フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【事例集*半導体用途】高圧 ダイヤフラム ハイドラセルポンプ

【従来ポンプでお困りの方必見！】エッチング処理で発生する酸性廃棄物の中…

る産業で40年以上の使用実績を持つハイドラセルポンプは、高圧ポンプでありながら、ダイヤフラム式の強みであるシールレス構造を特長とし、従来ポンプでは困難であった用途でも安心してご使用可能です。 エッチング工程で発生する酸性廃棄物の中和処理などの定量・薬注用途のPシリーズやサファイア加工時のクーラント送液および純水洗浄向けGシリーズなど、用途に合わせた豊富なバリエーションをご用意。 シールレス設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

ております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置　【無料デモ実施中！】

ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減！ウェット洗浄に比べて大幅な時…

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置はMO-CVD装置の冶具などの成膜時に堆積するGaNやAlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。 パワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物・半導体や青色LEDの製造に最適。製造時の製品歩留まりの向上、ランニングコストの削減に効果を発揮します。 　　　★☆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

テスト用　小型超高圧精密洗浄装置

テスト用　小型超高圧精密洗浄装置

現像・エッチングのファイン化技術や高度な薄板搬送技術を駆使してお客様の付加価値向上に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム