ロード | イプロスものづくり

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粉体やカール状切屑でも搬送可！パイプコンベヤ　レイアウト図進呈中

PR機械のサイズを問わず組み込み可！密閉状態での搬送となるため、工場内の粉…

『パイコン21』は、切粉・チップ/紙・プラスチック専用のパイプコンベヤです。クーラントセパレータ、ブローチ盤、旋盤、洗浄器、フライス、プレス等どんな機械にも大型小型を問わず組込みが可能で、既設ライン環境を邪魔せず自由にカスタマイズ可能。粉体からチップは勿論、ヘドロ、ゴミ類、殻類等の搬送に適しています。【こんな方におすすめです】 ■工場内の粉塵飛散や臭いが気になる ■作業環境の清掃に時...
メーカー・取り扱い企業：真企機工株式会社
【ゴムのことならお任せください！】ゴム練り加工サービス※資料進呈

PRお客様のご要望にそった様々なゴム生地が提供可能！短期間、小ロットから大…

当社では、ゴム練り加工のプロフェッショナルとして、指定配合はもとより、ゴム製品の用途に合わせて自社で配合設計を行い、混練りから試験、検査まで対応しております。主に、天然ゴムや各種合成ゴムに、カーボンブラック等の補強材や軟化剤、老化防止剤や加硫促進剤等の様々な副資材を混練り加工しております。短納期、小ロットから大量注文、特殊な混練り作業にいたるまで、様々なご要望にお応...

メーカー・取り扱い企業：有限会社太成ゴム工業
超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

ラズマ処理・スパッタ・表面分析システム　構成（一部）】 ■XPS表面分析装置 ■3源RFスパッタ装置 ■ECRプラズマ表面処理装置 ■ALD（原子層堆積）装置 ■トンネルチャンバー ■ロードロック室 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社
マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

00は、生産工場で期待される高スループットと高可用性を維持しながら、2 µmのラインアンドスペースの高解像度を実現します。ワークフローを簡素化するための自動化に対応するために、ウェーハロボットとロードポート、および生産環境用に特別に設計されたソフトウェアを備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
プラズマ/サーマルALD装置『Fiji G2』

500℃ウエハステージ！プラズマダメージの無いリモートICPソース採用

『Fiji G2』は、サーマル式とプラズマ式の研究開発用ALD装置です。プラズマ源にICPリモートプラズマを採用し、基板搬送に真空ロードロックを搭載し、高品質の酸化膜、窒化膜、メタル膜の ALD膜が成膜できる設計。また、簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trapを標準搭載しており、プラズマガスラインは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
EFEMシステム全ユニット自社製作 PLP向け実績多数有り

【低コスト】構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。ソ…

１．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM）３．ロードポート数：最大 4個４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ）５．...

メーカー・取り扱い企業：アジアファインテック株式会社韓国本社
【オーダーメイド製作実績】CVD装置

「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を…

モ機にてサンプル処理を実施しております。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【製作実績（抜粋）】 ■太陽電池用プラズマCVD装置 ■立体物用プラズマCVD装置 ■研究開発用ロードロック式プラズマCVD装置 ■金属容器用プラズマCVD装置 ■医療容器用プラズマCVD装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
活性化アニール炉『VF-3000H』

R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉

特長】 ■ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応 ■3～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応 ■炉内は当社独自のメタルフリー構造 ■ウェーハ近傍の温度モニターが可能 ■N2ロードロックを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部
枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

T) ■ワークサイズ　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応レチクルケース対応 SMIF　POD対応オリフラ／ノッチ合わせ機構イオナイザーオゾン水供給ユニット高圧ポンプユニット薬液供給ユニット機能水供給ユニットエ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場
RAM インライン型スパッタリング成膜装置

パイロットラインから量産ラインへが展開が可能な装置です。

ョンアップ式水平インライン型スパッタ装置です。下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成膜を行います。その後、強磁場カソードで高速成膜を行います。 ロードロックストッカー及びアンロードロックストッカーに各15トレイずつ真空保管されます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：京浜ラムテック株式会社
SC2000 イオンミリングシステム

高エネルギーおよび低エネルギーイオン銃搭載SEM試料前処理システム！

載されています。広範囲の試料表面処理の要求に応じるべく設計された最新の試料前処理システムです。【特長】 ■高精度位置合わせ機構による測定領域の試料前処理 ■迅速かつ容易な試料交換用ロードロックシステム ■パラメーター設定による簡昜操作 ■オプションの冷却機構による低ダメージミリング ※詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：エルミネット株式会社
電子ビーム蒸着装置

ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡…

定番です。弊社では弊社オリジナルだけでなく各社の蒸着ソースに対応します。電子ビームを安定させる高真空・超高真空の環境を提供します。基板ヒーター、回転など対応します。 ロードロック仕様に対応します。シーケンサ・タッチパネルによる手動/自動運転も対応します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ
クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

ZnO、TiO2、ZrO2、メタル〇バッチ1％未満の1σ不均一性（Al2O3、WIW、WTW、B2B、49 pts、5mm EE）＜基板ローディング＞〇真空クラスタツールによる完全自動ロード 〇カセットからバッチへのローディング〇オプションSMIFステーション＜主なソフトウェア機能＞〇レシピエディター：プロセスの実行中にレシピの作成と変更が可能〇1つの通信プロトコル...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
【SUNNEN】横型長尺ホーニングマシン”HTシリーズ”

ハイパワーで最大級の自由度をもって開発されました。ストロークを自…

タリングを可能にした長尺横型ストロークホーニングマシンです。主軸モーターと4段変則ギアボックスが最大800cm3/hものパワーを加工径範囲全域にわたって発揮します。ビルトインされたロードメーターが鋼管ワークの高いスポット、低いスポットを特定し、ストロークを自在に補正することが可能です。モジュラーツーリングシステムが取り代や、砥石摩耗を常時補償しながら加工し、常に好適な状態...

メーカー・取り扱い企業： NKワークス株式会社
コンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-3200

単一基板に数100条件の組成分布を形成。有効成膜エリアは1辺25mmの…

【基本仕様(一部)】 ■2”マトリクス用スパッタガン3基 ■強磁性体用スパッタ・カソード ■2”ウエハカセットロードロックシステム ■25mm/辺の3元コンビ試料の作成 ■3元組成傾斜成膜対応マスク・システム ■Co-sputtering成膜に対応 ■自動圧力制御 ■プロセスパラメーターロギング機能　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コメット
【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製…

【製作実績（抜粋）】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 ■ロードロック式二元スパッタリング装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
プラズマドライクリーナー　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社
フルオートブレーク装置『TEC-1228AL』

6インチウェハに対応したブレーク装置をご紹介します！

』は、6インチウェハ対応のフルオートブレーク装置です。ブレークブレードとワークテーブルを交換することで、2インチから 4インチウェハにも対応可能。ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮します。また、視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少させます。【特長】 ■6インチウェハに標準対応 ■ブレーク認識機能搭載 ■リング搬送機能向上によるス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場
ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

約45°) が可能です。自動動作・パルスジェネレーターによる手動操作も可能です。・FOSBステージは上下段それぞれ5ステージ、計10ステージあります。タッチパネルでの設定により、 ロードステージを1～8ステージアンロードステージを1～8ステージの範囲で任意に設定することが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
サファイアウェーハ厚さ仕分け機（WTS-05型）

サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う…

たデータは付属パソコンのExcelファイルに保存されます。保存のフォーマットは様々なご要望に応じることが可能です。・Load/Unloadステージ数は様々なご要望に応じることが可能です。(例：ロードステージ3個、アンロードステージ6個）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

を外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
[チラー]省エネモデル　MXシリーズ

消費電力66%削減！幅わずか390mmの省エネを追求した温度管理システ…

ATSジャパン株式会社より、主力製品の一つである「MXシリーズ」のご案内です。 ■一般的な従来チラーと比較し、消費電力を1/3に削減 ■熱負荷を検知し、アイドリング運転からロード運転への自動切替によりヒーター出力を抑制 ■アイドリング運転により冷凍機の排熱、冷却水使用量を抑制 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社
SSY-10020

ロード/アンロードシステム

LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェーハのオリフラ位置やサセプタのセンタリング及びインデキシングを行います。...ワークサイズ、カセット数、アライナなど各種対応致します。仕様につきましてはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル
FOUPロードポート『TAS300』

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロー…

『TAS300』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社テクニカルセンター
【MiniLab】蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室への連結も可能です。...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
ロードロック式周波数調整装置「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

ロードロック式周波数調整装置「SFE-B03-II」は、省スペース・高精度・低価格、タクトタイム0.4 s/pcs以下を実現しました。（※SMD3.2 × 2.5, 24 MHz, H1000 ppm/s, L50 ppm/s の場合）新型イオンガン (ビーム幅: 100 mm) 搭載で、標準24～32個同時処理が可能となりました。高精度・高安定・高再現性の搬送機構により、2.0 × 1.6以...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空
真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ, RIEプラズ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ, RIEプラズ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

ら組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省スペース】・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）：1200(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
【オーダーメイド製作実績】蒸着装置

「2段階複合Pt成膜装置」などの実績を保有！ご用命の際はお問い合わせく…

ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『蒸着装置』のオーダーメイド製作実績をご紹介します。「2段階複合Pt成膜装置」や「HDDメディア研究開発用ルブ蒸着装置」、「ロードロック式高真空超高温EB蒸着装置」の実績を保有。デモ機にてサンプル処理を実施しております。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【製作実績】 ■2段階複合Pt成膜装置 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・その他オプション：基板回転/昇降, 基板加熱（Max500℃、又は800℃）, プラズマエッチングステージ, ドライポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W）システム主制御：'IntelliDep'制御システム Windows PC（又はTP HMI...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社