リレーユニット『URY120-T1』

PR電力量計の負荷側を開閉制御する装置！遠隔制御が可能で屋外(雨線内)でも…

『URY120-T1』は、当社の電子式電力量計120Aと接続することにより、 最大120Aの大電流を開閉制御することができるリレーユニットです。 自動検針システムと組み合わせることで遠隔制御ができ、普通耐候形 電力量計と同一構造のため、屋外(雨線内)でも使用可能。 電力量計の負荷側に接続し、"横配置"または"重ね配置"で設置します。 "重ね配置"の場合、オプションの「ブラケット」が必要となりま...

メーカー・取り扱い企業： 埼広エンジニヤリング株式会社

後付け電動アシストユニット新製品『E-Drive Optima』

PR傾斜搬送や速度制御が可能に！高機能の電動アシストユニットE-Drive…

『E-Drive』は、最大総重量500kgの補助対応可能な高アシスト性能の 電動アシストユニットです。 今回は新シリーズのE-Drive Optimaが登場。 使い勝手はそのままに、傾斜搬送や速度制御にも対応しました。 負荷の高い重量物用台車の手押し作業でも、 当製品なら手元操作で簡単に操作 可能で、作業者の負担軽減・効率を向上させます。 　 【特長】 ■作業者の負担軽減・...

メーカー・取り扱い企業： テンテキャスター株式会社

感度特性バツグン！『真空制御用レギュレータ』

繰返し性に優れ、広領域の真空制御を実現！配管から外さずに保守も可能！

フェアチャイルド社製『真空制御用レギュレータ』は、極めて高い感度特性で 大気圧近辺の浅い真空域から最大－96.8kPaまで制御可能です。 ラインアップは4種で、いずれも繰返し特性に優れ、安定した制御を実現！ 複ダイアフ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

真空レギュレータ

超高感度な真空レギュレータ。大気圧近辺の低真空域も確実に制御

ーフェアチャイルド社製真空制御用レギュレータは極めて高い感度特性を持っています。 ー大気圧近辺の浅い真空域から最大-736ｋPaまで制御することが可能です。 ー製品シリーズはモデル16及び大流量型モデル1600Aからなり、何...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

継手、制御装置、真空装置等総合カタログ（ピスコ社製）

確かな製品づくりと豊富な品揃えで、あらゆる分野の産業界を支え続けていま…

関西理工社が取扱う、ピスコ総合カタログ（継手、制御装置、真空装置）です。クリーンエネルギーと共に歩み続け、ハイクオリティな製品で最先端ニーズにお応えします。配管用機器、真空用機器、駆動用関連機器など豊富な製品をご紹介しています。●カタログご希望の方...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

ピエゾコントロールバルブ　CV-3000 series

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです

ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

真空計測機器・制御機器「真空ゲージ・コントローラ」

広範囲の各種真空ゲージとコントローラを取り揃えております。

エドワーズは真空計測機器と制御分野において広範囲の各種真空ゲージとコントローラを取り揃えております。 TICコントローラは最大6種類の真空ゲージをサポートします。 更にターボ分子ポンプも同時に制御するタイプなど充実のシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

ターミナル式エジェクタ　SCTSi

産業用イーサネットに対応！複数の真空系統を一つの通信ラインで個別制御可…

ニットとして構成可能です。 1つのユニットに対し圧縮エアの供給配管や通信ラインを各1本に集約することによって、配管・配線作業の工数やコスト、不具合リスクの低減に寄与、かつ各真空エジェクタは独立して制御することができます。 各真空エジェクタは、エアセービング機能による圧縮エア消費量の削減や、状態監視が可能です。 IO-Link通信や産業用イーサネットに対応した4型式をラインアップしています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

真空制御装置『VP600-PX』

圧力/真空検査のための「センサベース」の包括的なソリューション！

日本CBLが取り扱うFT SYSTEM社製の真空制御装置『VP600-PX』を ご紹介します。 密閉容器内の真空状態または正しい内部圧力をチェックする 品質基準への製品コンプライアンスを保証するのに理想的です。 漏れや準拠していない製...

メーカー・取り扱い企業： 日本CBL株式会社

【真空ポンプの基礎知識 無料進呈中】オイルフリー真空ポンプKCM

『日本機械工業連合会会長賞 受賞！』インバータ制御・台数制御で省エネ！…

ー真空ポンプ モジュールマルチモデルKCM620はモジュールデザインを採用した大流量の真空ポンプです。既設の工場真空設備の更新、小型真空ポンプの集約化に最適です。【デモ機貸出中】 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！ 負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御し、大幅にランニングコスト（電気代）を削減します。 【オイルフリー真空ポンプKCM620の特徴】 ■インバータ...

メーカー・取り扱い企業： オリオン機械株式会社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

3HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の 搭...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

『真空放電モニタ』

目視による放電確認が可能な非破壊試験装置！ステータスコイルの試験に最適…

『真空放電モニタ』は、真空中での電子放電現象を応用し、巻線キズや 線材のピンホールなどを目視により確認することのできる装置です。 高真空槽と真空ポンプ、高電圧電源などで構成されており、 コンプレッサモーターなどのステータスコイルの試験を行うことが出来ます。 非破壊方式なので試験後にも製品として使用することが可能です。 【特長】 ■目視による放電確認が可能 ■非破壊試験 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子制御国際

【各種自動機や工場の真空源に最適】オイルフリー真空ポンプ

真空ポンプのインバータ＆台数制御で省エネ最大84%【国内外に納入事例多…

真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。 それにより、最大84%の省エネを可能しました！ 各種自動機とのマッチングはもちろん、工場設備の真空源として最適な真空ポンプです。 ★デモ機を貸出しておりますので、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： オリオン機械株式会社

オイルフリーブロワポンプ　インバータモデルKCEシリーズ

インバータ制御により更なる省エネを実現したブロワポンプ。低圧エアならコ…

インバータモデルKCEはインバータ制御により大幅な省エネを実現するオイルフリーブロワポンプです。 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！ 圧縮空気利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御します。それにより大幅...

メーカー・取り扱い企業： オリオン機械株式会社

低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接続可能。 そのため、自動化真空装置等の保護及び安...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

新真空熱処理炉『HV9』

型式：TITANH6！IoT制御システムや閉鎖型冷却システムなど搭載

当社の『HV9』をご紹介いたします。 リモート、クラウドを経由した遠隔監視、遠隔制御システムの「Vacuprof」や、 クラウドサーバー対応予測保全システム「PdMetrics」を搭載。 CCコンポジット炭素繊維強化複合材料により放射効率を向上し、 4層グラファイトフェル...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ファインテック

真空ソフトグリッパー『piSOFTグリップ』

傷つきやすく繊細なワークを取り扱うことが可能！食品業界のオートメーショ…

内部は空洞になっており、3本のフィンガーでワークを掴みます。 すべて一体型の設計なので、シンプルで丈夫な製品になります。 真空駆動であるため、把持力は適用される真空レベルによって容易に調整および制御できます。 変わった形をしたものや表面が不規則なもので、軽量かつデリケートなワークを把持することが可能です。 食品産業以外にも、玩具などの小型で不規則な形状のワークのビン・ピッキングなどにも利用...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

KCS 協働ロボット用グリッパー

協働ロボット用に最適化した真空グリッパー

プロ セスですぐに使用できる状態にします。 また、KCSグリッパーは軽量構造で、強力な真空を発生させるエジェクターCOAX SXカートリッジを内蔵しており、コントロールバルブと真空センサーなどの制御機構がオプションとして利用できます。これらの特徴により、グリ ッパーはプラグ＆プレイシステムを実現します。...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

『エアーバッグ式真空ラミネーター』　真空貼合装置

平面・曲面対応！貼り付け動作はPLC制御による自動運転！

当製品は、粘着メッシュ機構により真空中でフィルム基板を保持(特許出願中)し、 曲面や平面のカバーガラスまたは樹脂に気泡レスで貼り付けます。 貼り付け動作はPLC制御による自動運転です。 オプションで下ステージにヒーター内蔵可能となります。(Max150℃) 【特長】 ■粘着メッシュ機構により真空中でフィルム基板を保持(特許出願中) ■曲面や平面...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

ラボ試験および少量生産向け卓上型真空装置『VacuLAB-X』

ヒンジ付きドアと検査窓が標準装備！処理プロセス全体を通じてプラズマ放電…

』は、コンパクトなため、複数の部署間で簡単に移動でき、様々な テストや検査のほか、少量生産バッチにも使用できる卓上型真空装置です。 統合型のPro-face製パネルを利用し、簡単にプロセスを制御・監視可能。 すべてのプロセスパラメータは本パネルに表示されます。 標準的なセラミック絶縁電極を採用しているため、当装置で実施したテストは、 「VacuTEC」を利用して大規模生産に移行で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）

精密で安定な蒸着をお手伝いいたします

最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

ユーティリティ用省エネポンプ EOSi 400～5000m3/h

工場の集中排気など、ユーティリティ用途でお使い頂ける、コントローラ・イ…

ルスクリュー真空ポンプです。 集中排気/ 樹脂成型 / 乾燥 / 化学 / 真空蒸着 / 真空ろ過 / 真空搬送 / 食品乾燥などの用途でご使用頂けます。 インバーターによるモーターの回転数制御と、インレットバルブによる大気圧近くの排気速度の制御により、省エネ運転を実現しており、一般的な直動型モーターの真空ポンプと比較し、20～50%近くの消費電力を削減出来た事例もございます。 【製...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450 series

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450

液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を精密流量制御し、効率よ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

スプリングプランジャー FST-LOCK-HD

位置決め精度が求められるプロセスや、重量ワークの安定した搬送に好適！

に柔軟に対応できるため、ワークごとのハンドの調整が不要となり、多品種搬送に好適 　・搬送時に自重によるたわみを抑えワークの形状を維持できるため、リリース時の位置決め精度が向上 ◆ 圧縮エアの制御によって、ストロークの状態を切替え （ 圧縮エア供給: 調整可圧縮エア排気: 固定） 　・電気的な制御が不要 　・搬送中（ストローク固定中）には給気は不要なため、停電時もストロークの位置が維持...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

株式会社飯塚鉄工所　事業紹介

液体機器部品ポンプ・一般産業用ポンプ・バルブ部品のことならお任せくださ…

【主要設備】 ■三次元測定機 ■画像寸法測定器 ■万能投影機 ■硬度計 ■面粗度計 ■6軸制御　CNC複合機 ■5軸制御　CNC複合機 ■4軸制御　CNC複合機 ■3軸制御　CNC複合機 ■3軸制御　NC複合機　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社飯塚鉄工所 本社工場

新型オイルフリー、nXDSシリーズドライスクロール真空ポンプ

"ランニングコストを従来の半分以下に抑えました。 また、特許構造によ…

ンテナンスコストを半分以下に抑えることを実現 しました。 従来１年に１回必要であったメンテナンスが、チップシールの磨耗 を抑えることで、2年半に1回でＯＫ。 インバータ搭載型のため、回転数を制御することで、ランニングコストを抑えることもできます。 また、特許構造により、従来のスクロールポンプでは処理できなかった水蒸気の排気も行えます。 騒音値も従来の1/20に抑えました。...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

『FRC-500VT』は、幅600ミリまで対応のウェブコーターです。 PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。 巻き上げはフィードバック制御です。 ロールコーターは複数台納入し、ご好評頂いております。 その他スパッタリグ装置も多数手掛けております。 カソード用マグネットからターゲットの手配まで全てお任せください。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

グ 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、 それぞれのカソードにRF又はDC電圧を印加、または重畳して印...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合真空計『TG301CD』

ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用！専用アプリでデータの管理と…

『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。 ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、 グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも 感度低下が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラプロ

真空乾燥・真空ベーキング装置 DN "Aurora"Type

到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空…

または316製 シール材はテフロン、バイトン、シリコンを使用し強度と耐食性を一段と向上 ■プログラム機能 プログラム調節計により、2パターン 各10セグメントのプログラム運転が可能 ■温度制御が簡単 処理温度に合ったPID値を調節計が自動設定。真空槽内の温度制御が簡単、確実。 ■ユニット化された制御回路 一体化のユニットパネル制御回路はユニットごと引出し、部品の交換修理が簡単 ■...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

ミニeビームエバポレーター

UHV環境下での極薄膜作製に最適。 英国オックスフォードアルライド…

高度な制御が可能で多くの材料に対して0.1～50Å/minの範囲でコントロールが可能。 ≪用途≫ 数nmの薄膜作製、半導体ドーピング ≪特長≫ ■冷却効率で今民ネーションフリーの設計 ■材...

メーカー・取り扱い企業： 三和真空株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

の酸素濃度に到達するまでグローブボックス内を完全自動パージ ●セーフパージ グローブボックス内酸素濃度が設定値を超えた場合、設定値到達まで完全自動パージを開始 4.酸素除去・水分除去を独立制御 酸素除去用精製装置と水分除去用精製装置が独立して設置されています。 酸素除去と水分除去を必要に応じて独立制御できます。酸素濃度計・水分濃度計と連動し設定濃度を保持する最適効率流量を常に算出して...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

透過密閉型 マイクロフォーカスX線源『G-511シリーズ』

高解像度・高倍率！X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献し…

大出力：10W ■最小分解能：2μm ■X線窓材質/厚さ：C（ダイヤモンド）/0.29mm ■ターゲット材質：W（タングステン） ■X線照射角：168（最大、80（80％以上、等距離） ■制御：連続、パルス（ソフトウェア≧1sec） ■外部制御：RS-232C ■入力電圧（DC）：24（＋1.2,-1.2）V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

バタフライコントロールバルブ≪ポジション制御用≫

シンプルなソリューションをお求めの方に！

-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス...サイズ: 61.3 DN 25-320mm (1“ – 12“) 61.6 DN 40-100mm (1½“ – 4“) アクチュエータ: 搭載型コントローラー ボディ材質: 61.3 アルミニウムまたはステンレススチール 61.6 硬質アルマイト...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

【納入事例】真空タンク及び真空攪拌装置

制御・工事も一式当社で完結！真空タンク及び真空攪拌装置の納入事例をご紹…

大手重電メーカー様より、ITER向け超伝導コイル用樹脂注入装置一式を 受注しました。 当社採用の決め手は「装置設計、製造、制御、工事が全て一式出来る」 という事が評価されました。 絶対真空100Paという真空に耐えれるよう、真空タンクを製作。 容量は400L程度ですが、清掃が容易になるよう、フランジで 二分割で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイチツー

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

液体用マスフローメータ　LM-3000L series

各種液体流量を精密計測します

精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 　 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流量計測が可能 ○コントロールバルブとの組合せにより、高精度の流量制御が可能 ○リンテック社独自の気化器との組合せにより、 　　高速、高精度の液体気化供給が可能 ○RoHS指令準拠 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

VAC・GENESISグローブボックスシステム

洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生…

れたシンプルな装備は、取り扱いもしやすく使う人を選ばない。 　導入時の優れたコストパフォーマンスはもちろん。 　メンテナンス簡易性、メンテナンスコストも割安。 4.酸素除去・水分除去を独立制御 酸素除去用精製装置と水分除去用精製装置が独立して設置されています。 酸素除去と水分除去を必要に応じて独立制御できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…

5インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

軽接触式気化器　VU-900 series

気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、効率よく気化が可能です

（軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 　 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754） ○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

小型ガス加熱器　HX series

低圧損、クリーン構造の小型ガス加熱器です

低圧損構造にも関わらずMax300℃まで加温可能な小型ガス加熱器です。 【特長】 ○圧力損失を低減することで流量制御後にも設置が可能 ○オールメタルシールのクリーン構造 ○接ガス部材質はSUS316L ○異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵 ○熱電対内蔵 ○コンパクトサイズでありながらMax300℃の加熱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所