準で３０～５０Ｌ／分、温度１００～２００℃、入力ＡＣ２００Ｖ　３００Ｗ、Ｎ２温度・流量監視、ヒーター本体内外部温度監視、エラーメッセージはＬＣＤ表示されます。以上の設定値はお客様のご要望により仕...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

ーター　400W ○回転数 →メガソニック時：0～500rpm →スプレー洗浄時：0～500rpm →2流体ノズル洗浄時：0～500rpm →スピン乾燥時：MAX 3000rpm ○純水流量：1～4L/分　0,2Mpa ○N2流量：150～200L/分　0,2Mpa ○排気：VP-75A　5m³/分 ○電源：φ3　AC-200V　20A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

【MS-3C100L ソフトウェア機能】 ■製膜ログ機能 ・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・ 　基板ホルダー回転速度の自動保存が可能 ■製膜レシピ機能 ・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・ 　スパッタ電力値・基板ホルダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

ションにより、研究ステージに合せて グレードアップしていただくことが可能です。 【特長】 ■初期導入コストを抑え、後の拡張で高性能化が可能 ■基本仕様でアルゴン用MFCを備えており、ガス流量を精密に制御 ■成膜方向は試料へのゴミ付着を防止するためにデポアップを採用 ■卓上タイプながら真空シール性の高いSUSチャンバを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁

無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに！ 金属と反応したり腐食させ…

った非常に高強度な樹脂材）で構成する事で、金属イオンを嫌う液体や、強酸・強アルカリ等腐食性の高い液体の移送システムに組み入れ可能となりました。高強度な為、金属製と比べても遜色ない性能（定量ポンプ　■流量偏差／±0.1% ※清水・5R.P.M.以上・1MPa時　■耐圧／8MPa ※PEEK仕様）を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能（コンバータ付RS-232通信機能）と複数用意されている診断およびアラーム機能を活用し、迅速に操作パラメータを入手できます。...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー（ゴム）シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレ...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

ガスボックス

ガスボックス

系統図、使用ガスの流量を御指示いただければ、確かな物を安価で迅速に供給できます。 【製造事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

インライン　フッ素樹脂製超純水ヒーター

不純物の溶出やパーティクル発生のないフッ素樹脂製超純水ヒーター

ＰＥＲ　ＰＦＡなので全く問題なし。設備のレイアウトの自由度が広がります。 ●発熱体寿命１０年以上 　ヒーターはメンテナンスの必要がないよう、劣化や故障の生じない低い温度条件になっています。 ●流量変動に強い 　純水の流量が急変したり止まっても大丈夫。素材はヒートショックに強いフッ素樹脂です。過熱状態を緩和する構造になっています。電気的な過熱保護を設けています。 ●高い耐圧性能 　純水ラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

低圧力損失メタルガスフィルター

歩留まりを大幅に向上

部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大幅に向上致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

米国mott社製フローリストリクターシリーズ (一般工業向け)

多孔質金属技術を用いた流量制御器 (一般工業向け)。

流量条件が比較的一定な環境下でニードルバルブ調整やオリフィスを使うことなく流量を制御します。接続継手の形状はご使用環境に合わせ多種ラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

集積化ガスシステム対応ガスフィルター

高濾過精度

μm）と、メタルエレメントタイプ（0.003μm）があります。 ○Cシール/H1Gシール/Wシールに対応しています。（Cシール/Wシールは1.125インチタイプも対応しています） ○数LPMの少流量から120LPMまでの大流量タイプをラインナップしています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

直動形電磁弁

直動形電磁弁

小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標準...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

フッ素樹脂ニードルバルブ

フッ素樹脂ニードルバルブ

フッ素樹脂製のバルブです。 流量調整のできるバルブで、液体の流出方向にストレートタイプとＬタイプの２種類あります。 また、細管用のＰＣＴＦＥ製のミニタイプもあります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニバーサル

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

います ■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適（試験の自動化プログラムあり） ■モジュール式（シングル・デュアルが選べます） 【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】 ■圧力コントローラPACE：モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケータ：最大３つの圧力を同時表示、最大5チャンネルのセンサが入力可能。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

◉ 装置運転・レシピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。 ◉ ユーザの登録したフィルムレシピ、プロセス制御（真空引/ベント、成膜時間、出力/時間、MFC流量圧力自動制御、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調整など）を全自動運転（手動も可能）〜Windows PCでデータロギングができます。 【主な仕様】 ・RF/DCマグネトロン方式 ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/CNT合成装置

◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWN…

◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール ◉ 急速昇温：RT→1100℃/約3分間 ◉ 高精度温度流量制御・再現性に優れたハイパフォーマンス機...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。 また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

コンタミ・メンテ・振動を最小化　ベアリングレス磁気浮上遠心ポンプ

【国内正規代理店】LEVITRONIXベアリングレスポンプ 先端プロ…

い革新的なポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、インペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触で浮上し、電気的な磁気制御により回転駆動されます。 この構造・システムにより、精密な流体の圧力・流量制御を可能としています。 もちろん、接液部となるインペラとポンプケーシングは、高純度フッ素樹脂で作られているので高い耐薬性能を有しています。 ■無摺動・無接触構造 各接液部品は、相互に接触...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-98...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

小企業優秀技術賞』を受賞。 社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。 本製品は微細な加工やラボ用途に最適な仕様で提供させて頂いております。 【オプション対応致します】 ◇窒素流量調整　　◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ　スプレー　ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高粘度吐出、高信頼のＣＴポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。高粘度については１０，０００cp以上実績があります。最大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、３００mlと、お客様の基板サイズ及び使用用途に合せたポンプサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

超小形比例電磁弁

超小形比例電磁弁

ＶＳＯシリーズ 使用圧力　−90Kpa〜1.0Mpaまで対応可能。 １億回の寿命と0.2cm3/minのリーク量。 正確な流量コントロール。 酸素使用可能。 ＭＤ　ＰＲＯシリーズ １０００万回の寿命と0.22cm3/minのリーク量。 使用圧力ー90Kpa〜0.7Mpaまで対応可能。 酸素使用可能。 消費電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を大幅に改善 ○SEMI規格に基本的に準じている ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライト製作所 本社