蒸着装置 | イプロスものづくり

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

薄膜蒸着装置

マグネトロン、イオンビームなど！さまざまな薄膜蒸着ソリューションから選…

当社では、幅広いプロセス機能、使いやすさ、優れた信頼性、およびグローバルなサービスとサポートを通じて、一貫した再現性のある結果を提供する「薄膜蒸着装置」を取り扱っております。蒸着、熱蒸着、マグネトロン、スパッタリング、PE-CVD、イオンビームなど、幅広い材料とアプリケーションに対応するさまざまな薄膜蒸着ソリューションから選択可...

メーカー・取り扱い企業： TST SEMICONDUCTOR株式会社

真空薄膜蒸着装置の世界市場シェア2023

世界の真空薄膜蒸着装置市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析

■レポ－トの種類：グロ－バル市場調査レポ－ト ■日本語タイトル：世界の真空薄膜蒸着装置市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析 ■英語タイトル：Global Vacuum Thin Film Deposition Equipment Market Growth 2023-20...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Lpinformationdata 路亿策略

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いて...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

装置製作事例

真空装置の設計・製造ならお任せください！

ロールコータ　（酸化クロム・銅）、プラスチック部品メタライズ装置、　ワイヤー成膜要スパッタ装置、レーザービームスパッタ装置、　実験用スパッタ装置（金・白金・チタン・SiO2） ◆蒸着装置 　ドアミラー蒸着装置、シールド膜蒸着装置、有機ＥＬ実験用蒸着装置、アルミ膜蒸着装置 ◆脱気装置 ◆関連機器、加工部品　ガスBOX、ガス配管、真空配管、真空フランジ等製作品 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

イオンプレーティング成膜

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！宇宙開発技術か…

イオンプレーティング法は、真空蒸着法の発展型です。真空蒸着法と同じように、膜にしたい材料を真空中で蒸発（あるいは昇華）させ、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に堆積させます。イオンプレーティング法の特徴は、蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、基板側にマイナスの電荷を印加することで、蒸発粒子を引き付けて基板上に堆積させて、薄膜を形成する方法です。 ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

UV(紫外線)表面処理技術の用途例 -洗浄と改質- ・パネル・ディスプレイ製品　フラットパネル、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL 用途・効果ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化・光学部品製品　ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レンズ、水晶振動子用途・効果レンズ表面の有機系...

メーカー・取り扱い企業：株式会社あすみ技研

ガス配管製作

接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な　体制となっております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

フィルム連続成膜装置

ロール状フィルムを連続成膜する装置 ■□■特徴■□■ ■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応 ■テンションピックアップフィードバック制御 ■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ ■差動排気システム（任意設置） ■基板クリーニング機構 ■抵抗値透過率モニター機構 ■成膜ローラー冷温媒装置 ■表裏連続成膜にも対応します（右記イメージ図参照） ■ロール幅・ロール径・巻取り速度...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

フライアイレンズ

露光装置やプロジェクタでは、フライアイレンズを使った光学系を用いることで照度ムラが打ち消され、照射面で周辺部まで均一で明るい照度分布が得られます。液晶パネル露光装置、半導体露光装置などで利用されています。ジャパンセルでは、単レンズの制作から、レンズ接合・蒸着加工まで一貫した自社製造を行っています。 ◆詳細は資料請求またはダウンロードからお問い合わせください◆...露光装置やプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャパンセル

クリーンルーム・真空用アルミホイル

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタ…

ビニールでラップされております。ケースもプラスチック製なので紙類は一切使用されておりません。クリーンルーム内でも安心してご使用いただけます。完全クリーンなアルミ箔なので、真空装置内部例えば蒸着装置などの防着板の代わりとして使い捨てでご使用いただけます。サイズも厚みと幅で4種類御用意しております。御用途に合わせてお選びください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート

株式会社アドバンテック　事業紹介

確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。

株式会社アドバンテックは、国内５拠点、海外８拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有価廃棄物を買取らせて頂いております。さらに環境事業での排出権取引やカーボン・オフセット事業、太陽電池関連事業を実施しております。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アドバンテック愛媛本社

アーク放電型イオンプレーティング装置「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

SIA-400Tは、工具・刃物・金型等への「表面硬化膜」及び、「装飾膜」に最適なホロカソードタイプを、さらにバージョンアップしたアーク放電タイプ（蒸発源表面上にアーク放電を発生させ、溶解・蒸着・イオン化という過程を経て膜形成）を採用した装置です。【特徴】 ○ムダを極力少なくし、処理量の確保をはかった ○1バッチごとの蒸発源の補給が不要 ○基板取付けを容易にした担当者にやさしい装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】　様々なご提案！

【膜種、方式にとらわれないコーティングの全方位提案！】

こんなお困りごとはありませんか？課題、用途に適した膜種、方式を提案【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 ●「装置部材の長寿命化」「生産消耗部材の長寿命化」のテーマがある　　　　　　　　　　　　　↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●部材そのものの切替にはコストやリスクがありコーティングを検討したい　　　　　　　　　　　　　↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●コーティングメーカーが...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減【制作例】小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバーなど、実績はございますのでご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

株式会社エイディーディー　事業紹介

私たちは半導体業界に新しい風を起こします。

半導体製造装置の延命化のため、他社では不可能な周辺機器の修理を致します。コスト低減はもとより省エネルギー化などの改造も行い、環境問題にも取り組んでいます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【事業内容】 ○半導体製造における関連製品の開発・販売【サービス】 ○これまでに培った技術と経験を生かし、半導体製造装置のサポート、　延命化のご提案をいたします。 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイディーディー

真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減【制作例】小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバーなど、実績はございますのでご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空配管、粗引配管設計及び制作

、出荷前の外観検査にて除去し、リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが　可能な体制となっております。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス