1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

熱中対策ウォッチ カナリア Plus

PR深部体温の上昇を検知し知らせることで、熱中症を未然に防ぐウェアラブルデ…

暑熱下のリスクを検知して、熱中症になる前にアラームとLEDとバイブレーションでお知らせする ウェアラブルデバイスです。 通信・充電不要、使い捨てによる使いやすさに非常に好評をいただいております。 新モデル「熱中対策ウォッチ カナリアPlus」は旧モデル「熱中対策ウォッチ カナリア」からお客様からの声を反映した新モデルとなります。 主な変更点 ・バイブレーション機能の追加 ・3~4...

メーカー・取り扱い企業： Biodata Bank株式会社

技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変化 ４. シリコン絶縁膜の傾斜エッチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 202102-03 XAFSによる半導体中の状態評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

ない。元素ごとの状態評価は、XAFSにより可能であるが、近年の検出器の感度向上などにより、微量のドーパント元素の化学状態や配位環境を感度よく観測できるようになってきた。本稿では、XAFS を用いたシリコン半導体に含まれるヒ素およびリンの状態評価の事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．分析試料および実験手法 ３．シリコン中のヒ素のXAFS評価 ４．シリコン中のリンのXAFS評価 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

左右する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．原理 ３．シリカ粒子の反応性シラノール基の定量 ４．シリコンウエハの表面シラノール基の定量 ５．シラノール基量の加熱による変化 ６．まとめ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

ダイヤモンドのクラリティ観察

マイクロスコープでは目視で確認できない微小な欠陥を観察することができま…

見えるモノでも、拡大すると内包物があったり割れが あったりします。マイクロスコープでは目視で確認できない微小な欠陥を 観察することができます。 また、マイクロスコープでは半導体電子部品やシリコンチップなどの 検査、観察も行っています。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■マイクロスコープでは目視で確認できない微小な欠陥を観察可能 ■半導体電子部品やシリコンチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。 シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。 ・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能 ・半導体のドーパント濃度分布計測に有効...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

極低温衝撃試験

試験温度も極低温から高温までの広い範囲での衝撃試験に対応し、多数の実績…

ヘリウム温度)から高温までの広い範囲での 衝撃試験に対応し、多数の実績を有しています。 【測定条件(抜粋)】 ■試験温度と温度調整 ・800℃～200℃：電気炉 ・200℃～常温：シリコンオイルとオイルバス ・0℃～-70℃：エタノールとドライアイス ・-70℃～-150℃：イソペンタンと液体窒素 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 川重テクノロジー株式会社

顕微EL/PLイメージング装置　PVX1000+POPLI-μ

太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微PL観測

製品特長 １．シリコンウェハ（6インチ角以下） ２．超高感度冷却CCDカメラ（100万画素、－70℃） ３．平面レーザー光源により視野内の一括イメージング測定が可能 ４．高機能画像演算ソフト搭載 ５．専用の高遮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

超音波の測定・解析・評価の出張コンサルティング

超音波機器の音圧測定・解析に基づいた、コンサルティング対応を行っていま…

オリジナル超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 　発振範囲　１ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　１ｋＨｚ～９００ＭＨｚ以上 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

■使用する探針 シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています。 ■タッピングモード タッピングモードは、探針を約300kHzの高周波で強制振動さ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】撥水箇所の成分分析

TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です

密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。T...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

イオンミリング装置による受託サービス｜JTL

機械研磨では潰れて観察できない構造をきれいに面仕上げします。

常に弱いアルゴンイオンビームを照射することで、観察・分析用の研磨・エッチングを行う断面研磨装置です。 従来の機械研磨では、銅やアルミ材などの軟質材では研磨面が潰れたり、ダレが発生し、セラミックやシリコンなどの硬質材では割れやクラックが発生しましたが、イオンミリング装置ではこれらの問題を解消し、きれいで損傷のない観察面が得ることができます。 イオンミリング装置は、微小領域の高倍率観察・分析を行う...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

技術情報誌 201903-01 最先端SIMS分析装置

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

の装置外観写真 表１　NanoSIMS 50Lの特徴 図２　毛髪の断面構造 図３　NanoSIMS 50Lによる毛髪断面のイオウ（S）のイメージング 図４　SiC中のアルミニウム（Al）、シリコン（Si）、リン（P）の三次元イメージング 図５　SiCデバイスのリン（P）、酸素（O）の二次元イメージングと抽出領域、二次元イメージングから抽出したPのデプスプロファイル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

ケイアールエム株式会社　事業紹介

専門技術とワンストップ生産体制で切削加工・造形加工・注型加工の未来を拓…

およびコスト面での提案 ◆造形加工/真空注型加工 ◎造形加工 　高速モード、高品質モードの選択が可能 ◎高精度3Dプリンタ 　商品開発サイクルの短縮と品質の向上に ◎真空注型加工 　シリコンで型取りした後、樹脂を注入して制作 　複雑形状の製品は光造形加工にて作成 ◆受託測定サービス 　測定ワーク1個から量産数まで対応 　検査成績表を添付 ※詳しくはカタログをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ケイアールエム株式会社

【分析事例】有機・無機ケイ素材料の評価サービス

材料特性に合わせた試料調整技術および測定・解析技術を駆使し、有機・無機…

ケイ素材料はシロキサン・シリコーンのような有機ケイ素材料、 シリカ・シリコンのような無機ケイ素材料からなり、 その化学構造により様々な特性を有し、 工業材料として原料から製品まで幅広い分野で活用されています。 一方で、その多様性から広い範囲での評価が必要です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

顕微EL/PLイメージング装置　PVX1000+POPLI-μ

太陽電池セル製造工程中のWaferの微細な構造を顕微PL観測

製品特長 １．シリコンウェハ（6インチ角以下） ２．超高感度冷却CCDカメラ（100万画素、－70℃） ３．平面レーザー光源により視野内の一括イメージング測定が可能 ４．高機能画像演算ソフト搭載 ５．専用の高遮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス