【サンプル提供可能！】シリコンフォームシート「ハマガスフォーム」

PR広範囲での使用を可能にした、環境に配慮したシリコンフォームシート！

『ハマガスフォーム』は、液状シリコーンゴムの発泡体で 断熱、遮音、耐熱、難燃性において、優れた特性をもつシートです。 －40℃～180℃迄、短時間なら200℃まで物性に変化がないので安心 して使用できます。撥水性にも優れているため、グラスウール、 ウレタンフォームに比べ長期断熱性がよいです。 また、フロン、炭酸ガス等地球環境問題になるものは一切使用して おらず、万一燃焼してもハ...

メーカー・取り扱い企業： 浜松ガスケット株式会社

『粉体搬送ポンプ』

PR手作業による労力・飛散の問題を解消！マイカ、アクリル樹脂などの粉末に対…

当社では、乾燥粉体を迅速かつクリーンに搬送処理できる 『粉体搬送ポンプ』を取り扱っています。 「PPシリーズ」は乾燥重量721kg毎立方メートルまでの粉体に対応し、 カーボンブラック、シリコン、アクリル樹脂などの搬送に使用可能。 手作業に要する労力や粉塵飛散といった問題の解決に役立ちます。 また、「SPシリーズ」は流体接続部がクランプ留めの構造のため 分解しやすく、洗浄メンテナ...

メーカー・取り扱い企業： インガソール・ランド・アイティーエス株式会社

ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとし…

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でウエハホルダーとして使用するキャリアを各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能です。 【特徴】 ■各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能 ■ワークホルダー内側にキズ防止 　・ワークホルダー内側にキズ防止の為に樹脂インジェクション成型します。 ■より品質の高い製品を提供 　・長年の経験に基づいた仕様提案、お客様のニーズに合った製品を提案し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター

2枚重ねが出ない構造になっています！

粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

マイクロセル W 型シリコンウェハ用セットYTC300

シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっき等の基礎実験に最適です…

槽容量　M1：300mL, M2：500mL, M3：1000mL 小型ろ過器や加温装置などニーズに合わせて組み合わせできます。 ＊ウェハをカットせずそのままめっきされたい方には、別途シリコンウェハ用めっき実験装置もございます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山本鍍金試験器

シリコンウェハ用めっき実験装置セット

2～12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。

基板素材 シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。 特注製作について 標準装置をベースに、お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具へカスタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山本鍍金試験器

シリコンウェハ用圧力分布測定システム

歩留まりアップを圧力管理からサポート！

◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社

シリコンジャケットヒーター（配管用ヒーター）

着脱容易な配管用ジャケットヒーターです

ヒーター部とジャケット部が分離する構造のため、メンテナンス性が向上しました。 配管との密着性が高く、エネルギー効率の向上により省エネに寄与します。 ...ＡＣ１００Ｖ、２００Ｖ等ご使用電圧に合わせて設計いたします。 ４０Ａ、５０Ａ、８０Ａ、１００Ａ ストレート、Ｌ型、Ｔ型等各種配管径、長さ、計上等に対応可能 耐熱温度：１８０℃...

メーカー・取り扱い企業： 菱有工業株式会社

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

減」に貢献 　・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) 　・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの 　　納入実績(400台以上)あり ■豊富な関連装置の取り扱い経験 　・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

半導体材料　半導体用銅めっき液

シリコン貫通電極 (Through Sillicon Via TSV)…

半導体デバイスの微細化・高速化にともない、シリコン貫通電極 (Through Sillicon Via TSV)が注目されています。当社ではTSVをはじめとする銅電極及び配線をターゲットとした電解めっき薬液の開発・製造を行っています。詳しくはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

ハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

大容量・小型　ステンレス製電磁弁

安価で高品質の2・3・4WAY電磁弁

■本体材質はSUSが標準仕様で種々の流体に対応可能なシート、 　 シート材質をニーズに合せて提供できる 　 （材質：テフロン、バイトン、パーフロロエラストマー、シリコン等） ■耐腐食性、シール性に優れている ■スチーム等の高温仕様には、Hコイルを採用し、内部洗浄処理等で対応可能 ■詳細は最下部のアンケートからお問い合わせ下さい■...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

陽極接合装置

陽極接合装置

【仕様】 ・加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合可能 ・研究、開発に適したコンパクト&エコノミータイプ ・アライメント部は小型設計の卓上型 ・試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6イン...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。　浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調した移送機構により１枚ずつ前方に移動し送り出される。 ◎適応 ・多結晶シリコン太陽電池ウエハ（□125mm　□156mm、□200mm） ・単結晶シリコン太陽電池ウエハ（□125mm　□156mm、□200mm） ・薄膜太陽電池 ・アモルファス太陽電池 ・色素増感太...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

【アオイ電子】ナノピンセット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境…

アオイ電子製ナノピンセット（Nano Tweezers）は、MEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を用いてシリコンウェハより作製されたピンセットです。 専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、先端が滑らかに開閉動作し、ナノ～ミクロンサイズの物体の把持が可能です。ナノピンセットを用いることで、TE...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…

SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全な...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 　表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため 　厚みのある基板（試料)を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

超高精度フリップチップ・ダイボンダー

±1um以下の超高精度アライメント。試作開発に最適

調整にて超高精度ボンディングを行います。 （型式：MOA1250の場合 無負荷アライメント±１micron） PC又はシーケンサーコントロールにより簡易に高精度ボンディングを実現。 ●シリコンウェハー／チップ／セラミック基板／FR4等対象物を選びません。 ●アクチュエーター単位に移動量のフィールドバックを行い、超高精度を実施。（MOA-1250タイプ） ●エアーカーテン方式ヒー...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

チャッククリーニングウェハ(CCW)

生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

が期待できます。 【特長】 ■チャックの表面形状に合わせた3D加工も可能 ■専用のメンテナンスシートでクリーニングウェハの再生も可能 ■チャック上のゴミ/パーティクルを除去 ■生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

リニアガラススクライバーLGS30

スペックとしてはケガキ精度30ミクロン（30μm）です。

ガラスやシリコンウェハを割るためには表面に傷を入れる必要があります。 この装置は超硬のホイール刃で精密に傷を入れることができます。 その傷を入れる（けがく）精度が30ミクロン（30μm）です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 精密工業

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。 ウェハーサイズは、下記２タイプを用意 ■FM-6648：8インチまで ■FM-6643：12インチまで シリコンウェハ、ダイシングフレームに各種テープを気泡なしで瞬時に貼りつけることができる装置。プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発。プリカットテープ専用装置、ノーマルテープ専用装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

「ナノピンセット」リーフレット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な微小ピンセットのリーフレットで…

イズの試料の把持が可能な微小ピンセット「ナノピンセット」をご紹介するリーフレットです。 ナノピンセットとは、MEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を用いてシリコンウェハを微細加工して作製されたピンセットです。専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、ピンセット先端が滑らかに開閉動作し、ナノ～ミクロンサイズの物体の把持が可能です。先端間隔を細かく制...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

浮遊帯域精製装置（ＦＺ装置）

シリコンロッドの浮遊帯域精製装置（ＦＺ装置）

シリコンロッドの浮遊帯域精製、単結晶化するための 装置です。...

メーカー・取り扱い企業： アカイ電子工業株式会社

レーザー加工機　『カスタマイズ可』『サンプル加工無償実施』

お客様の要望に合わせたレーザー発振器を選択し、さまざまなレーザー加工用…

工事例】 ◎取扱レーザー　波長：IR、SHG、THG、FHG　パルス幅：ナノ秒・ピコ秒・フェムト秒(超短パルスレーザ)　 ◎対象材料　Al2O3(アルミナセラミックス、窒化アルミ)、Si(シリコン)、SiC(炭化珪素)、 LT(リチウムタンタレイト)/LN(リチウムナイオベイト)、GaN(窒化ガリウム)、各種ガラス、ポリイミド、ペットなど ◎加工事例　スクライブ(溝堀)、切断、穴あ...

メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

ハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。 　ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ロボット型フィルム研磨装置　※動画付き

多軸ロボットによる新たなるフィルム研磨加工法への挑戦！動画でご覧いただ…

・軸形に於ける多工程加工の面精度向上を1HEAD対応で可能に ・ガラス・セラミック・樹脂基板等々への端面部の最終面精度向上 ・パワー半導体・シリコンウエハー等の外径円周部の面精度向上 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

中古製造装置設置提案サービス

酸化拡散、注入装置、エッチングなど！当社で行う製造装置設置などをご紹介

当社では、150mmまたは200mmのシリコン半導体、125mmまたは 150mmの化合物半導体、および第3世代の半導体への中古製造装置設置、 再生装置販売を行っております。 製造装置には酸化拡散、注入装置、リソグラフィーマシン、エ...

メーカー・取り扱い企業： TST SEMICONDUCTOR株式会社

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

■仕様 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコンウエハー、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法（WxDxH）：1,050x1,200x2,000mm ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

標準型シリコーンラバーヒーター

被加熱物の形状に合わせ、様々な形状が製作可能。 1枚からでも製作致し…

・ヒーター厚はわずか1.5mmなので、熱応答性に優れています。 　※シートを積層する事により厚みの調整も可能です。 ・シリコーンラバーの柔軟性をいかし、被加熱物のどんな形状にも完全に 　フィット可能です。 ・低温度から200℃まで使用可能。 ・低電圧から100V・200V・240Vなど、各種電圧設計に対応可能。 ・シリコーンラバーヒーターの材料はUL規格ファイルNo.E54153を使用...

メーカー・取り扱い企業： 新日電熱工業株式会社

タクトタイムの大幅削減と微細塗布を実現！新型超精密ディスペンサー

連続塗布でタクトタイムを大幅削減！高精度な微細塗布も可能にする新型超精…

イムを約7割削減（理論値）する事ができ、生産性の向上に貢献します。※当社従来機種比 また、直径±20μm以内の精度の高いはんだJETによる塗布も実現。 エポキシ熱硬化性樹脂、クリーム半田、シリコン系熱硬化系樹脂 等、様々な塗布剤にも対応しています。 【特長】 ■驚異の微小性を実現：クリーム半田110μm、エポキシ系熱硬化性樹脂80μm、UV 接着剤100μm等 ■動的位置精度の向...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社進和 メカトロシステムセンター

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコン、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法：幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm) ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

端面鏡面加工装置

スラリー不使用　濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行…

磨、洗浄等を行う研磨装置 ■用途例 　　鏡面仕上げ加工・鏡面仕上げ加工・端面異物洗浄 ■対象物 　・薄い材料150～200μに好適 　・各種ウェハ：化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック 対応 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。 オリフラ対応(Vノッチは出来ません) 自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

高純度ケミカル・半導体用ノンスピル継手（ジョイント・コネクタ）

液ダレなしにワンタッチ接続が可能に

液部の金属フリーといった高い機能を備えているため高純度・腐食性のある化学薬品、超純水ラインでの使用に適しています。セミコン・レジスト・純水といいったHigh Purityを求める産業での採用多数。シリコンオイルなどの潤滑剤を使っていません。国際特許取得。ポリプロピレン製。 小型のケムクイックもございます。イプロス内検索で’ケムクイック’をご覧ください。（PPまたはPVDF製）。 ＜CP...

メーカー・取り扱い企業： CPC（コールダー・プロダクツ・カンパニー） スウェップジャパン株式会社CPC製品事業藤沢事務所

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

る省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　φ6”～φ8” ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

テクノロジーはこのような状況を打開するため、半導体製造装置向けのインラインステージクリーニングツールとしてウェハ型ステージクリーナー「イレイザーディスク」（eRaser Disk）を開発しました。シリコンウェハー上に特殊樹脂をコーティングすることでパーティクル除去性能の向上を実現し、ダミーラン時間の削減と装置停止頻度の低減に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

ニングのため、洗浄液の洗浄度管理・廃液処理が不要！ 「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。 【アプリケーション例】 ■レンズ・ミラー　　　■基板・光学部品　　■シリコンウェハー ■半導体回路等のPCB 　■MEMS等の精密機器　■光ファイバー製品 ■通信機器　　　　　　■医療機器　　　　　■航空宇宙関連機器 ■プリンター　　　　　■ディスクドライブヘッド等...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ　SAP-1 A14/M6

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

による不良を防止 ○全自動・半自動、粉体・液体供給ポンプ数等使用している材料の種類や 　タクトに応じ構成可能 →ご要求に応じ適切なシステムをご提案可能 ○シリンジ・カップ共に対応可能 ○シリコン・蛍光体・分散剤の分注工程を自動化 →手作業(マニュアル)による配合偏差の改善・誤配合を防止 →材料の節減 →管理情報の電子化を実現 →作業者の体に優しい ○自社開発の供給ヘッド部で高精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルコム

イオンプレーティング成膜

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！宇宙開発技術か…

イオンプレーティング法は、真空蒸着法の発展型です。 真空蒸着法と同じように、膜にしたい材料を真空中で蒸発（あるいは昇華）させ、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に堆積させます。 イオンプレーティング法の特徴は、蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、 基板側にマイナスの電荷を印加することで、蒸発粒子を引...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

ウェットステーション

早くて正確な半導体製造プロセス

【仕様】 ■ アプリケーション：洗浄（SPM,SC1, SC2, DFH/O3等）、乾燥 ■ プロセスコントロール：薬液/オゾン濃度モニター、純粋比抵抗、薬液コントロール ■ 基板材質：シリコン、SiC, GaAs, GaN, InP, Glass, Sappire ■ 膜厚：500～2000 μm ■ 筐体：PP、FM4910相当、ステンレス枠 ■ 寸法：幅2200mm、高さ 3600...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…

〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。...〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体自動切断機『SMB-812-40280』

円筒加工済みのインゴットをコーン、ブロック、サンプルに切断します

『SMB-812-40280』は、長尺シリコンインゴットをバンドソーにより 両端コーン部の分断と定寸ブロックの切断及びブロック毎の サンプリング切断を行う、半導体自動切断機です。 ブロックやサンプルにはレーザー／インク印字を行い、 ...

メーカー・取り扱い企業： 齊藤精機株式会社