エッチャー | イプロスものづくり

誘電体エッチャーの世界市場：2Dタイプ、3Dタイプ、家電、自動車、航空…

本調査レポート（Global Dielectric Etcher Market）は、誘電体エッチャーのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の誘電体エッチャー市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】プラズマエッチャーの世界市場

プラズマエッチャーの世界市場：自動、半自動、太陽光発電、メンブレンスイ…

本調査レポート（Global Plasma Etcher Market）は、プラズマエッチャーのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のプラズマエッチャー市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】ICPエッチャーの世界市場

ICPエッチャーの世界市場：オープンロード、ロックロード、航空宇宙、機…

本調査レポート（Global ICP Etchers Market）は、ICPエッチャーのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のICPエッチャー市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

HF気相エッチャーの世界市場動向分析2023-2029

HF気相エッチャーに関するグローバル市場分析、市場規模、販売量、売上高…

2023年9月6日に、QYResearchは「グローバルHF気相エッチャーに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。HF気相エッチャーの市場生産能力、生産量、販売量、売上...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

ME-5000　枚葉式スピンエッチャー　

ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーで…

『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下運動が可能です。洗浄部カバー内に気流を作り、薬液は酸系４種類及び純水の５種類で分離回収します。 ●詳しく...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

誘導結合型エッチャー世界市場の発展状況と動向2024-2030

誘導結合型エッチャーの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケーショ…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界の誘導結合型エッチャーの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国における誘導結合型エッチャーの販売量と販売収益を調査しています。同時に、誘導結合型エッチャ...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

静電容量式エッチャーの世界市場成長率2024-2030年

静電容量式エッチャーの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケーショ…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界の静電容量式エッチャーの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国における静電容量式エッチャーの販売量と販売収益を調査しています。同時に、静電容量式エッチャ...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

QSESの安全評価について　「Ｆ47/Ｆ42評価サービス」

どこよりも早く『電圧降下（F47/F42）試験』に対応し、対策からレポ…

半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシュミレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験を行います。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てが対象で、電源容量の大きい装置にも対応しています。さらに、対策からレポート作成までフルサ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キューセス

プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪

有機・無機問わず高いエッチング効果！１週間～レンタル始めました～♪…

Siやカーボン膜の受託エッチング！その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途にお使い頂けます♪ 一週間～レンタル可能で研究開発をスピーディーにサポート致します！初回条件出しやデモ処理は無償対応。... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量約 85Kg　 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

Siやカーボン膜のエッチング！その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途にお使い頂けます♪... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量約 85Kg　ガス系マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。ウエハサイズ50〜200mm（2〜8インチ）、BGA・CSP等に対応しており、プラズマモードは、オペレーションパネルでDPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。また、搬送ユニットの後付けが可能な為、実験・研究施設等...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

エッチャー、アッシャー用マイクロ波電源　入力電源AC400V対応

【新製品】小型・高出力のインバータ式マイクロ波電源。高効率を実現！ C…

『MPS-60W-DC-CE』は小型・高出力のインバータ式マイクロ波発振器です。直列共振回路技術採用により高効率を実現しました。電源部・発振部とも完全水冷式。外部空気を取り込まない設計。電源部と発振部はセパレートタイプです。【特長】 ■低リップル ■小型・高出力 ■直列共振回路技術採用により高効率を実現 ■完全水冷式。外部空気を取り込みません。 ■電源部と発振...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッシン

7/5【セミナー】ドライエッチング：基礎

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御～ドライエッ…

速度３．各種材料のエッチング　3.1 ゲートエッチング　3.2 SiO2エッチング　3.3 配線エッチング　　４．ドライエッチング装置　4.1 CCPプラズマエッチャー 　4.2 マグネトロンRIE 　4.3 ECRプラズマエッチャー 　4.4 ICPプラズマエッチャー 　4.5 静電チャック　　□質疑応答・名刺交換□ ...

メーカー・取り扱い企業：サイエンス＆テクノロジー株式会社

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。ウエハサイズ6インチ、8インチに対応しています。...本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォト...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

プラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

です。デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合ったプラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。企画から提案まで一環してお引き受けしています。【掲載内容】 ...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社

フィジカルファインエッチャー（PFE）

プリント配線板やフィルムなど薄板材の表面を一括で均一に梨地加工な物理的…

幅610mm以下、厚さ0.2 ～ 2.0mm までのプリント配線板などの薄板材表面の精密物理洗浄をおこなう表面処理装置。薄板材両面を均一に処理し、水洗、水切り乾燥までを連続自動処理可能。プリント配線板の洗浄、異物・酸化膜除去、デスミヤ、表面粗化、エッチングなどに使用可能。 ...•幅広ガン630mmを使用し、処理幅610mm以下までの薄板材の処理が可能。 •ワーク両面の処理が可能。 •...

メーカー・取り扱い企業：マコー株式会社

製造装置用大容量ＲＦ同軸コネクタ13.56Mhz~

ＲＦ電源からプロセスチャンバー間の高周波同軸接続箇所において、ワンタッ…

製造装置の種類の中でもエッチャーやＣＶＤ等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット（ＲＦ電源～マッチングボックス～プロセスチャンバー等）を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時...

メーカー・取り扱い企業：エヌビーエス株式会社本社・工場

小型エッチング装置

基板を回転させながらエッチング液をスプレーするスピンエッチャー

対象基板を回転させながらエッチング液をスプレー塗布するスピンエッチャーです。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

リウム）膜』についてご紹介します。「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ■エッチ...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

多目的処理装置（スピンエッチャー）

温度管理、廃液選択機能が搭載！多目的処理装置

温度管理、廃液選択と様々な機能を付加可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチエッチング液…酸、アルカリタイプオプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2M...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

株式会社エイブルジャパン　取扱製品総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ○スピンエッチャー ○フォトマスク用プロセス装置　他詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブルジャパン

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

め】 ◎R＆D、研究室にラボスケールのコンパクトな装置が必要な方 ◎1台で成膜・エッチングとマルチに使用可能な装置をお探しの方 ◎故障解析等のための難しいプロセスに対応可能なハイスペックなエッチャーをお探しの方【仕様】・サイズ：W ～800mm x D 1700mm x H 1500mm（本体・標準、構成によって異なる）・ガス配管：最大12ライン（プロセスガス11ライン+パ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

SEMI F47/F42：電圧サグイミュニティ

是正対策や対策部品紹介までコンサルティング、試験が適合するまでフルサポ…

工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシミュレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キューセス

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク

グラッシーカーボン

ガイドリング、エッチャー用電極、洗浄用部材など様々な用途に利用可能！

グラッシーカーボンは、アモルファス(非品質)・発塵性無し・気体不透過などの特性を持つユニークな素材です。従来のカーボンと比べ、基板ホルダー、遮熱板、サセプターなど新たなニーズ、多種多様な用途でご利用いただいております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■軽い ■耐薬品性に優れる ■気体不透過である ■高純度 ■脱ガスフリーである ※...

メーカー・取り扱い企業：東海ファインカーボン株式会社

真空装置受託製造

真空装置の受託開発承ります！

【受託製造事例】 ◆300Φメタライゼーション装置 ◆凍結真空乾燥装置 ◆有機ELディスプレイ製造装置 ◆銅配管スパッタ装置 ◆ドライエッチャー ◆有機薄膜形成装置 ◆真空排気装置 ※詳細はお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム検出困難だったイオンミリングプロ…

エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムにモニタリングすることができます。 CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、 UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。さらに、真空フィードスルーオプションでイオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは真空中のサンプル近傍...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。又、搬送機構を持たない汎用機もございます。...スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

プラズマエッチャーチラー　NIKOLA3K/5K

フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー　半導体製造工程のプラズマエ…

きる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラーです。半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。主要エッチャーメーカーの製品に対応！温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。【特長】 ■消費電力を最大6...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社