『光半導体・オプトエレクトロニクス製品』

PRオリジナル半導体メーカー認定。正規販売代理店および製造メーカーとして、…

当社は、70社を超える半導体メーカーから認定を受けており、 正規販売代理店として製品の提供を行い、製造メーカーとして製品の継続供給も行っております。 東芝、ams OSRAM、京都セミコンダクターなど様々なメーカーの オプトエレクトロニクス製品を豊富に在庫保有しており、 安定した継続供給を実現する体制を整えています。 【特長】 ■フォトカプラ、可視光LEDなど幅広い製品の在庫を保有 ■複数のパ...

メーカー・取り扱い企業： Rochester Electronics, Ltd.

『JSKブランド 新製品のご紹介』　※販売協力会社を募集中！

PRバルブ、ガスフィルター、パイプ・チューブの新製品がラインアップに多数追…

当社は超高純度ガス・ケミカル・極高真空用の継手をはじめ、 バルブ、ガスフィルター、パイプ・チューブなどの製造を手掛けています。 2024年には山形に新工場を設け、生産体制をより一層強化しました。 『JSKブランド』として、多数の製品をご用意しており、 今回は、新たに追加された製品をご紹介いたします。 【新製品ラインアップ】 ■「パイプ・チューブ」 　ケミカル・一般産業向けから...

メーカー・取り扱い企業： 三興工業株式会社

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応可能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能 【成膜機種（一例）】 Shale Cシリーズ： ■ICP...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

導電性フッ素樹脂コーティング『KPEシリーズ』

フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によ…

ますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「KPEシリーズ」のラインナップは複数種類ありますので、ご使用の用途に合わせて最適な商品をご提案させていただきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

静電気によるトラブル防止！導電性フッ素樹脂コーティング

フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によ…

ますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「KPEシリーズ」のラインナップは複数種類ありますので、ご使用の用途に合わせて最適な商品をご提案させていただきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

「導電性フッ素樹脂コーティング」帯電防止・防爆仕様の環境に最適！

使用温度が高く、非粘着性や耐薬品性が必要な部材に『導電性フッ素樹脂コー…

ますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「KPEシリーズ」のラインナップは複数種類ありますので、ご使用の用途に合わせて最適な商品をご提案させていただきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 近年ニーズが高まっている半導体周辺部材（フォトマスク、高密度実装基板）をカバーする従来のプラズマエッチングにとらわれない新型エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

ッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

PEEKプラばね（ポリエーテルエーテルケトン）

耐薬品・耐熱・絶縁・非磁・耐酸・耐アルカリ・耐油・耐溶剤・断熱・リサイ…

医学系装置や半導体製造装置・FPD製造装置・メッキ装置などに使用されるPEEK樹脂を使用したプラスチックばねです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラばね

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

に合わせたカスタム製品での提案が基本となっておりますので、ハイパス、ローパス、バンドリジェクションなど、いろいろな高周波フィルタを、装置開発の段階より仕様に合わせた提案が可能です。 米国内の大手半導体製造メーカーへの採用実績が多くあり、必ずご期待に応えることができます。 ・1MHz～50MHzの周波数範囲内で設計可能でコンパクトな、高インピーダンスのフィルター ・大電流・高電圧アプリケーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

焼付固着を防止できるボルト『SDCクリーンボルト』【潤滑剤不要】

潤滑剤・めっきを使わず焼付・カジリを防止！クリーン環境に最適な六角ボル…

着を起こしにくい六角ボルトです。食品工場など、潤滑剤やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場での利用に最適です。 【こんな現場での利用がオススメ！】 ◎不純物を極力嫌う半導体製造装置やクリーンルーム内 ◎食品・飲料関係 ◎医薬品・化粧品関係の製造装置や配管部 【特長】 ◆潤滑剤やめっきなどを使用せずに焼付き固着を防止 ◆アウトガスも発生しない 【詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の 前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ

[チラー]モジュール式チラー　M-Pakシリーズ

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

高電力RF同軸フレキシブルケーブルアセンブリ

高電力（20KW@60MHz）タイプのフレキシブルケーブルアセンブリ

ブルの開発製造に加え、ケーブル加工までの一貫生産をしております。そのため、総合品質・納期・価格対応に自信を持っており、お客様の開発段階～量産までご安心してご対応可能です。 EP-610Sは、半導体製造装置、高周波電源、プラズマ電源など高電力RF同軸接続を必要とするアプリケーションに最適なフレキシブルケーブルです。 現在、対応しているコネクタは、EIA 1-5/8、EIA 7/8ですが...

メーカー・取り扱い企業： アノイスンジャパン株式会社

[チラ―]効率と省エネを追求した　ESL-60シリーズ

「効率」と「節約」を合わせて追求した新しい温度管理システム

内です。 ■ホットガスバイパスにより、エネルギー効率に優れたモデル ■デュアルチャンネルモデルは1チャンバーを1台で！ ■幅450mmのスリムボディ ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似ウェハ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

高電力高周波同軸コネクタ

９種類の同軸規格に対応した 高電力高周波同軸のソリューション

半導体製造装置、高周波電源、プラズマ電源などに使用される、高電力高周波同軸ケーブルアセンブリを大幅に拡充致しました。 弊社は、コネクタ・ケーブルの開発製造に加え、ケーブルアセンブリまでの一貫生産を行っておりますので、総合品質・納期・価格対応に自信を持ってご提供させていただきます。 また、開発費用不要でカスタム対応も行いますので、実質あらるゆるニーズにご対応頂けます。 ...

メーカー・取り扱い企業： アノイスンジャパン株式会社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

アルミ切削加工

アルミ切削加工

半導体製造装置部品、医療部品、通信筐体部品、防衛部品等での外観に厳しいユーザー様への供給が殆どでありますが、精度及び外観仕上りには定評を頂いております。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社早川製作所

耐プラズマ性Oリング フロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換として有効です。桜シール株式...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

保守・メンテナンスサービス

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

各種電子デバイス製造装置の保守・メンテナンスを行っております。 24h体制の常駐対応からスポットの定期点検まで、ニーズに合わせて対応致します。...＜対応実績＞ CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ＳＤＣクリーンボルトシリーズ【国際プロジェクトKAGRAに採用】

極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットで…

「ＳＤＣクリーンボルト」は、半導体工場や医薬品工場など、潤滑油やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場で使用されている高品質なボルトナットです。 厳しい環境下でも最大限の効果を発揮するボルトとして、国際プロジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

[チラー]スループット追求モデル　SXシリーズ

高い冷却能力、高速加熱・冷却を追求した温度管理システム

ズ」のご案内です。 ■高い冷却能力 ■高速加熱・冷却によりスループットの向上 ■ジャグの改良により効率化、省エネを実現！ ■高温冷却水にも対応（+30℃） ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体　電子デバイス製造工程のアッシング、エッチングをはじめ、レンズ、医療処置具、チューブ、粉体洗浄、表面改質による印刷やコーティング材の密着(親水)性の改善により 生産性や品質を大幅に向上させること...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

ふっ素樹脂熱交換器　フロロエックス（潤工社製）

いろんな溶液を温めたり・保温するのに最適！テフロン製の熱交換器ならそん…

クラッキングや耐熱衝撃性に優れています。またフレキシビリティがあるためガラスやグラファイトのように熱や機械的衝撃で割れることがありません。 ２、有害な物質の溶出が無く、プロセス液を汚染しません。半導体やプリント基板などの高い純度を要求される用途に最適 ３、ほとんどの化学薬品に耐えられます ４、非粘着性でスケールやスラッジが付きにくく、たとえ付いても簡単に落とせます。 ５、単位体積あたりの...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

グラッシーカーボン　加工品で納品もOK・石原ケミカル株式会社

高純度のカーボン素材でパーティクルがなく、気体を透過しません。しかも軽…

ッシーカーボンは黒色ガラス状の炭素素材で『樹脂を焼成してからさらに熱処理を加えてカーボン化』した製品です。 耐薬品性や電気伝導性に優れ、黒鉛に比べるとパーティクルが出ず、ガス透過の心配がないので半導体装置用部材に使用されています。 他にも溶融金属が付着しにくい特長もあり、熱処理用部材としてもご使用いただけます。 石原ケミカルではセラミックス加工での実績のもと、高品質の加工品を短納期で提...

メーカー・取り扱い企業： 石原ケミカル株式会社 高機能材料

[チラー]省エネモデル　MXシリーズ

消費電力66%削減！幅わずか390mmの省エネを追求した温度管理システ…

/3に削減 ■熱負荷を検知し、アイドリング運転からロード運転への自動切替によりヒーター出力を抑制 ■アイドリング運転により冷凍機の排熱、冷却水使用量を抑制 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 ご利用環境、用...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

[チラー]リークレス高温対応モデル　HTXシリーズ

最高180℃まで設定可能！リークレスの高温対応モデル

により、最高180℃まで安全に使用可能！ ■高い冷却能力でパワフル運転（22kW@180℃） ■高速昇温で省エネを実現 ■高速降温でメンテナンスにも便利 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社