ポート | イプロスものづくり

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メーカー・取扱い企業

PRP/HSR対応冗長化装置RedBOX『RB304』

PR制御システム等における周辺装置のゼロ復旧時間を実現。クリティカルな…

PRP/HSR(IEC62439-3）に対応していないデバイスも本製品と接続すれば、周辺装置をその冗長ネットワークに参加することが可能となります。＜PRP製品＞並列接続でLAN構成を二重化。一方の回線が故障してもメッセージロスが生じません。＜HSR製品＞ LAN回線をリング構成とし、右回り・左回りに同じメッセージを伝達。一方が故障してもメッセージロスが生じず、遅延も起...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リョウセイ
スリムファンレスコンピュータ『DL3000N/DL3000NS』

PR小型・ファンレスで設置場所を選ばない！待望のSIMカード対応モデルもラ…

『DL3000N』は、エントリークラスながら装備が充実した小型ファンレスモデルのコンピュータです。インテル N100プロセッサーを搭載し、省電力で快適な動作性能を保有。 DisplayPort、HDMI、VGA、シリアルポートなど豊富なインターフェースを備えています。また、SIMカード対応モデル「DL3000NS」もラインアップし、無線LAN環境がない場所など、今まで...

メーカー・取り扱い企業：日本Shuttle株式会社本社
膜厚測定装置『LF-1000』

ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置

膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談） ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラポールシステム
多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

S-HGシリーズ』は、2源/3源の同時スパッタ機能を搭載した研究開発用の多源同時マグネトロンスパッタ装置です。据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計。成膜ソース導入ポートは3ヶ所用意されており、スパッタリングカソードに加え、アークプラズマ蒸着源などスパッタリングとの相乗効果が期待できる成膜ソースを搭載することが可能です。【特長】 ■据付タイプなが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社FKDファクトリ
大容量　半導体カーブトレーサ　CS-10000シリーズ

パワーデバイスの特性測定に最適！高速鉄道などで使われるパワーデバイスも…

大ピーク電圧10kV）（最大ピーク電流4,000A） ○4つのコレクタ・サプライ・モード搭載 →省電力デバイスから大電流デバイスまで、あらゆる半導体の測定に対応することができます ○USBポート、LANインタフェース装備 →LANインタフェース経由でリモートコントロールが行えます ○直感的でわかりやすい操作性 →ロータリーノブによる直感的な操作を採用しました ●その他詳細は、...

メーカー・取り扱い企業：岩崎通信機株式会社
Parker 計装用ボールバルブ

パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

24135 および N30002 構造もご要請に応じて利用できます。 • 精密仕上げのボールによる高い密閉性 • 直線の流路で圧力低下が最少 • 両方向使用可能 • 様々な種類の SI ポートが幅広く利用できます。 • ハンドル操作角度 90° • パネル取付可能 • PTFE 製ステム・シールは調節可能でインラインに維持できます。 • ハンドルの位置で流れ方向確認可 •...

メーカー・取り扱い企業：アマノ機工株式会社パーカーストア豊田店パーカーストア事業部
ボールバルブ（ボール弁）『H-700シリーズ』

簡易ロック機構付で安全性向上。ステンレス316製、中圧（13.5MPa…

H-700シリーズは、一般用途向け中圧用ボールバルブです。このシリーズのバルブは、コンパクトな構造で、高流量用の比較的大きなポートを有し、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。H-700シリーズは正逆両方向の流れ方向で使用が可能で、全閉または全開で使用するように設計されています。＜特長＞・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
EFEMシステム全ユニット自社製作 PLP向け実績多数有り

【低コスト】構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。ソ…

．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM）３．ロードポート数：最大 4個４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ）５．War...

メーカー・取り扱い企業：アジアファインテック株式会社韓国本社
半導体関連装置

ワークの外観検査を目視にて行う装置などを豊富に取り揃えております

長】＜レーザーマーキング／厚さ測定機＞ ■ワークの厚みを測定し、測定後レーザーマーカーにてワークにマーキングを行う ■搬送ロボットを搭載しており、フルオートで処理が可能 ■FOUPロードポートを搭載 ■レーザーマーカーを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピクリング
コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■6種類のターゲットが使用可 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■オプションポート：各種コンポーネント取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
半導体カーブトレーサ　CS-5000シリーズ

3300Ｖ耐圧のパワーデバイスのブレークダウン測定に最適。

V（高電圧モード） ○最大ピーク電流1,500A（CS-5400大電流モード） ○全機種LEAKAGEモード搭載（カーソル分解能1pA） ○画面データ保存やセットアップデータ保存可能なUSBポート ○リモードコントロール用、LANインタフェース搭載 ○わかりやすい測定画面 →コンフィグレーション画面 →トランジスタのV-I特性例（TRACEモード） →大電流パルスモード時のVbe...

メーカー・取り扱い企業：岩崎通信機株式会社
マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

、生産工場で期待される高スループットと高可用性を維持しながら、2 µmのラインアンドスペースの高解像度を実現します。ワークフローを簡素化するための自動化に対応するために、ウェーハロボットとロードポート、および生産環境用に特別に設計されたソフトウェアを備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
ガスフリーペン型大気圧プラズマ装置 NRSR-P10

外部からガスを供給することなくプラズマ処理が可能です。表面処理（塗…

W) × 80(D) × 149(H) 機能放電パワー調整、処理時間タイマー電源 AC100V 50/60Hz, 最大170W オプション  ペン部の形状変更  ガス導入ポートの追加等、ご要望にお応えします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

■ワークサイズ　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応レチクルケース対応 SMIF　POD対応オリフラ／ノッチ合わせ機構イオナイザーオゾン水供給ユニット高圧ポンプユニット薬液供給ユニット機能水供給ユニットエキシマ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場
半導体カーブトレーサ CS-3000シリーズ

半導体カーブトレーサは、最大ピーク3000V/最大ピーク電流1000A…

測定結果は、標準装備のUSB ポート・LANインタフェースを介して、外部ストレージにデータを保存したり、PCにデータを送り、レポート作成する事もできます。 ...

メーカー・取り扱い企業：岩崎通信機株式会社
卓上型精密研磨装置

ラッピング(粗研磨)からポリッシングまでこれ1台　GaAsやInPとい…

【PM6】電源：110V, 50/60Hz 冶具タイプ：PP5(x1), PP6(x1) プレート回転：5 – 100rpm プレートサイズ：300mm 高さ：915mm（排気ポート含むと965mm）奥行：720mm 幅：802mm プレート平坦度モニター：0.1um分解能【LP70】電源：110V, 50/60Hz 冶具タイプ：PP5(x1~4)、PP6(x1~4)...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社
小型ECR原子ビーム源『ERS-35』

メタルコンタミフリーの誘電体ライニング！超高真空装置に対応できる小型E…

【装置仕様】 ■接続真空ポート規格：ICF70 ■同軸コネクタ規格：N型 ■適合マイクロ波周波数：2.45GHz ■許容マイクロ波電力：最大100W ■冷却方式：水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業：ノベリオンシステムズ株式会社
ナノインプリント装置

繰り返し精度＝20nm!!!

<構成> 1.XY軸エアースライド 2.リニアモータ 3.リニアゲージ 4.Z軸エアースライダ 5.平行出し機構 6.マイクロディスペンサ 7.オートフォーカスポート 8.基板ホルダ 9.金型ホルダ 10.UV照射ユニット 11.空調システム ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社清和光学製作所
反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル
ビューポートシャッター

スライド式のUHVビューポートシャッター理想的な光学遮蔽と開放時の…

スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。サイズはCF70～203まで...

メーカー・取り扱い企業：アドキャップバキュームテクノロジー株式会社
FOUPロードポート『TAS300』

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロー…

『TAS300』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方に...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社テクニカルセンター
表面処理装置　走査型イオン銃　「40E1型」

表面処理装置　走査型イオン銃

２段の射出レンズにより、イオンビームのスポット径が容易に調整できる収束型イオン銃です。 ...【特徴】 ◯フルソフトウェア動作 ◯２段の差動排気 ◯酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスに対しても使用可能 ◯超高真空下でイオン銃の操作が可能 ◯ウィンマスフィルターの装着が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート
3源抵抗加熱蒸着装置

EB源増設ポート付！4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備…

4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています。【特長】 ■基板寸法：100×100 ■基板加熱温度：常用600℃ ■基板回転ホルダー ■水晶式膜厚計 ■EB源増設ポート付 ■抵抗加熱源：100A 3源切替式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社
『事例』　隣接装置の振動による継手緩み防止対策 ※無料進呈中

隣接装置の振動対策に。継手の緩みをしっかりサポート。安全対策の事例を進…

お困りではありませんか？隣接装置の振動による継手の緩み対策。・隣接装置の振動に対して複数改善策を行っているが、継手の緩みが収まらない方・手軽に脱着可能で、かつリークポートへの干渉などもなく、今まで通りの作業が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー
枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

ズ　ウェハー　φ4″～φ8″（300WCBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　　MAX□9″) ■オプション　ワーク反転機構　　 FOUPロードポート対応　レチクルケース対応　 SMIF　POD対応　オリフラ／ノッチ合わせ機構　イオナイザー　オゾン水供給ユニット　高圧ポンプユニット　薬液供給ユニット　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場
半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

0mm（カスタマイズ可） ○昇温スピード：100℃/min（カスタマイズ可） ○圧力範囲：-100KPa（真空）～0.02MPa（N2ガス充填時） ○酸素濃度計、ピラニ真空計、温度モニター用ポート ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー
Ø300mm対応露光装置

Ø200mm Ø300mm対応露光装置（マスクアライナ）

裏面方式にも対応・独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定・マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換ロードポートを最大３基搭載可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大日本科研
FoPLP向け EFEM System

構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。ソフト対応も含…

．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM）３．ロードポート数：最大 4個４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ）５．War...

メーカー・取り扱い企業：アジアファインテック株式会社韓国本社