ポート | イプロスものづくり

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ピコ秒（ps）分解能で長い時間差を作る／測る

PRT560 ディレイ／パルス発生器で時間差を作り、MCS8A マルチスト…

◆T560 ディレイ／パルス発生器　・ディレイ時間とパルス幅が4チャンネル個別に指定でき、10ps刻みで最大10 秒まで設定可能　・入出力遅延（インサーション・ディレイ）：21ns 　・最大トリガ・レート：16MHz ◆MCS8A マルチストップTDC/TOF 　・複数のイベントタイムを記録できる8入力のデジタイザ　・STARTとSTOPの間の時間差を、80psの分解能で最大8....

メーカー・取り扱い企業：大栄無線電機株式会社
VCG-1 車載ネットワークゲートウェイ

PRVCG-1 は、マルチポート、マルチバスのメッセージルーティング…

VCG-1 Vehicle Communication Gatewayは、設定が簡単なマルチポート、マルチバスのメッセージルーティングおよびデータ変換デバイスです。通常はスタンドアロンで動作するように設計されており、システムがCAN-FDや車載イーサネットなどの新しい通信バスやテクノロジーに移行するときに、複数のモジュールをブリッジするのに役立ちます。ユーザーが作成したスクリプト...
メーカー・取り扱い企業： ATI Worldwide LLC 日本支社
ビューポートシャッター

スライド式のUHVビューポートシャッター理想的な光学遮蔽と開放時の…

スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。サイズはCF70～203まで...

メーカー・取り扱い企業：アドキャップバキュームテクノロジー株式会社
ビューイングポート（ビューポート）

覗き窓から高真空容器の光信号入出力まで、用途に合わせてご用意しています…

米国MPFプロダクト社のビューイングポートです。用途に応じて、様々なタイプのビューイングポートをご用意しています。【特長】 ■豊富な窓材（グラス7056（ホウケイ酸グラス）、溶融石英、サファイヤ等） ■交換式高真空用ビューイン...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テクサム
FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

『TAS450』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、最高クラスの性能を有しています。【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピングユニ...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社テクニカルセンター
窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）

窓材の交換が簡単にできます！

Oリングを使用した、窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）です。窓材がフランジから取り外せるため、窓材の交換やクリーニングなどを簡単に行うことが可能です。窓材はホウケイ酸グラスまたは溶融石英から選択できます。溶融石英は波長域に応じて4...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テクサム
FOURPロードポートN2パージ改造

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを…

3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2.　開放時のパージ 3.　アンロード時のパージ...POINT： 1．Power: AC110V, 15A （Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。） 2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2 （実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port　一つ毎につ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社トリコ東京支店
蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

PREVAC社製蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート
クリーンルーム・真空用アルミホイル

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタ…

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。アルミ箔はプラスチック製の芯棒に巻かれており、ビニールでラップされております。ケースもプラスチック製なので紙類は一切使用されておりません。クリーンルーム内でも安心してご使用いただけます。完全クリーンなアルミ箔なので、真空装置内部例えば蒸着装置などの防着板の代わりとして使い捨てでご使用いただ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート
組込用ＧＰＩＢ端末ユニット　ＤＩＯ－５４４０ＧＰＢ

汎用入出力・小型なのでオリジナルＧＰＩＢ端末を構成できます。

本機はＧＰＩＢインターフェースを持った汎用デジタル入出力装置で、２４ビットの入力ポート、１６ビットの出力ポートを装備しています。シンプルな IN/OUT 命令により、入力ポートの監視、出力ポートの制御を行えます。また、本機はジャンパ設定により、旧型機「UIO-788G...

メーカー・取り扱い企業：エムシーアイエンジニアリング株式会社
MBE装置適応蒸発セル　EF 40C1型

手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタルで製作！

EF40C1はMBE装置に適応した蒸発セルとして開発されました。モリブデンフリーの材質によって製作されているため、250～1500℃の範囲で蒸発する低融点及び中融点材料に対して使用できます。詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...【特長】 ●クルーシブルー容量が5ccの中間温度用セルとして、広く使用 ●クルーシブの材料は主にPBN、AI203ですが、他の材料のご要望にも対応可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート
表面処理装置　スパッタ用イオン銃　「40C1型」

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

試料表面をクリーニングするためのコンパクトで簡便なイオン銃です。 ...【特徴】 ◯取付フランジは外径70mmで、容易に装着が可能 ◯真空内のソース長は標準の63mmのほか、要望対応も可能 ◯酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスの導入も可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート
有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！

0ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ） ○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート ○真空排気ポート（NW40）1ポート ○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源：2源（同時2源） ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー
光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装…

90mm（奥行き）×410mm（高さ） →エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能　100°/120°/140° →アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm） →外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート →真空廃棄ポート（NW40）1ポート ○基板ホルダー構造 →最大基板サイズ：φ110mm →基板加熱もしくは基板冷却構造...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー
移動ロードロックシステム『CEX-2420』

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへ…

リアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料の移載が可能。無停電電源...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コメット
ステンレス製ボールバルブ

スペシャルプライス・即日出荷キャンペーン実施中！ローコストでご提供。ス…

リガルジョイントのボールバルブは廃材の少ないロストワックス製法を用いてローコストを実現。コンパクトな形状で狭い場所でも取り付けが可能。 2ポートはもちろん、フルボアや3ポートを1/4"から2"までラインナップしております。ロック可能。（Tハンドルタイプを除く） EUのRoHS指令（特定有害物質の使用制限）にも対応。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リガルジョイント
超高真空用ビューイングポート＆電流導入端子※総合カタログ進呈中

官公庁、研究機関、大学の方必見！当社が扱っているビューイングポート（ビ…

本カタログには、超高真空で使用できる各種ビューイングポート（ビューポート）、各種電流導入端子、セラミックグラスを使用した超高真空用ハーメチックコネクタ、PEEK、マコールセラミック材質のコネクタ、カプトン被覆、超高真空用圧着端子、端子台、カプトンテープ、...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テクサム
高周波レーザーCVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…

当製品は、高周波加熱コイルの中心に試料ステージ（自動回転機構付き）があり、外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができるCVD装置です。サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能。簡単に試料セットする事ができます。オプションでチャンバー上部にガス供給系（...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
Parker 計装用ニードルバルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブは、プロセス制御、発電および計装用途等で使用される液体や気体を完全なリーク・タイトで遮断し、調整するよう設計されています。多様なポート・サイズおよびスタイルを備え、－ 54 °C ～ 232 °C（－ 65 °F ～ 450 °F）の範囲の温度と最大5000 psig（34.5 MPa）の圧力に対応する V シリーズ・ニードル...

メーカー・取り扱い企業：アマノ機工株式会社パーカーストア豊田店パーカーストア事業部
MSC8156AMC

MSC8156AMC

フリースケール製MSC8156搭載AMCカードです。1ライン3.125G帯域をサポートし、８ポート×4シリアルRapidIOスイッチサポート、１つ６ポートSGMIIイーサネットスイッチ、 x4シリアルRapidコネクタ（[4:7]と[8:11]バックプレイン）、2つの1000Bas...

メーカー・取り扱い企業：ポジティブワン株式会社
SECSＩ＆HSMS対応通信ドライバ『GEMドライバ』

Windows環境で動作する制御アプリケーションにGEM通信機能を追加…

応可能 ■プロトコル制御やタイマー監視をDLL上で行う ■SECS IIメッセージの構造をローダで作成しDLLにて送受信時の構造編集・展開処理 ■GEMの通信シナリオをDLLで実行可能 ■ポートはパソコン標準のRS232CポートまたはLANポートを使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラポールシステム
クラスターツール『3ICP＋2cassetteモジュール』

SI 500-1M、SI 500 PPD-1Mなど搭載可能！搬送チャン…

【搬送チャンバー】 ■3ポート ■4ポート ■6ポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
『高速信号IF切替装置』

信号の切り替えによる誤動作の有無を検証！1入力を複数ポートに分配可能！

s)、HDMI(3.4Gbps)高速信号線の信号品質を確保した切替回路とPCBシミュレーション活用したAW基板を実現。量産作業の効率化に使用されています。【特長】 ■1入力を複数ポートに分配 ■ポート間の挿抜タイミングがPCから制御可能 ■信号を同期して挿抜できる ■回路設計からアートワーク、製造、制御アプリケーションを作製 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：アポロ技研株式会社
円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

の1/3以下） ■洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に ■異形材料への塗布、異形状の塗布が可能システム提案も対応いたします。プロセスフロー例：ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM) 乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置）焼成プロセス Option：Cure Ove...

メーカー・取り扱い企業：中外炉工業株式会社
ウエハ移載機

ウエハ移載機

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社
【マグネトロンスパッタリングカソード】

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率…

・高真空対応・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ・クランプリング式を採用、ボンディングが不要・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富・各種フランジサイズ接続に対応...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
2次元抵抗加熱蒸着装置

蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…

柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変更可能。排気系は、DPとRPを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。【特長】 ■SUS製上チャンバーには、CF70ポートが2式、50φの窓が2式、　又下チャンバーはCF70ポートが6式標準装備されている ■上チャンバーは電動にて上下する機構を有している ■標準で膜厚計を装備するとともに、ガス雰囲気にする事も...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
サファイア真空覗き窓(ビュ-ポート）

特許的な異質材質溶接技術で溶接しているサファイア真空覗き窓

日揚科技(Htc)、提供している真空覗き窓はサファイアの窓材を採用していますので、優れた光学品質を持っています。製品は光の透過率が80％以上も達します。特許的な異質材料を溶接技術でステンレスとサファイアを溶接して、良い真空気密性があります。製品はコバールなどの磁性材を使用しないため、周囲の磁力線を変更する恐れがありません。 ...製品特長 ◎窓材はサファイアを採用するため、光の...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
直動形電磁弁

直動形電磁弁

小形４ポート３位置　直動形電磁弁真空吸着、真空破壊制御に最適応答時間　２ms 作動回数　５億回超禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フロー・ジョイント
ファンフィルターユニット（FFU）

筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

種フイルタの搭載が可能　HEPA、ULPA、ボロン対応、低有機ガス対応の他、酸/アルカリ/有機ガス　除去用のケミカルフイルタとの組み合わせも可能です。 3.チャンバー内差圧取出し用のポート増設 4.CEマーキング対応品もあります（※2) 　 ※1) 仕様上で一部ご要望を満足できない内容もございます。 ※2) CEマーキングが可能な特注機種には、一部制限がございます。 ...
メーカー・取り扱い企業：トーアメック株式会社
Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

〇ゲージ圧力レンジ：2.5kPa～21MPa（負圧校正標準） ■圧力インジケータ PACE 1000 生産ラインの圧力計測もこれ一台。ゲージ圧と大気圧を同時表示できます。外部センサーポートは標準２つ、最大３つ接続可能。画面上で再生可能なデータロギング（標準）。 ○100 MPaまでの圧力レンジ ○0.005% FSまでの各種精度 ○0.01% rdg/年までの安定性詳...
メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社
【ピラースーパージョイント】クリーン＆長寿命な回転継手！

日本ピラー工業のロータリージョイント（回転継手）は、メカニカルシールで…

ケイ素）を採用。　・負圧から正圧まで、広範囲に使用可能です。　・禁油処理は、もちろん「洗浄⇒組立⇒包装』を一貫して、クリーンルーム内で行っております。 ※本ページでは、　シングルポートタイプを一例として紹介しております。　多ポートタイプ・大流量タイプなど　ご使用条件に沿ったカスタム設計も可能です。　ぜひ、一度ご相談ください。 ●技術的なご質問はもとより、入手方...

メーカー・取り扱い企業：日本ピラー工業株式会社
RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート 【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ライト製作所本社
Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

63Hz） ■圧力インジケータ PACE 1000 生産ラインの圧力計測もこれ一台。最大３つ圧力値を同時表示！ゲージ圧と大気圧を同時表示できる高精度の圧力インジケータです。外部センサーポートは標準２つ、最大３つ接続可能。画面上で再生可能なデータロギング（標準）。複数の圧力モニタが可能なので検査工程のコストダウンが可能です！ ○100 MPaまでの圧力レンジ ○0.005% F...
メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社
スピンコーター『APOGEE』

リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコ…

換・読み込みも可能です。【特長】 ■加速度は0～30,000rpm/sec（無負荷時） ■回転数は0～6,000rpm（オプションで12,000rpmも可能） ■底部からの排気・廃液ポートを装備 ■高密度ポリエチレン製テフロンボウルを使用 ※詳しくは資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社
直販サイトオープン記念で製品価格が15％引きになるクーポンを配布

ドリル研磨機やリフティングマグネットを15％安く買えることができるクー…

3年7月7日～8日会場：幕張メッセ <東北グランドフェア> 日時：2023年7月21日～22日会場：夢メッセみやぎ <中部グランドフェア> 日時：2023年9月1日～2日会場：ポートメッセなごや <関西グランドフェア> 日時：2023年9月15日～16日会場：インテックス大阪 <九州グランドフェア> 日時：2023年9月27日～28日会場：グランメッセ熊本 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファーステック
ROPV製FRPベッセル(圧力容器)

海外製高品質ベッセルは弊社にお任せ下さい。

ROPV製ベッセルの主要特徴・　サイズ及び耐圧の範囲が広く、多くのアプリケーションに対応可能。・　サイドポートにより設置スペースと設置コストの削減を実現。・　経済性が高く、頑丈で組立が簡単な構造。・　他の海外製品より比較的短期間製造・納入可能。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンコー
RFラジカルビーム源　IRFS-503

RFラジカルビーム源　IRFS-503

カルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源【特徴】 ○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し　差圧によりフラックスを引き出す ○放電が目視確認できるビューポートを標準装置　発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる ○完全金属シール、200℃ベーカブル対応によりMBE装置等　各種超高真空装置に使用可能 ○分子線セルポー...

メーカー・取り扱い企業：アリオス株式会社
AMC80KS2000

AMC80KS2000

IDT製80KSW0005（10ポート）シリアルRapidIOスイッチおよび４つのTI製TMS320C6455/6482のDSPも搭載したAMCカードです。AMCバックプレンには 4 x4 & 1 x1 SRIOリンク、DRAM DD...

メーカー・取り扱い企業：ポジティブワン株式会社
継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさ…

よる緩み防止対策や工場配管設備の地震への防災対策などの安全対策にお使いいただけます。＃振動対策【特長】 ■ボルト1本で締結する構造 ■配管施工後でも脱着が可能 ■リークテストポートへの干渉がない ■取付後でもリークテストが容易に行える ■取付方による継手の緩みは発生しない ■継手用とバルブ用をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー
250W水銀光源　REX-250

248nmまでのDUV光を利用でき、波長選択･切り換えが可能なUV照射…

プを搭載 •フィルターで波長選択 •フィルターの切り換えが可能 •100～5の連続可変調光機能 •タイマー照射で指定エネルギー照射 •簡単なアライメントフリーランプ交換 •RS232Cポートで外部制御可能...

メーカー・取り扱い企業：朝日分光株式会社
スピンコーター組込みドラフトチャンバー

ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです

コンセント：2ヶ所作業台へ6mmチューブ接続継手作業台耐荷重：80～100kg レベルアジャスター排気風量監視装置付き（標準）オプション◇ エアーガン局所排気ダクト接続ポート キャスター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン
コンパクト！同時蒸着！高拡張性！『真空蒸着装置・HEXシリーズ』

ブロックを組み立てるように自由自在に構成を変更可能な多目的真空蒸着装置…

HEXシステムは、ユニークな『モジュール構造』が採用されています。六角柱の形状のチャンバーの、各面を構成するパネルを交換することで自由自在にポートの数や配置を変更することができます。そのため、研究の方向性の変化に応じて、まるでブロックを組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を行うことができます。 H...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社
『事例』　原料容器接続継手の安全対策 ※無料進呈中

容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

"お困りではありませんか？原料容器輸送時の継手の緩み防止対策。・輸送時の振動による継手緩み対策・手軽に脱着可能で、かつリークポートへの干渉などもなく、今まで通りの作業が可能。" ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー
セトラ社　最高精度　デジタル圧力センサ　３７０／４７０

絶対圧、ゲージ圧、気圧を±０．０２％ＦＳで計測します。長期安定性に優れ…

デジタル回路とファームウェアは生データをリニアライズと温度補償した出力に処理し０．０２％ＦＳの精度で各エンジニア単位で直接リポートします。出力は双方向のＥＩＡ−２３２デジタル通信Ｉ／Ｏポートです。３７０については圧力、高度のデータを６桁のＬＣＤで表示します。気圧レンジは気象庁型式認定を所得しています。...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

韓国で5nmといった最先端の微細化技術を使った製造プロセスで採用されるという実績をもとに、当社は2019年に日本で設立されました。日本の半導体製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3（酸化イットリウム）やYOF（酸フッ化イットリウム）を再生成膜することでRF window（誘電体窓・天板）交換の費用（純...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー
3ピースボールバルブ（ボール弁）『H-500シリーズ』

ステンレス316製、バリエーション豊富な高性能3ピースボールバルブH-…

スボールバルブ（ボール弁）です。3ピースボールバルブの特徴を活かしたメンテナンス性と簡易ロック機構付ハンドルにより高信頼性を求められる用途でのご使用が可能。このシリーズのバルブは、高流量用の大きなポートをもち、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。また、正逆両方向の流れ方向での使用が可能です。ご希望により空圧／電動アクチュエーターの取り付けが可能。＜特長＞ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
膜厚測定装置『LF-1000』

ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置

膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談） ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラポールシステム
多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

S-HGシリーズ』は、2源/3源の同時スパッタ機能を搭載した研究開発用の多源同時マグネトロンスパッタ装置です。据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計。成膜ソース導入ポートは3ヶ所用意されており、スパッタリングカソードに加え、アークプラズマ蒸着源などスパッタリングとの相乗効果が期待できる成膜ソースを搭載することが可能です。【特長】 ■据付タイプなが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社FKDファクトリ
大容量　半導体カーブトレーサ　CS-10000シリーズ

パワーデバイスの特性測定に最適！高速鉄道などで使われるパワーデバイスも…

大ピーク電圧10kV）（最大ピーク電流4,000A） ○4つのコレクタ・サプライ・モード搭載 →省電力デバイスから大電流デバイスまで、あらゆる半導体の測定に対応することができます ○USBポート、LANインタフェース装備 →LANインタフェース経由でリモートコントロールが行えます ○直感的でわかりやすい操作性 →ロータリーノブによる直感的な操作を採用しました ●その他詳細は、...

メーカー・取り扱い企業：岩崎通信機株式会社
Parker 計装用ボールバルブ

パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

24135 および N30002 構造もご要請に応じて利用できます。 • 精密仕上げのボールによる高い密閉性 • 直線の流路で圧力低下が最少 • 両方向使用可能 • 様々な種類の SI ポートが幅広く利用できます。 • ハンドル操作角度 90° • パネル取付可能 • PTFE 製ステム・シールは調節可能でインラインに維持できます。 • ハンドルの位置で流れ方向確認可 •...

メーカー・取り扱い企業：アマノ機工株式会社パーカーストア豊田店パーカーストア事業部
ボールバルブ（ボール弁）『H-700シリーズ』

簡易ロック機構付で安全性向上。ステンレス316製、中圧（13.5MPa…

H-700シリーズは、一般用途向け中圧用ボールバルブです。このシリーズのバルブは、コンパクトな構造で、高流量用の比較的大きなポートを有し、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。H-700シリーズは正逆両方向の流れ方向で使用が可能で、全閉または全開で使用するように設計されています。＜特長＞・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
EFEMシステム全ユニット自社製作 PLP向け実績多数有り

【低コスト】構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。ソ…

．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM）３．ロードポート数：最大 4個４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ）５．War...

メーカー・取り扱い企業：アジアファインテック株式会社韓国本社
半導体関連装置

ワークの外観検査を目視にて行う装置などを豊富に取り揃えております

長】＜レーザーマーキング／厚さ測定機＞ ■ワークの厚みを測定し、測定後レーザーマーカーにてワークにマーキングを行う ■搬送ロボットを搭載しており、フルオートで処理が可能 ■FOUPロードポートを搭載 ■レーザーマーカーを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピクリング
コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■6種類のターゲットが使用可 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■オプションポート：各種コンポーネント取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
半導体カーブトレーサ　CS-5000シリーズ

3300Ｖ耐圧のパワーデバイスのブレークダウン測定に最適。

V（高電圧モード） ○最大ピーク電流1,500A（CS-5400大電流モード） ○全機種LEAKAGEモード搭載（カーソル分解能1pA） ○画面データ保存やセットアップデータ保存可能なUSBポート ○リモードコントロール用、LANインタフェース搭載 ○わかりやすい測定画面 →コンフィグレーション画面 →トランジスタのV-I特性例（TRACEモード） →大電流パルスモード時のVbe...

メーカー・取り扱い企業：岩崎通信機株式会社
マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

、生産工場で期待される高スループットと高可用性を維持しながら、2 µmのラインアンドスペースの高解像度を実現します。ワークフローを簡素化するための自動化に対応するために、ウェーハロボットとロードポート、および生産環境用に特別に設計されたソフトウェアを備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
ガスフリーペン型大気圧プラズマ装置 NRSR-P10

外部からガスを供給することなくプラズマ処理が可能です。表面処理（塗…

W) × 80(D) × 149(H) 機能放電パワー調整、処理時間タイマー電源 AC100V 50/60Hz, 最大170W オプション  ペン部の形状変更  ガス導入ポートの追加等、ご要望にお応えします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

■ワークサイズ　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応レチクルケース対応 SMIF　POD対応オリフラ／ノッチ合わせ機構イオナイザーオゾン水供給ユニット高圧ポンプユニット薬液供給ユニット機能水供給ユニットエキシマ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場
半導体カーブトレーサ CS-3000シリーズ

半導体カーブトレーサは、最大ピーク3000V/最大ピーク電流1000A…

測定結果は、標準装備のUSB ポート・LANインタフェースを介して、外部ストレージにデータを保存したり、PCにデータを送り、レポート作成する事もできます。 ...

メーカー・取り扱い企業：岩崎通信機株式会社
卓上型精密研磨装置

ラッピング(粗研磨)からポリッシングまでこれ1台　GaAsやInPとい…

【PM6】電源：110V, 50/60Hz 冶具タイプ：PP5(x1), PP6(x1) プレート回転：5 – 100rpm プレートサイズ：300mm 高さ：915mm（排気ポート含むと965mm）奥行：720mm 幅：802mm プレート平坦度モニター：0.1um分解能【LP70】電源：110V, 50/60Hz 冶具タイプ：PP5(x1~4)、PP6(x1~4)...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社
小型ECR原子ビーム源『ERS-35』

メタルコンタミフリーの誘電体ライニング！超高真空装置に対応できる小型E…

【装置仕様】 ■接続真空ポート規格：ICF70 ■同軸コネクタ規格：N型 ■適合マイクロ波周波数：2.45GHz ■許容マイクロ波電力：最大100W ■冷却方式：水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業：ノベリオンシステムズ株式会社