廃熱発電技術による自立電源のご提案　※資料進呈

PRIoT用自立電源や省エネ用自立電源！未使用廃熱を効率よく電気エネルギー…

当資料では、独自開発の廃熱発電技術による自立電源についてご紹介しております。 様々な低温排熱源（300℃程度以下）に対応した、極薄で湾曲自在な熱電発電モジュール『フレキーナ』を実用化！ 『フレキーナ』を搭載した、IoT用や省エネ用自立電源システムの 開発事例など豊富に掲載。 その他、他技術との比較や用途事例なども掲載しており、導入検討の際に 参考にしやすい一冊となっております。ぜひ、ご一読くだ...

メーカー・取り扱い企業： TSP株式会社

【展示会出展】医療機器部品の受託加工（ISO13485取得）

PRクリーンルーム（クラス10,000）完備！医薬・ヘルスケア製品の開発試…

弊社では、バイオサイエンス分野などで活躍する『樹脂製マイクロチップの受託製造サービス』をはじめ、医薬部品の受託加工を行っています。 『樹脂製マイクロチップ』では、ポリプロピレン系樹脂とエラストマー系樹脂から成るオリジナル樹脂材料を使用し 0.3～100μmというマイクロオーダーの加工が可能。さらに、均一な深さの流路を実現。 射出成形による量産に対応しており、低コストでの生産が可能です。 また、開...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リッチェル

Agnitron社 研究開発(R&D)～量産用 MOCVD装置

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物…

Agnitron社のAgilisシリーズは、先端化合物半導体エピ成長を可能にする構成オプションを備えた柔軟なプラットフォームです。研究開発用(R&D用)の小型チャンバではシングル又はデュアルチャンバ構成選択可能、量産機用の大型チャンバではシングルチャンバ構成にて幅広い材料のエピ成長が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・異形状・サイズ基板の同時処理 　・高い成膜速度 　・シンプルメンテナンス 　・省フットプリント 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

半導体材料　ＡＬＤ／ＣＶＤ材料

高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

業界に先駆けて新規ＡＬＤ／ＣＶＤ材料の開発に着手してまいりました。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成から一貫してクリーンルーム内で作業が行われ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

Agnitron社 MOCVD装置 In-situ温度モニター

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-si…

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定性を有する業界最高レベルの温度モニターです。 (1) 圧倒的な温度制御の精度と正確さ (2) メンテナンス後のキャリ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

Agnitron社 MOCVD装置制御ソフトウエア

最新の制御機能とデータロギング機能を有する、WindowsベースのSC…

装置の制御ソフト入れ替え、ソフトウエアアップグレードに最適です。 (1) リアルタイム制御、監視 (2) イージーコントロールソフトウエア (3) 実績のあるパフォーマンス (4) 継続的に開発、改良され、サポートサービスを提供しています。 (5) 様々な他社レガシーMOCVD装置の制御ソフトウエアの入れ替え,更新可能 (6) 短期間でのソフト入れ替え、ソフトウエアアップグレード可能...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

新開発　半導体式マイクロ波電源 5.8GHz帯　130W 電源が商用電源AC100V・デスクトップサイズ等、使い易さを考えて新開発したマグネトロンを使用しない、半導体式マイクロ波電源及び加熱試験装置...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工機株式会社 第1機器部

原子層堆積（ALD）装置

豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置

コンパクトな卓上型ALD。 半導体デバイス、有機太陽電池、ナノワイヤー、量子ドットなどへの成膜により、表面保護や改質など様々なデバイス開発にご使用いただけます。 プロセスはALD・CVDの材料開発拠点で開発されたもの。 順次レシピを増やしてゆき、新規のプロセス開発も承っております。...

メーカー・取り扱い企業： ALDジャパン株式会社

粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposit…

研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。　 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

３次元誘導加熱・温度解析ソフトウエア／μ-TM

複雑な加熱コイル形状に威力、高周波加熱、温度、発熱、磁場分布が見える！

ルによる磁場解析と非定常温度解析をシームレスに ・コイルを有限要素とは独立に設定するため、モデル化が簡単 ・問題に特化した条件設定メニューで、解析工数をさらに短縮 ・初心者向けには、自社開発の直交格子メッシャーAirCubeとの組合せがお勧め ・精密なモデル形状にはFemapとの組合せを さらに ・お客様の問題に踏み込んだ、プロのコンサルティングをご提供 ・受託解析や、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

高周波RF電源・高効率パルスRF電源

高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐…

【13.56MHｚ　1ｋW/3kW/5kW（パルス）】 NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR1NP】【NR3NP】【NR5NP】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

撥水コーティング装置 テスト受付中

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプル…

ラズマ技術で撥水コーティングに対応。樹脂フィルム・ガラス・金属薄膜、多種の基板を撥水処理。 プロセス変更で親水化やクリーニングにも対応 コパクト・リーズナブル・高信頼性、サンプルテストでプロセス開発に協力。 実績と対応のプラズマ表面処理装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、目的とする性能の膜をどのように作ればいいのか、お悩みになる方も多いのではないでしょうか。 そこで設計段階でのお悩みの方には、材料選定やレシピ設定、評価方法につい...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

三菱電線工業のメタルシール「サンリーメス」シリーズ

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

シールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちながら、小さな締付力で大きな復元量を有する全く新しいメタルシール『サンリーメス(R)』を開発しました。...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

【オーダーメイド製作実績】CVD装置

「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を…

デモ機にてサンプル処理を実施しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績（抜粋）】 ■太陽電池用プラズマCVD装置 ■立体物用プラズマCVD装置 ■研究開発用ロードロック式プラズマCVD装置 ■金属容器用プラズマCVD装置 ■医療容器用プラズマCVD装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。 特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2)...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

CVD・MOCVDカスタマイズ装置

多彩なプラズマソースが搭載可能！CVD、MOCVDやALD装置をカスタ…

当社では、研究開発や小規模バッチ量産向け装置である、 「CVD・MOCVDカスタマイズ装置」を取り扱っております。 CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計で、 PLUM、FLARION及びMIRE...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用…

AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・156mm角/125mm角ウェハ対応 　・1500枚/hの高生産性 　・太陽電池用薄型ウェハ対応 【用途】 　・拡散...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

プラズマイオン注入成膜装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…

・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能です ・自転公転機構やヒーターが必要ないため真空装置内のパーティクルの発生を最小限に抑えることが可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定の…

独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備 自公転機構によるハイレート全面成膜機構 各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指します。 CVDやMOCVDの後段、除害装置の前段での副生成物の堆積に起因するトラブルにお悩みではないでしょうか。 KITZ SCT では半導...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

基板加熱ヒーターは半導体・電子デバイス等の成膜工程での基板加熱用に開発されたハイスペック基板加熱ヒーターです。 トッププレートに熱伝導性・熱放射率・耐サーマルショック・絶縁性に優れた窒化アルミを標準採用、プレートを短時間で超高温まで昇温します。 ヒーター材質はC/...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

、P型両方に対応出来ます。 ■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。 ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。 ※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

インラインセラミックガスフィルター

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。...製品特徴 ・パーティクル０．００３μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 １０〜２００L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

高効率高周波電源

高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】

NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、構造上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせて頂きます。また、研究･開発部門からの引合いも多く、ご要望に沿った提案が出来ますので、お気軽にご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

【MPCVD】単結晶ラボグロウンダイヤモンド

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っていま…

器のアプリケーションに使用されています。 【特長】 ■MPCVDは、効果的に単結晶ダイヤモンド(SCD)を生成する ■要求の厳しいアプリケーションに適したラボグロウンダイヤモンドプレートを開発 ■CVDプレートは、様々な寸法と厚さで提供 ■成長したダイヤモンドプレートは、主要なレーザー周波数で低い吸収係数を 　持つ非常に広いスペクトル範囲を提供し、非常に高い熱伝導率を持つ ※...

メーカー・取り扱い企業： 合同会社SUPERHARD JAPAN

液体ソースプラズマCVD装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…

ダーキャビネット付きプラズマCVD装置です。 液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、 内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を 設計開発。 上蓋開閉により基板交換、内部メンテナンスでき、小型でスペース効率の 優れた装置です。 【特長】 ■シリンダーキャビネット付き ■液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

極細パイプ内面へのフッ素樹脂（テフロン）コーティング

パイプが細い分、短時間で接着剤が詰まったり、短時間で腐食したりするのは…

技術の進化と共に増え続ける高精度な技術。そして技術の進化と共に増え続ける課題。 大東化成では、そのような要望に応えられるよう、日々新しい技術を開発しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

金属以外へのフッ素樹脂コーティング

フッ素樹脂コーティング以外で、すべての用途を満たすことができるでしょう…

技術の進化と共に増え続ける高精度な技術。そして技術の進化と共に増え続ける課題。 大東化成では、そのような要望に応えられるよう、日々新しい技術を開発しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

小型ガス精製器用ジャケットヒーター

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致…

(株)ピュアロンジャパン製 ジャケットヒーターです。...【特徴】 ○４００℃までの高温に対応可能です。 ○各サイズに合わせて設計されていますのでジャストフィットします。 ○外装はポリエステルクロス製です。 ○発塵の心配がありません。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

カルレッツ／パーフロロエラストマーパーツ

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマ…

菱電線工業は２０年以上にわたりカルレッツ(R)正規代理店として日本のお客様にカルレッツ(R)の販売及びサービスを行なってきました。 ◆標準規格サイズOリングに限らず成形品シールの設計・用途技術開発に関する長年の経験とノウハウより、複雑な金型成形品についてもお客様の多様なニーズに対して的確な用途相談、製品設計、機能評価などの技術サービスをカルレッツ(R)製造メーカーのデュポンエラストマー社と共...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

プラズマCVD装置

プラズマCVD装置

PD-220NLは、納入実績の豊富なプラズマCVD装置『PD-220シリーズ』での経験をもとに開発したロードロック式装置です。本装置は、コンパクトな設計でありながら基板有効径がφ220mmあります。各種シリコン系薄膜（Si3N4、SiO2等）の形成を目的としており、最先端の研究からセミ量産まで幅...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

高電圧リレー

高電圧リレー

高電圧、パワースイッチングで30年以上の実績を持つキロバック 1964年以来、キロバックは高電圧スイッチングおよび高電圧負荷の絶縁用途に、小型/軽量デバイスを開発してまいりました。キロバック社の誇る真空シール技術が、最大70kVまでのリレー、コンタクターなどの幅広い製品に活かされています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

SUS＋銅の接合複合加工

仕上り加工外径はφ12.7 摩擦圧接と電子ビーム溶接の複合加工です。…

〇大学・研究室からのお問合せお待ちしています 〇小ロット対応 〇大手企業様の開発にも役立ちます ...

メーカー・取り扱い企業： スリーエス株式会社

真空チャンハ゛ー　SUS304

1000mm*1000mm*1000hの真空チャンハ゛ーです。材質SU…

〇大学・研究室からのお問合せお待ちしています 〇小ロット対応 〇大手企業様の開発にも役立ちます ...

メーカー・取り扱い企業： スリーエス株式会社

Agnitron社 中古再生MOCVD装置

完全に再生(リファブ)され、アップグレードされたレガシーMOCVD装置…

Agnitron Technology社（アメリカ）は、2008年に設立された中古リファブ、自社開発新品MOCVD装置（有機金属気相成長装置）、MOCVD装置制御ソフトウエア、MOCVD 装置用In-situモニターを製造、販売するサプライヤーです。Agnitron Technology社はお客様...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

手動陽極酸化装置

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

【特長】 ■用途に合わせたカスタマイズが可能で研究開発等に適しています。 ■オプションにより薬液供給・回収機能、濃度計等選択出来ます。 ■陽極酸化治具は各種サイズに応じてご提案致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

パーフロOリング フロロパワーFFH (FFKM-耐熱-旧)

Oリングの桜シールによる耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温-300℃…

耐熱性を極めて高いレベルまで向上させた、パーフロロエラストマーによる材質です。但し、耐熱性や耐薬品性をはじめとする全ての性能が上回っているフロロパワーFFSが開発されたことにより、現在では切り替えを推奨しています。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

細い配管へのフッ素樹脂ライニング

大東化成では、8A～25A等の細い配管内面に、フッ素樹脂コーティング及…

技術の進化と共に増え続ける高精度な技術。そして技術の進化と共に増え続ける課題。 大東化成では、そのような要望に応えられるよう、日々新しい技術を開発しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部