- 製品・サービス
28件 - メーカー・取り扱い企業
企業
1225件 - カタログ
4840件
-
-
PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ(ルーツ真空ポンプ)です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
-
-
PR高真空で使用できる ハーメチックコネクタです!
D-Sub・USB・LAN・HDMI・BNC/SMA/SHV同軸等、各種端子を取り付けたハーメチックコネクタです。オーダーメイドにも対応いたします。 ■高強度・ローアウトガスのエポキシ樹脂で密封し、気密性を保ちます。 ■中高真空~加圧環境で使用できます。 ■D-Subタイプや同軸タイプ、LAN・USB・HDMI・同軸コネクタタイプは標準品でご用意しています。 ■ご希望のケーブル、ハウジ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社テクサム
-
-
高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…
800mm□×800mmH/バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。 高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを1台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
バッチ式真空半田付装置(フラックスレスリフロー 真空リフロー)
パワーモジュールからウェハバンプまでフラックスレス・ボイドレスリフロー…
高信頼性半田付を実現するバッチ式真空半田付装置 真空排気による低酸素雰囲気での高速・均一半田付。真空・常圧・各種雰囲気(還元・不活性)の組合せにより高いレベルのボイドレス半田付を実現。車載用高信頼性パワーモジュールの標準プロセスの基...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
インターネプコンにも出展!大型製品にも対応した新製品のご紹介 <サン…
真空はんだ付け装置は真空中ではんだを溶融させることにより、 はんだ中のボイドを除去します。 予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、 フラックスレスはんだ付けを実現します。 パワーデバイス製造工程のスタンダード機として国内実績No.1クラスを 誇ります。 上部ランプヒータ仕様採用により、重量物を含む大型製品/異形基板にも対応しています。 【展示会出展情報】 インター...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…
業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキ…
クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。 最大8インチ相当のウェハや各種基板に対応。CtoCシステム採用による自動化&クリーンシステム。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
神港精機の真空半田付装置に新型登場 優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…
パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。 低酸素濃度の実現と100%水素雰囲気によ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…
10‐⁷paの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動CtoC方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…
実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。 高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。 太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニール...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…
豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のH2雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
目的・コストに合わせて柔軟に対応!大学・公的研究機関や基礎実験用に。
『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインア...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…
『リフトオフプロセス対応真空蒸着装置』は、 化合物半導体やSAWデバイスなど光デバイスや高周波・通信デバイスに 多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です。 蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現!高品質の電極膜を安定して形…
『ウェハプロセス用真空蒸着装置』は、6インチまでのウェハへの 電極膜形成に対応したバッチタイプ蒸着装置です。 ディスクリートIC、化合物IC、MEMSデバイスの量産用途に 豊富な実績を持っています。膜厚均一性に...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…
従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な6連式電子銃...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…
ェハの本格量産用途に対応した縦型タイプ(ウェハ自動搬送機構付)と4インチ以下のウェハに対応した横型タイプの2機種をラインナップ。 目的に合わせて開閉型の加熱炉体や急冷用空冷ファンの装備が可能で、高真空排気系・O2ガス系・APC機構など多くのオプション類を揃えています。 真空及び不活性雰囲気中の処理を標準としており、オプションで還元雰囲気中での処理にも対応いたします。 高真空排気後の大気圧水素...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
小径ウェハ(4インチ)や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のSiウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温(1000℃)均一加熱 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
小型電子部品(面実装タイプ)の側面電極形成をドライ化。PVD(イオンプ…
電子銃による真空蒸着を基本とし独自のイオン化機構で緻密で高い密着威力を持つ電極膜を高速形成。 横型タイプを採用し、小さな設置面積で大きな処理量を実現。 電極の形成も密着層・接合電極も同一真空槽で一括形成。成膜前...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
ポリイミドキュア装置(300mmウェハ対応 クリーンベーク装置)
300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…
真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。300mmウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省…
φ300mmウェハ対応のバッチタイプ 表面波プラズマ(SWP)による高密度ダメージフリーラジカル処理 急速昇降温型ホットプレート装備 真空プロセスによるボイドレスバンプを実現 オプションでレジストアッシングに対応 サンプルテスト対応中...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現!スパッタカソードを標準装備していま…
■極めて平滑なDLC膜が形成可能:(Ra=0.015μm以下) ■成膜レートが早い:(3μm/hr以上) ■低温成膜:(200℃以下) ■厚膜形成可能:(20μm) ■DLC膜の除膜:同一真空槽内でDLCの除膜が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…
平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応 搬送機構・クリーニング前後機構を...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…
6インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応 高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。 実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインアップ。 不活性雰囲気アニールにも対応できる専用...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
多機能型プラズマクリーニング装置。 サンプルテスト受付中 クリー…
コンパクトな筐体に電極切替機構や複数のガス系を装備効果大の真空プラズマ装置 φ230処理の小型タイプから500mm□(φ600mm)対応の大型までラインアップ 基板寸法や生産ライン構成・生産量に合わせて自動搬送機構を個別設計。ラインの自動化とハイスループッ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合…
チタイプ ・全手動化し低コスト化 ・小型基板での少量生産に充分なプロセス性能を実現 ・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現 ■簡易ロードロックタイプ ・手動搬送機構を装備 ・クリーンで高い真空性能 ・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能 ・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能 ・紫外LED用AlNテンプレート作成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
研究開発から量産までサポート!
ード化、4インチカソード多元化) ●高温加熱機構(800℃) ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイプスパッタリング装置 ●巻取式スパッタリング装置 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型)
φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装…
基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。 サイドスパッタ方式により1mを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。 量産用途に最適なデータロギングシステムや装置制御や管理を容易にする制御インターフェースソフトなど量産用装置に必須な細かな配慮が組み込まれています。 3...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…
高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部(カソード・基板台等)が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れま...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
-
-
国内実績No.1をもつ真空リフロー装置のスタンダード! <サンプ…
真空中ではんだを溶融させることにより、はんだ中のボイドを除去します。 また予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、フラックスレスはんだ付けを実現します。 パワーデバイス製造工程のスタンダード機として国内実績No.1を誇ります。 多彩なオプションと豊富な装置ラインナップで、お客様にとって最適な装置をご提案致します。 <第2回ものづくり日本大賞 優秀賞受賞>...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
- 表示件数
- 60件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
PR
-
高圧式リングブロアー総合カタログ※HO HSING
高圧式リングブロアーと油式回転真空ポンプの総合カタログ!
ユニオン産業株式会社 -
各種スイッチ総合ラインナップ <圧力、真空、油圧>【使用事例付】
大手航空機メーカーでも採用!圧力・真空・油圧スイッチの総合カタ…
株式会社三和電機製作所 -
ガラススクライバー【MHS-500S】
MHS-300Sでは対応できなかった第二世代までのマザーガラス…
株式会社イーエッチシー -
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備している…
株式会社ハイブリッジ 東京営業所 -
三浦工業のバイデルポンプ・ロータリーポンプ
豊かな発想と技術力でお客様により良い「機能」と「安全・安心」を…
三浦工業株式会社 -
ばね入りCリング・メタルシール『ヘリコフレックスシール』
非常に優れた許容漏れ量と耐食性!お客様の用途に沿うシール特性に…
テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社 -
温度制御システムタンク『RKMH シリーズ』(加圧・真空タイプ)
撹拌真空、圧送、温度制御を1台で!加熱撹拌、真空脱泡、加熱など…
加藤ステンレス科学株式会社 -
『JSKブランド 新製品のご紹介』 ※販売協力会社を募集中!
バルブ、ガスフィルター、パイプ・チューブの新製品がラインアップ…
三興工業株式会社 -
【選定ガイド進呈中】鋳物加工の豆知識・各種鋳造方法の選定ポイント
「鋳造方法の特徴」や「各種鋳造方法の選定のポイント」などを掲載…
株式会社須藤機械 -
【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム
ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーン…
株式会社大阪真空機器製作所