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気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」
気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…
ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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2～12インチウエハー平置き搬送用 空気で包んで優しく運びます。
ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。 搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。 本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。 【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択 ○対応インチのガイド...
メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社
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ビーカーや計量カップなどのラボスケールで撹拌したいときに！
チャック式の卓上型撹拌機に取り付けできる、ベルヌーイ流撹拌体（単品）です。 ビーカーや計量カップなどのラボスケールに最適です。 ○ビーカーなど1L以下の少量撹拌に適しています。 ○粘度が水程度であれば、～15L撹拌可能です。 ○軸径φ8mmに対応した、チャック式のラボ用卓上型撹拌機に取り付けできます。 ○全長が500mmあり、撹拌する物の高さや液量に応じて高さを調節できます。 ○...
メーカー・取り扱い企業： MONOVATE(旧：日東金属工業)株式会社 八潮工場
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空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック
新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型
オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…
ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構：非接触搬送装置「フロ－トチャックSAＣ型」には吸引力を生じるエゼ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…
ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック
クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、気体を噴出することにより効率よく、ワークを非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送します。 クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック
幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…
超細・長尺ワ－クを非接触吸引するため新方式： 気体垂直噴流方式（VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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濡れているソフトコンタクトレンズを搬送します。
水和工程の含水したソフトコンタクトレンズを搬送します。 「ソフトコンタクトレンズ移載装置」は、空気を噴出することによりエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果による負圧の発生によるレンズの吸引把持と圧力室式エアクション効果による正圧の発生によるレンズの離反のバランスにより把持接触力を弱めてコンタクトレンズを把持し搬送します。 全ての操作を空気流の作用により行っております。柔軟なコンタクトレ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型
排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…
1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されてい...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック
□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 搬送...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…
気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…
高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－ＯＦＦ操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量が1/3である。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット
気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…
高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－ＯＦＦ操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬…
フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします...フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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非接触ロボットハンド
を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置
ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…
ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向かって...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…
石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。
プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。 空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、レンズを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。 ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック
失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加せることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させ ました。 高効率で気体消費量の少ない非接触搬送装置のベルヌーイチャックです ◎特徴 １．耐熱1000℃可能 ２．使用温度環境に応じた材料を使用します。 PTFE. ・PEEK・アルミニュウム・SUS316他・石英 酸性・アルカリ性・腐食ガ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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１機種のレンズベルヌーイチャックにて広範囲の曲率のレンズに対応可能
「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌーイチャック」は、 空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、「異なった曲率レンズのレ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ワークの高さを自動で認識できるプロトスキャリア対応自動移載システム
『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する 自動移載システムです。 プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを 搭載しているので、薄物ウェーハにも対応しています。 また、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能で、ワークの高さを 自動で認識します。 【特長】 ■プロト...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-5C(SAN)型」
重たいワークでも効率よく非接触搬送可能なベルヌーイチャック
重量物非接触搬送装置（フロートチャックSA-５C(SAN)型）は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 新方式： 気体垂直噴流方式の説...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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レンズ・球を非接触にてチャックし搬送するベルヌーイチャック「フロートチ…
フロートチャックLE型は空気を噴出することによりレンズ・球を空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。 このためレンズ表面に傷を付けたり汚したりすることが無く、また発塵を防止いたします。 また「フロートチャックLE型」には、アジャスタ−が装着されており、これを操作することにより１機種で曲率の異なるレンズを無接触状態にてチャッキングできます。 このためレンズ曲率により機種を取り替...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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450mmウェーハ搬送システム
ェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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穴あきワーク・不織布・紙を掴み、搬送する
ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持搬送します。 スルーホール基板、セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟物・発泡体・不織布・フィルム・紙等の軟弱、柔軟物をチャックし搬送します。...セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟物・発泡体・不織布・フィルム・紙等の軟弱、柔軟物をチャックし搬送します。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気でつかむ
します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いていますので、超クリーンルーム内での使用も可能です。紙、フィルム、不織布、スルホール基板等の薄い通気性のワークの搬送も可能です。ベルヌーイチャックとも言われています。手操作にて操作可能の機種もあります。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる
「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
を搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 ロボットのみで2FOUP対応可能 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能…
１．スルーホール穴あき基板、フィルム基板 吸着可能 ２．基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能 ３．段積み基板を１枚ずつ吸引 ４．吸着器の段取り替えが不要 ５．傷、汚れパッド跡を付着しない ...段積みされたプリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣ、フィルム、セラミック基板を穴の位置、基板の大きさに関係なく１枚ずつ非接触にて搬送。基板に向かって気体を噴出することにより、ベルヌーイ効果による...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…
従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。...『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です
・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…
TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...TAIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…
非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
ク、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
ク、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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