小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

全自動連続粉末・粉体成形機『プログラム成形機』

PRタッチパネル搭載！荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転が可…

プレス機・成形機メーカーであるエヌピーエーシステム製「プログラム成形機」は、 ニューセラミックス・金属粉末等成形用の全自動連続粉末・粉体成形機です。 タッチパネル（デジタル設定・表示）によるプログラム設定が可能。 荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転ができます。 真空成型（成形）は真空チャンバー方式で均一に成形可能。 上パンチがワーク（成形体）に当たり荷重がかかると、フローティング...

メーカー・取り扱い企業： エヌピーエーシステム株式会社

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

真空装置や半導体製造装置に使用する部品の高温真空熱処理

真空装置、半導体製造装置に使用する部品を真空中で高温処理します。プロセ…

クリーンルーム中で真空チャンバを使いグラファイト、セラミックス、メタル部品などの脱ガス処理を行います。表面に付着したガスだけではなく、内部に浸透した水分なども除去できます。 【用途】 ■真空装置、半導体製造用部品など...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

電子ビーム溶接サービス

自動車や半導体、機械・電子産業、船舶、航空宇宙産業など幅広く利用される…

【加工例】 ■半導体関係 　・冷却板、真空チャンバ、電極部品 ■自動車関係 　・各種ギア、エンジン部品、ターボ部品 ■精密機器関係 　・各種センサ、ベローズ ■電子・電気関係 　・超伝導線用ビレット、電極板 ■真空機器関係 　・...

メーカー・取り扱い企業： エヌ・デイ・ケー加工センター株式会社

鉄・アルミ・ステンレスの溶接

板厚4.5mm程度から120mm程度のものまで！鉄・アルミ・ステンレス…

・ショット・下塗り⇒機械加工⇒ 仕上げ⇒塗装・メッキ⇒組立と一貫した部品製作が可能。 精度を要求される溶接・製缶構造物の他、ステンレスの溶接構造物も 得意としており、ステンレス溶接構造真空チャンバについては数千台の 実績がございます。 【取り扱い品目(一部)】 ■架台 ・液晶・半導体製造装置 ■チャンバ ・蒸着装置用真空チャンバ(PVD・CVD) ■各種装置部品 ・液...

メーカー・取り扱い企業： 東金属産業株式会社 本社・沼津工場

NATS(空気転写)

真空圧空を使用したアウトモールドデコレーション(OMD：Out Mol…

NATS（空気転写）は3次元加飾技術の事で、3次元形状の製品（プラスチック、金属、ガラス等）に後加工で真空や圧空の技術に過熱蒸気（スーパースチーム）を加える事で予めデザインが印刷されたフィルム(転写フィルムや貼合フィルム)をシワ無く貼り付ける事が可能となったのに加え安定的な生産を確立した技術です。 3次元加飾技術には様々な呼び方がありますが、OMD（Out Mold Decoration：アウトモ...

メーカー・取り扱い企業： エヌアイエス株式会社 本社

一体型特殊真空槽

鍛造ブロックからの削り出し加工！必要な大きさ、ポート寸法・数量により、…

『一体型特殊真空槽』は、ピンホール、マイクロクラックフリーの 超高真空対応チャンバです。 Heリーク実績値は、2.0ｘ10-12Pa/m3を実現。（内面電解研磨処理品） 鍛造ブロックからの削り出し加工で、必要なICFエッジポートを持つ 真空槽を成形します。 また、溶接加工部がなく、溶接部のピンホール、経年使用で生ずる マイクロクラックによるリークは発生しません。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ダックハウス

【設計・製作】機械装置の開発事例（３）

設計・製作からアフターサービスまでワンストップで対応いたします。

弊社で設計・製作した機械装置の開発事例を紹介します。 【真空チャンバ】 　真空中の部品の発塵を評価するため 　[概略仕様] 　　・構成：真空チャンバ、架台、真空ポンプ、 　　・サイズ：900 x 1,200 x 450mm 、重量約360kg（架台を除く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AGORA TECHNO

多角形真空チャンバー

好適な切削工具を選択、治具を考案し、技術の進化と加工時間の短縮を図って…

当社の「加工部門」についてご紹介いたします。 大型薄物が大得意で、技術と経験をもって、薄板を自由自在に操り、多様な 機械設備で大型部品からの小物まで様々な大きさの加工が可能。 また、アルミはもちろんのこと、ステンレス、鉄、銅など多種の材質の 加工ができ、4高速マシニング機と独自の加工方法で、高精度の品物を 短時間で加工することも可能です。 【加工技術】 ■大型薄物が大得意...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社草川精機

Free Chamber Order System

多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム

『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、 数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された 真空チャンバ設計システムです。 数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置（一部抜粋）】 ■排気系 　・ロータリポンプ 　・ターボ分...

メーカー・取り扱い企業： いちよしエンジ株式会社