【内部流路】拡散接合【セラミックス・石英ガラス・純モリブデン】

PR拡散接合により、内部に流路を有する複雑形状が実現可能！石英ガラス、純モ…

拡散接合は材料同士を直接接合させる技術です。 接着剤、ロウ材を使用しないため、不純物による汚染問題が起きません。 また、塑性変形の発生を抑えることもできます。 拡散接合を用いることで、通常の切削加工では実現できない中空構造や、内部流路、真直度の良い深穴を形成可能です。 ヘリウムリークテスターを保有しておりますので、リークテストの実施も可能です。 【拡散接合実績材質】 ・アル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トップ精工

【破砕機・粉砕機】ロールブレーカー　ダブルロールクラッシャー

PR1,000台の納入実績！砕くのが難しい材料でも簡単粉砕！※破砕テスト実…

ロールブレーカーは、2つのロールで破砕するダブルロール式の破砕機・粉砕機です。金属シリコン、セラミック、合金、スラグ、焼成品、石炭、コークス、コンクリート廃材など硬質原料の二次から三次破砕に広く使用され、構造が簡単で能率が極めて良いことから、1,000台を超える国内随一の納入実績を誇っています。 ★粉砕テスト実施中！ 破砕機の選定は、被処理物や処理能力、使用条件などによって、机上における選定は難...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社前川工業所

結晶欠陥検出装置 ラマン測定装置・歪シリコン測定装置

高性能顕微サンプル室を装備しており,高精度ラマン分光測定を実現

ラマン測定装置とは、物質に光を照射した際に、物質の散乱光に入射光とは異なる波長の光（ラマン錯乱:RamanScattering）を測定し、その分光情報を基に結晶化の程度や結晶格子の歪み、シリコン基板の応力測定を、顕微サンプル室を標準装備することで高精度な測定を実現しています。高性能顕微サンプル室を装備しており高精度測定を実現。波数分解能、空間分解能、短波長励起ラマン、高波長励起ラマン、低...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社

【技術資料】ブラックシリコン冷却CMOSカメラシステム

冷却によりノイズを低減！波長1200nmまで対応し、半導体検査や成分分…

『CS-64NIR』は、冷却によりノイズを限りなく抑えた、 近赤外領域の感度が高いブラックシリコン冷却CMOSカメラシステムです。 InGaAsカメラのような輸出規制もありません。 波長1200nmまで受光可能なブラックシリコンCMOSセンサーを搭載することで 物質を透過させての撮影...

メーカー・取り扱い企業： ビットラン株式会社

落下塵カウンターDTSP10シリーズ　測定サービス

ゴミブツ不良でお困りの方、必見！！

【手順】 1.メール、ＦＡＸにて測定サービスのお申し込みをお願い致します。 　折り返し、支払い方法等の連絡をとらさせて頂きます。 2.落下塵収集用のシリコンウエハを送付致します。 3.添付の測定マニュアルに従いシリコンウエハをセッティング・回収。 4.弊社までシリコンウエハを送付して下さい。 5.実働10日程度で測定結果をデータにて送付致します...

メーカー・取り扱い企業： NCC株式会社

ワイヤレスで使用で、超高精細！　デジタルX線ディテクター・カメラ

JIS Z3110に規定されている板厚10mm以下の、複線形像質計（J…

ワイヤレス・ポータブルX線デジタルディテクター『Image Dr.K2923』は、超高解像度アモルファスシリコンパネルを使用し、超高精細な検査画像が検出できます。 溶接の内部の欠陥、プラントの配管の内面・外面腐食や不審物の内部の確認等で、リアルタイムで計測でき、作業時間を大幅に短縮可能になりました。 ...

メーカー・取り扱い企業： ダイヤ電子応用株式会社

信頼性保証サービスのご紹介

JIS・JEDEC・MIL等の標準規格に準じ、様々なエレクトロニクス製…

マイクロフォーカスX線透過観察 ■超音波顕微鏡観察 ■ESD評価試験 ■CDM評価試験 ■万能引張評価試験 ■断面（研磨）観察サービス（環境試験前後の評価も可能です） ■太陽電池（結晶シリコン/アモルファスシリコン/化合物/有機薄膜など）EL発光現象 ■発熱観察...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

金 /銀 / アルミ / ITO コート基板

金 /銀 / アルミ / ITO コート基板 (スライドガラス / …

X線回折(XRD)、半導体等、多種多様な研究用途に原子間力顕微鏡(AFM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)他電子顕微鏡全般でご使用ください。 スライドガラスのみならずシリコンウエハや雲母基板もございます。金(Au)/銀(Ag)/アルミ(Al)/ITOコートがメインです。 高反射率の金蒸着スライドはSEMによる反射電子像【BSE(Back Scattered El...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和貴研究所 千葉県松戸市小金原7-10-25

マニュアル型透明基盤検査装置

ニーズにお応えする基板異物検査装置

「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで 難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。 また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

デジタル音聴式 漏水探索機『きくぞう君/ステットフォンSDR』

安全な姿勢で音聴できる音聴棒用増幅器やデジタルアンプ搭載のハンディ機を…

、デジタル音聴式 漏水探索機「きくぞう君」と 「ステットフォンSDR」についてご紹介します。 「きくぞう君」は、漏水の音を大きく、安全な姿勢で音聴できます。 また、耐久性と遮音性に優れるシリコンボディです。 「ステットフォンSDR」は、漏水音が的確に聞こえるデジタルアンプ搭載の ハンディ機です。 【特長】 ＜きくぞう君＞ ■両耳音聴で漏水音に集中できる ■200時間以...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グッドマン

CMPパッドコンディショナー

ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成！CMPプ…

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。ダイアモンド砥粒をシリコン基板、あるいはセラミック基板にCVDコーティングした構造です。ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成しました。耐スラリー性も強く、スラリーによる化学的な侵食もありません。また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

直線式トップヒューズ接着プレス『HP-600TL』

トップフューズ芯接着に最適化されたヒーター配列！ベルトの耐久性も向上し…

レスです。 前3本のヒーターは初期に芯地樹脂を十分溶解させ、 後半6本のヒーターが溶解樹脂のアンカー効果を促進します。 また、トップフューズ芯接着用に上側圧カローラーは高温タイプ シリコンラバーを、下側圧カローラーは生地表面の仕上がりを考慮した スチールローラーを採用しています。 【特長】 ■熱効率に優れた湾曲ヒーター配列を採用 ■トップフューズ芯接着に最適化されたヒー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハシマ 本社管理センター

リニアガラススクライバーLGS30

スペックとしてはケガキ精度30ミクロン（30μm）です。

ガラスやシリコンウェハを割るためには表面に傷を入れる必要があります。 この装置は超硬のホイール刃で精密に傷を入れることができます。 その傷を入れる（けがく）精度が30ミクロン（30μm）です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 精密工業

波長1.1-17μm・ローコスト・ラボ用ATR光ファイバプローブ

Bayer、BASF、bp、Chevron、Dow、Pfizerなどで…

------------------------------------------------- Di- ATR （ダイヤモンド） ZnSe- ATR （セレン化亜鉛） Si- ATR （シリコン） ZrO₂- ATR （ジルコニア）...

メーカー・取り扱い企業： サンインスツルメント株式会社 本社

Cubert_動画ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20

350~1000nmのUVからNIRを1台でカバー。ライトフィールド技…

・測定波長範囲[nm]：350~1000nm ・波長チャンネル数：164 ・空間分解能（空間解像度）[px] 410×410 ・視野角（FOV）： Typ.35° ・センサー： シリコンCMOS ・センサーサイズ[MP]：20...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

広範囲一括撮像方式外観検査システム『アズビジョン』

移動軸無し、最速3秒の高速タクト！シンプル操作で基本設定10分で検査を…

「メッシュマッチング技術」で全体画像の指定部分を 精細に検査するシステムです。 一般的なメッシュマッチングでは対応の難しい、位置精度のない部品の検査が 可能。足の長い挿し部品の欠品の他、シリコンや手押しの刻印など、これまで 自動検査が難しかったさまざまな対象の検査が可能になりました。 スマートHDR機能があり、広角レンズ＋画処理でピント合わせ不要、 高さ80mmの部品まで検査が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーヨーコーポレーション

オーダーメード対応超音波発振制御プローブの製造技術（特性テスト）

超音波による音響特性テスト

、以下の範囲について対応可能となっています。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～１００ＭＨｚ 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響特性＞を把握することで 　発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性につい...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

【動画撮影可能】ハイパースペクトルカメラ ULTRIS XM

1000 × 1000 px の高い画像解像度でスペクトル画像を生成可…

00~900nm(規格品) ※350 ～ 1000nm の間の 500nm を選択可能 ・波長チャンネル数：51 ・空間分解能（空間解像度）[px] 1000×1000 ・センサー： シリコンCMOS ・センサーサイズ[MP]：24...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

Cubert動画ハイパースペクトルカメラULTRIS SWIR1

近赤外波長を撮影可能な動画ハイパースペクトルカメラ。

・測定波長範囲[nm]：980~1650nm ・波長チャンネル数：38 ・空間分解能（空間解像度）[px] 200×200 ・センサー： シリコンCMOS ・センサーサイズ[MP]：1.3...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＮ

デバイス開発やウェーハ洗浄チェックに最適な小型・省スペースの卓上パーテ…

ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。 マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。 ラボや装置横への設置も簡単です。 シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山梨技術工房

超音波と表面弾性波（オリジナル超音波システムの開発技術）

オリジナル超音波プローブの「発振・制御」技術

波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ（特別タイプ　２００ＭＨｚ） 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～１００ＭＨｚ（特別タイプ　３００ＭＨｚ） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響特性＞を把握することで 　発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性につい...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

ゴム・プラスチック硬度計 HT-6510A

軟質プラスチック、ゴム、合成ゴム、シリコン、ビニール、フェルト、皮革な…

ポケットサイズの硬度計で主に軟らかめのゴム・プラスチックを測定できます。 ...■仕様 型式：HT-6510A 規格：DIN53505,ASTMD2240,ISO7619,JISK7215 測定範囲：0-100 HA / HD及び0-100HC 分解能：0.1H 表示：硬度値、最大値、最小値 電源：単4型バッテリー×4バッテリーインジケーター、オートスイッチOFF インターフェ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キューブイノベーション 測定キューブ

非破壊素材系検査

新素材も対象！高速データ処理技術や高速画像処理技術・解析アルゴリズムに…

属複合材接合部オンライン超音波検査システム ■ラインパイプ用鋼内部組成超音波検査システム ■銀ビレット生産オンライン超音波検査システム ■アルミビレット生産オンライン超音波検査システム ■シリコンウェハー生産オンライン超音波検査システム ■ベアリング用丸棒生産オンライン超音波検査システム ■スパッタリングターゲット材内部組成超音波検査システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エンターシステム

リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』

下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボ…

90度/1.2sec 　・分解能：0.11250度 ■マッピング 　・動作範囲：70mm 　・搬送速度：70mm/1.2sec 　・分解能：13μm ■被搬送物：2、3、4、6インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

水銀プローブCV/IV測定装置『MCVシリーズ』

水銀プローブにより電極の形成が不要！R&Dにおける開発時間の短縮、Lo…

『MCV-530/530L/2200/2500』は、半導体シリコンウェハーの電気特性や MOSデバイスの酸化膜等の特性評価を可能にする装置です。 従来ではウェハーにゲート電極としてPoly-SiやAl等を蒸着し、MOS構造・ ショットキー構造形成後にC...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』

テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセン…

度：180度/0.9sec 　・分解能：0.00359度 ■上下 　・動作範囲：300mm 　・搬送速度：300mm/1.0sec 　・分解能：5μm ■被搬送物：6、8、12インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

マクロ検査装置『ARCscan　TypeRE&ME兼用』

今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！

　→ナノインプリントモールド、導光板、拡散板、レンズアレイ ■エッジ反射マクロ光学技術でパターン形状と相関性の高いエッジ検出 〔Type:ME〕 ■マクロ光学系でナノの評価が可能 　→シリコン・SiC・化合物ウェハのマクロ外観検査 ■オフアクシス光学系で10nm以下のパターン群の変化を検出 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： スミックス株式会社

太陽電池セル用検査システム『KSXCシリーズ』

高効率太陽電池セルも高速高精度に測定可能！高信頼性設計で提供する画期的…

『KSXCシリーズ』は、結晶シリコン系PVセルの研究開発評価用並びに 量産ラインのIV自動測定とクラス分けに適した太陽電池セル用検査システムです。 当社と国立研究開発法人産業技術総合研究所（AIST）との共同研究により 開...

メーカー・取り扱い企業： 共進電機株式会社

懐中電灯型表面検査ライト『SIL-220A』

軽量・コンパクトな高輝度グリーンLED表面検査ライト

『SIL-220A』は、高輝度グリーンLEDでシリコンウェハ、ガラス、 セラミック、金属、フィルム・合成樹脂などの微細なキズ、ホコリ などの目視検査に適した懐中電灯型表面検査ライトです。 人間の視覚が敏感な、520～535nm黄緑色の光で微...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西日本常盤商行

K-Kit ウェットセル TEM用液体サンプルホルダー

TEM付属標準グリッドホルダーで観察可能！材料系・化学系・バイオ系の研…

【その他の特長】 ■シリコンベースの材質（MEMS技術） ■真空下で使用できる汎用接着剤 ■Si3N4メンブレン膜 ■圧力変化に耐久性がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社

結晶欠陥検査装置『EnVision』

非破壊/非接触！nmスケールのウェハー内部の拡張欠陥の検出とモニタリン…

陥の 検出感度を、従来の手法よりも大幅に向上させています。 【特長】 ■非破壊/非接触 ■従来の検査装置では確認できない欠陥を可視化 ■対象領域：活性デバイス領域（表面近傍） ■生シリコンと活性デバイス深さでの検出 ■専門知識は不要 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

エアー駆動式全自動転写用プレス『HP-4536A-10/12』

均一に加圧できる水平加圧方式を採用！安定した圧力バランスで作業が行えま…

【その他の特長】 ■圧力、温度調整、時間はダイヤルで簡単に行える ■下ゴテにシリコンマットを使用 ■安定した圧力バランスで作業が行え、転写ムラを防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハシマ 本社管理センター

原子間力顕微鏡『ハンディAFM』

圧倒的な分解能を実現！今まで隠れていた微少な現象を測定

【測定検査例】 ■ソーラーセル ■炭化珪素薄膜 ■量子ドット ■シリコンウエハ ■プローブ痕 ■ICパターン ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

カメラ、ディテクタの校正用　均一標準光源システム　Helios

【カメラ、ディテクタの感度むら校正用】積分球を用いることで非常に均一な…

ることができます。手動もしくは自動アッテネータにより微妙な輝度値の出力設定が可能です。 ・積分球 ・ハロゲンランプ ・ランプ電源 ・輝度調整用手動又は自動アッテネータ ・視感度補正型シリコン検出器 ・システムソフトウェア ...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

液晶関連検査機

液晶関連検査機などの設計・開発を承ります！

した検査機が使用されています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【営業品目】 ■LCD関連検査機 ■エージング装置 ■STN ■TFT ■OLED ■低温ポリシリコン　など ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テイク・システムズ

液体計測専用近赤外分光アナライザ「A8860」

食用油・飲料・石油などの液体試料を対象に、最適な透過測定を実現する近赤…

0 Abs 400-700nm ＜50μAbs 700-2500nm ＜30μAbs データ間隔 0.5nm スキャン速度 　 2スキャン/秒 検出器 400-1100nm Si（シリコン） 1100-2500nm PbS（硫化鉛） 計器間波長精度 NIST標準に対して ±0.075nm以内 電源入力 単相AC 100V-240V　50/60Hz 消費電力 最大200W ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニレコ

株式会社小木製作所　事業紹介

設計・製造・組立の部門を有しワンストップ製造サービスを提供！

器 ○試作品：製品試作組立検証・調整 ○量産品：工業用計測器 ○修理：装置・治具・調整 [協力外注] ○ワイヤー・放電 ○板金部品：精密板金・金型プレス ○ゴム加工・成型：ウレタン・シリコン・ネオプレン ○表面処理・塗装 ○熱処理：窒化処理・タフドライド・真空焼き入れ・高周波焼き入れ ○研磨：平面研磨・円筒研磨・成型研磨・センターレス研磨 ○モデリング3Ｄ加工 ○ダイキャス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社小木製作所

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備 ■ウエハーサイズは4インチが基...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

培養細胞伸展システム『ビロローン』

血管内皮細胞・心筋細胞・線維芽細胞・骨格筋細胞など各種細胞に適用可能 …

による血管壁の変動をシュミレートするシステムです。 パソコンコントロールのより4台の伸展装置を独立して駆動でき、 伸展率、速度の変化による細胞応答を解析できます。 【特長】 ■極薄シリコン膜チャンバーにより、様々な蛍光イメージングの観察が可能 ■従来機に比べ、優れたシステムの拡張性 ■大量培養すれば、遺伝子、タンパク質レベルの生化学実験に応用可能 ■従来機に比べ、細胞全体によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スカラテック

ローラ測定機　型式 WCR-1000

高速高精度、非接触、計測角度、0度～測定でき簡単に使えます。

シリコンインゴットを切断するワイヤカット機のローラー溝形状非接触測定機です。 断面投影法でローラー外周部の溝形状をラインカメラ移動で撮影して60秒で全溝データを測定します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

『設計開発支援』

製品設計段階からのVA/VE提案！既存製品の改良から新規製品の開発まで

【対応加工例】 ■機械加工(マシニング、フライス、放電、ワイヤー) ■光造形 ■3D プリンタ ■真空 注型(シリコン型、アクリル型〈ゴム類対応〉) ※表面処理(メッキ、アルマイト、塗装)等の二次加工にも対応しております。 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Ring

【臭気対策事例】シリコン加工工場汚泥脱水室内対策

産業工場様向け臭気対策納入実績のご紹介

頂戴できる臭気対策をご提案し、 調査・測定から脱臭装置の設計・製作・施工まで一貫してお手伝いさせていただきます。 様々な工場様の臭気対策に取り組んだ当社が事例をご紹介いたします。 【シリコン加工工場汚泥脱水室内対策】 ■経緯 シリコン加工を行う際に排水汚泥が発生し、脱水室で水と固形物を分離している 部屋内が汚泥の発酵により強烈な硫化水素などの硫黄系臭気を発生させており、 上階...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社共生エアテクノ

卓上型アライナー『AA2568』

2相ステッピングモータを使用！5、6、8インチシリコンウェハ対応アライ…

【仕様】 ■被搬送物：5、6、8インチ　シリコンウェハ ■位置決め精度 　・センタリング：±0.1mm以内 　・ノッチ：±0.15度以内 ■位置決め時間：6秒以内 ■クリーン度：ISO クラス2 ■供給源 　・電源　DC24V 3...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

動画ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20 Plus

350~1000nmを1台でカバー。UAV用に特化して設計された高分解…

164 ・パンクロマティック解像度：1880×1880 px、 ・スペクトル解像度：410×410px（168,100 スペクトル） ・視野角（FOV）： Typ.35° ・センサー： シリコンCMOS ・センサーサイズ[MP]：20...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『SR1160-310』

全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット

　・動作範囲：306mm 　・搬送速度：306mm/1.2sec 　・分解能：5μm ■ロータリ 　・動作範囲：180度 　・搬送速度：180度/1.2sec ■被搬送物：12インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』

ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボ…

：200mm/0.8sec 　・分解能：5μm ■ハンド反転 　・動作範囲：180度 　・搬送速度：180度/1.2sec 　・分解能：0.05625度 ■被搬送物：5、6、8インチ　シリコンウェハ ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式ダブルアームクリーンロボット『PR2111-60』

板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロ…

　・搬送速度：180度/0.6sec 　・分解能：0.00556度 ■上下 　・動作範囲：60mm 　・搬送速度：60mm/0.5sec 　・分解能：5μm ■被搬送物：8インチ　シリコンウェハ無処理品 ■繰返し精度：±0.1mm 以内 ■クリーン度：ISO　クラス2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社