【破砕機・粉砕機】ロールブレーカー　ダブルロールクラッシャー

PR1,000台の納入実績！砕くのが難しい材料でも簡単粉砕！※破砕テスト実…

ロールブレーカーは、2つのロールで破砕するダブルロール式の破砕機・粉砕機です。金属シリコン、セラミック、合金、スラグ、焼成品、石炭、コークス、コンクリート廃材など硬質原料の二次から三次破砕に広く使用され、構造が簡単で能率が極めて良いことから、1,000台を超える国内随一の納入実績を誇っています。 ★粉砕テスト実施中！ 破砕機の選定は、被処理物や処理能力、使用条件などによって、机上における選定は難...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社前川工業所

【サンプル提供可能！】シリコンフォームシート「ハマガスフォーム」

PR広範囲での使用を可能にした、環境に配慮したシリコンフォームシート！

『ハマガスフォーム』は、液状シリコーンゴムの発泡体で 断熱、遮音、耐熱、難燃性において、優れた特性をもつシートです。 －40℃～180℃迄、短時間なら200℃まで物性に変化がないので安心 して使用できます。撥水性にも優れているため、グラスウール、 ウレタンフォームに比べ長期断熱性がよいです。 また、フロン、炭酸ガス等地球環境問題になるものは一切使用して おらず、万一燃焼してもハ...

メーカー・取り扱い企業： 浜松ガスケット株式会社

洗浄装置　太陽電池　シリコンウエハー洗浄装置

精密な部品を洗浄するのに最適。

太陽電池に使用されるシリコンウエハーの洗浄ラインです。 完全オーダー品だからこそ、細かなニーズにお応えできます。 #清浄度#コンタミ#超音波#油分残差#炭化水素#有機溶剤#水溶性洗剤#水系洗剤#準水系洗剤​...

メーカー・取り扱い企業： 特機工業株式会社

シリコンクリーニングワイパー『SCW-300』

すみずみまでスッキリ拭き取る！車のボディ、窓の曲線、ガラスフィルムにも

『SCW-300』は、一体成型のシリコンクリーニングワイパーです。 適度な柔らかさでよくしなるので曲面にフィット。傷をつけずに 水気がよく切れます。側面を使えばサイドミラーなどの細かい 部分も隅々まで綺麗に拭き取れます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツキ 本社/東京支店

太陽電池シリコンチップ洗浄機の世界市場レポート2023-2029

太陽電池シリコンチップ洗浄機に関するグローバル市場分析、市場規模、販売…

2023年5月15日に、QYResearchは「グローバル太陽電池シリコンチップ洗浄機に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。太陽電池シリコンチップ洗浄機の市場生産能力、...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

ポリシリコン洗浄装置

チップからインゴットまで

チップからインゴットまで１台で複数種のワーク処理が可能...【特長】 ○オートハンドラーによるロット同時処理 ○処理量：～20T／日　処理可能 ○各槽温度コントロール機能付き ○BSH乾燥機によるワーク及びバスケットの完全乾燥 ○処理槽サイド排気によるNOXガス滞留極小抑制 ○様々な追加機能をご用意 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所

事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズル…

行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、太陽電池用シリコン基板の切削粉を除去処理した際のデータ資料を掲載しております。 【特長】 ■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減 ■使用するのは「純水」のみ ■化学薬品の使用量を大幅に削...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

高性能高機能な洗浄機　ライン規模やレイアウトに応じた洗浄機を提供

完全オーダー品で細かなニーズに対応可能！自動超音波洗浄機や自動車部品精…

【他、高性能・高機能な洗浄機のご紹介】 ■太陽電池シリコンウエハー洗浄機 　粗洗浄装置と仕上げ洗浄装置に分けて洗浄 　シリコンウエハー用洗浄機 ■有機EL マスク洗浄装置有機ELマスク洗浄装置 　有機ELディスプレイ用マスクの洗浄 　先進の洗浄技術を集約...

メーカー・取り扱い企業： 特機工業株式会社

【製薬会社必見】ゴム栓洗浄滅菌乾燥装置

バイアルやシリンジに用いられるゴム栓パーツ等の洗浄滅菌処理を行います。

ゴム栓洗浄滅菌乾燥装置は、プロセスステーション（装置本体）と可搬型ベッセルにて構成され、バイアルやシリンジに用いられるゴム栓等のパーツに対し洗浄、滅菌、シリコン塗布、乾燥、冷却の工程で洗浄滅菌処理を行います。陽圧リーク、真空リークテストはプロセスの前後で実施可能です。 また、『トランスファーステーション ALD/ALC』は、ゴム栓洗浄滅菌乾燥装置によっ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Atec Japan

ME-5000　枚葉式スピンエッチャー　

ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーで…

『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。 エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

EZブラスト『EZ40-PROZ』

両手での作業が可能になり効率UP！悪条件時でも安心のエアーブレイカー付…

【EZ40-PROZセット付属品】 ■作業用EZゴーグル ■EZサロペット ■EZグローブ ■ファンネル ■シリコンオープナー ■マジックパウダーMPST 25kg×2 ■エアーブレイカー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツキ 本社/東京支店

自動ふき取り装置　小型自動ディスペンサー清掃　Wiper　

手作業であったディスペンサーやノズルの清掃の自動化する装置。超小型サイ…

は、ドイツの精密機器・ 自動化機器メーカーの製造するディスペンサー・ノズルを 自動で清掃する自動化機器です。 拭取れる素材は、エポキシ樹脂、紫外線硬化接着剤、二液混合接着剤、 グリス、シリコン、ハンダと多岐に渡ります。 ディスペンサー・ノズルの外面の自動清掃が可能で自動化された製造ラインにおいて、ディスペンサー清掃の自動化が可能になります。特に製造ラインの自動化が進んでいる自動車...

メーカー・取り扱い企業： 東西商事株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

ハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

プロユーザー向けのEZブラストEZ40-PRO限定販売のお知らせ

作業性を追求したプロユーザー向けの商品を！EZ40-PROを" 50台…

【限定50台の特別付属品】 ■作業用EZゴーグル ■EZサロペット ■EZグローブ ■ファンネル ■シリコンオープナー ■マジックパウダーMPST 50kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツキ 本社/東京支店

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　厚みについては応相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈

ハンディタイプ新登場！蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃…

・蒸気発生装置 ・2流体ノズル 【資料の掲載内容(抜粋)】 ・キャビテーションとは ・蒸気2流体の特長 ・水のレジスト膜への浸透 ・半導体工程での処理例(白金残渣) ・太陽電池用シリコン基板の切削粉除去 ・自動車のタイヤホイール洗浄 ・新たな可能性(メーク落とし) ・水蒸気洗浄の美容・医療への応用 ・ハンディタイプのノズルも開発中！ ※詳しくは資料をご覧下さい。お問...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

特機工業株式会社　会社案内

洗浄エンジニアリングで産業界に貢献する！洗浄技術のコンサルタント

【製品紹介（一部）】 ■太陽電池用シリコンウェハー超音波洗浄装置 ■減圧超音波洗浄機 ■自動車部品精密洗浄機 ■脱気装置 ■直進型超音波フープ洗浄機 ■自動超音波洗浄機 ■有機溶剤系洗浄機 ■巻葉式連続洗浄機 ■有機ELデ...

メーカー・取り扱い企業： 特機工業株式会社

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

F資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、基板洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、低価格、洗浄装置、自動洗浄機、レジスト、バッチ式洗浄装置、シリコン、エッチング装置、RCA洗浄、絶縁膜、成膜、セラミック、ローダーアンローダー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

ゴム栓洗浄滅菌乾燥機

無菌接続ポート、ゴム栓投入リフターを含め、一連の供給システムを完備。

仕上がり乾燥度0.3～0.5Ｗ％、0.1％以下も可能で、滅菌・乾燥のバリデーションが容易であり、オプションでシリコン処理が可能。...

メーカー・取り扱い企業： トーステ株式会社

※テスト洗浄受付中※

ワークをお持ちいただければテスト洗浄を行います！

【製造実績一覧】 ○臭素系洗浄機「オールマイティーシリーズ」 ○太陽電池シリコンウエハー洗浄機 ○有機ELディスプレイ　マスク洗浄機 ○巻葉式連続洗浄機 ○連続自動洗浄機 ○直進型フープ洗浄機 ○脱気装置 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか直接お問合せくだ...

メーカー・取り扱い企業： 特機工業株式会社

《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置

RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセ…

せ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、スクラブ洗浄装置、スクラブ洗浄、ウエハ剥離装置、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

ニングのため、洗浄液の洗浄度管理・廃液処理が不要！ 「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。 【アプリケーション例】 ■レンズ・ミラー　　　■基板・光学部品　　■シリコンウェハー ■半導体回路等のPCB 　■MEMS等の精密機器　■光ファイバー製品 ■通信機器　　　　　　■医療機器　　　　　■航空宇宙関連機器 ■プリンター　　　　　■ディスクドライブヘッド等...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

溶剤系洗浄システム「減圧超音波洗浄装置 マイスター」

最強洗浄力、省洗浄剤、全自動！独自の減圧超音波洗浄システム

実現しました。 自動で洗浄剤を入れ替えて粗洗浄および仕上洗浄の“浸漬2回洗浄”を行います。 その上で蒸気洗浄によるリンスを行うため、きわめて高水準の清浄度を得ることが可能です。 炭化水素系、シリコン系洗浄剤など向け（防爆対応）「マイスターα」、フッ素系、臭素系、塩素系洗浄剤など向け「マイスターβ」、ノンハロゲン非引火性洗浄剤など向け（防爆対応）「マイスターΩ」がございます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プリス

Teknek ミニウェブクリーナー 『MWCn』

メンテナンス・ダウンタイム短縮！世界中で使用可能な高性能クリーニングロ…

【その他の特長】 ■ライン稼働信号による操作 　・自動クリーニング ■完全な装置カバー 　・オペレータに対して安全 ■ナノクリーン+を使用できる 　・シリコンフリーのクリーニングコア ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブルックスジャパン

シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

ニーズに合わせた好適なカスタム装置を提供！プロセス最適化に向けた設計が…

当製品は、シンプルな処理構造で好適なプロセスを実現する シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置です。 メンテナンス性を考慮した部品配置。洗浄装置は各ユニットが モジュール化されています。 「ワイヤーソー後洗浄」「ラップ後洗浄」「アルカリエッチング...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

スクラバードライヤー　総合カタログ

工場での使用を主に考え、シンプル・耐油・頑丈さを重視した床洗浄機を掲載…

インチ×2 搭乗式 ■オプションパーツ 　・パッドホルダー 　・パッド 　・ブラシ 　・スプラッシュガード 　・タイヤ痕洗浄剤「NU12」 　・アルカリ性濃縮洗剤「NU14」 　・シリコン系消泡剤「NU15」 　・スクイジー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本クランツレ株式会社

趙微細ファインバブル発生装置『UFB』

環境・農業・食品・水産業等様々な分野で活用可能！

鮮度保持 　・酸化防止　他 ■水産業 　・水産物の成長促進・収量増加・品質向上 　・養殖環境改善　他 ■洗浄 　・トイレ洗浄 　・生産ライン洗浄　他 ■産業 　・精密剥離 　・シリコンウエハー薄膜分離 ■美容 　・温泉（気泡風呂） 　・洗顔・頭皮洗浄　他 ■その他 　・医療・医薬品 　・船舶　他　など ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： WEF技術開発株式会社

バイアル自動洗浄機『VLW-100』

独立型タッチパネル式コントローラーを採用！洗浄工程や時間をカスタムでき…

装備は6カセット) 【特長】 ■一回あたりの洗浄可能バイアル本数 220本/1set ■金属部はSUS316、配管部はサニタリー配管仕様 ■85℃迄の耐熱性能を有する ■標準装備入水シリコンホースは1.75m/排水ホースは3m 　(他サイズをご要望の際は応相談) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケミカル・リード社

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　厚みについては応相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

UVオゾンクリーナー　UV-1

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

る省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　φ6”～φ8” ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

協同インターナショナルコーポレーション　KITZウォーターガン

KITZウォーターガンは半導体シリコンウェハやガラス基板洗浄装置の槽内…

ウォーターガンの接液部には、ポリプロピレンとフッ素ゴムのみを使用しており、金属イオンの溶出や錆の問題がありません。精密洗浄品(禁油品)ですので、安心して純水にご使用いただけます。...【特徴】 ○金属イオンの溶出や錆の問題がありません ○安心して純水にご使用いただけます ○接液部には、ポリプロピレンとフッ素ゴムのみを使用 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナルコーポレーション

ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表…

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

環境対応型の安全・安心な洗浄剤（洗浄シンナー）

安心安全な洗浄剤をお探しの方必見！トリクレン・臭素系・フッ素代替フロン…

レン・ノルパラ系・イソパラ系など 特長２．速乾型・浸透型・揮発防止剤含有型など多様なラインナップ ●メラミン・アクリル・エナメル・ウレタン・エポキシ塗料 ●インク ●ゴム・ＡＢＳ樹脂・シリコン ●潤滑油・オイル ●機械部品・プリント基板 これらの洗浄・前処理・脱脂が可能です ※サンプルご希望の方は、お問い合わせよりご連絡ください。 ※製品詳細についてはPDFダウンロードか...

メーカー・取り扱い企業： 東洋石油化学株式会社

環境対応型　洗浄剤（洗浄シンナー）　

トリクレン・臭素系・フッ素代替フロン系・キシレン・MIBKをやめたい！…

レン・ノルパラ系・イソパラ系など 特長２．速乾型・浸透型・揮発防止剤含有型など多様なラインナップ ●メラミン・アクリル・エナメル・ウレタン・エポキシ塗料 ●インク ●ゴム・ＡＢＳ樹脂・シリコン ●潤滑油・オイル ●機械部品・プリント基板 これらの洗浄・前処理・脱脂が可能です ※サンプルご希望の方は、お問い合わせよりご連絡ください。 ※製品詳細についてはPDFダウンロードか...

メーカー・取り扱い企業： 東洋石油化学株式会社

ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表…

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

UVオゾンクリーナー　UV-300H

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-300Hは、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。本装置は従来のUV/O...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

UVオゾンクリーナー　UV-300

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-300は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社